JPH0248874U - - Google Patents
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- JPH0248874U JPH0248874U JP12871288U JP12871288U JPH0248874U JP H0248874 U JPH0248874 U JP H0248874U JP 12871288 U JP12871288 U JP 12871288U JP 12871288 U JP12871288 U JP 12871288U JP H0248874 U JPH0248874 U JP H0248874U
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の概略図である。
１…測定用接触子制御部、２…測定用接触子交
換部、３…測定部、４…供給部、５…搬送部、６
…分類・収容部、７…制御部、８…半導体装置、
９Ａ，９Ｂ，９Ｃ…トレー、１０…測定用接触子
、１１，１５…操作パネル、１２…スタートスイ
ツチ、１３…搬送アーム、１４…製品チヤツク、
１６…交換個数設定スイツチ、１７…交換アーム
。
換部、３…測定部、４…供給部、５…搬送部、６
…分類・収容部、７…制御部、８…半導体装置、
９Ａ，９Ｂ，９Ｃ…トレー、１０…測定用接触子
、１１，１５…操作パネル、１２…スタートスイ
ツチ、１３…搬送アーム、１４…製品チヤツク、
１６…交換個数設定スイツチ、１７…交換アーム
。
Claims (1)
- 測定用接触子の実際の測定個数を測定し、前も
つて設定した測定個数に達した際に測定用接触子
の交換信号を出す測定用接触子制御部と、交換信
号により測定中の測定用接触子を予備の測定用接
触子と交換する測定用接触子交換部とを有するこ
とを特徴とする半導体装置の電気的測定用ハンド
リング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12871288U JPH0248874U (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12871288U JPH0248874U (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0248874U true JPH0248874U (ja) | 1990-04-04 |
Family
ID=31382309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12871288U Pending JPH0248874U (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0248874U (ja) |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP12871288U patent/JPH0248874U/ja active Pending