JPH0469164A - ヘッドピース集合体の研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、第１の治具と、研磨側の面にヘットピース集
合体を貼付した第２の治具とを、研磨側の面を基準にし
て位置合せし、かつ、側端面を互いに接合し、次に、ヘ
ッドピース集合体を研磨側の面を基準として研磨するヘ
ットピース集合体の研磨方法に関し、第１の治具及び第
２の治具をオプチカルフラットの一面上に載せ、オプチ
カルフラットと第２の治具に貼付されたベツドピース集
合体の接触界面における光学干渉縞を干渉縞検出用光学
系で検出し、得られた干渉縞に基づいて第１の治具に対
する第２の治具の位置合せ及び両者の接合を行なうこと
により、第２の治具に貼付されたベツドピース集合体の
表面とオプチカルフラットの表面との間の接触界面の接
触状態を高感度、高精度で検出し、ヘッドピース集合体
を高精度で研磨し得る研磨方法を提供できるようにした
ものである。

〈従来の技術〉 ヘットピース集合体の研磨方法は、例えば特開平０ｆ−
１５３２６４号公報、特開平０ｆ−１５３２６５号公報
に開示されている。これらの従来技術においては、第１
の治具と、研磨側の面にヘッドピース集合体を貼付した
複数個の第２の治具とを、研磨側の面を基準にして位置
合せし、かつ、側端面を互いに接合し、次に、前記ヘッ
ドピース集合体を、研磨側の面を基準として研磨するよ
うになっている。

第１の治具及び第２の治具の位置合せに当っては、両者
の研磨側の面を、オプチカルフラット上に載せ、ヘッド
ピース集合体の表面を、オプチカルフラットの表面を基
準にして位置合せし、かつ、第１の治具及び第２の治具
の側端面を当接させ、接着剤で接合する。

上述の位置合せによると、ヘッドピース集合体を治具に
接着固定する接着剤の厚みが異なった場合でも、それに
影響されずに、研磨面となるヘッドピース集合体の表面
を、オプチカルフラットの表面位置によって定まる所定
の平面位置に高精度で設定できる。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来技術においては、第２の治
具に貼付されたベツドピース集合体の表面と、オプチカ
ルフラットの表面との接触界面かどのような状態にある
かを知ることができない。

例えばヘッドピース集合体の表面またはオプチカルフラ
ットの表面に塵埃があり、ヘッドピース集合体の表面が
オプチカルフラットの表面に対して傾斜しているかも知
れないし、接合前に適正に配置されていた接触界面が、
接合工程における接着歪等によって傾斜しているかもし
れない。もしこのような不正状態を生じたとしたら、ヘ
ッドピース集合体の研磨側の面を基準として研磨する研
磨工程において、基準面が変動してしまい、研磨精度が
低下する。ところが、従来は、上述のような不正位置合
せを知る術がない。

ヘッドピース集合体の研磨工程においては、研磨によっ
てスロートハイドを定めるという重要な作業を伴ない、
しかもスロートハイドは０．１μｍ以下の高精度で研磨
調整しなければならないため、上述のような不正位置合
せを生じると、スロートハイドを所定値に調整すること
が困難になり、所定の電磁変換特性を有する磁気ヘッド
を得ることができなくなる。

そこで、本発明の課題は、上述した従来の問題点を解決
し、第２の治具に貼付されたベットピース集合体の表面
とオプチカルフラットの表面との間の接触界面の接触状
態を高感度、高精度を検出し、ヘットピース集合体を高
精度で研磨し得る研磨方法を提供することである。

く課題を解決するための手段〉 上述した課題解決のため、本発明は、第１の治具と、研
磨側の面にヘッドピース集合体を貼付した複数個の＄２
の治具とを、研磨側の面を基準にして位置合せし、かつ
、側端面を互いに接合し、次に、前記ヘッドピース集合
体を研磨側の面を基準として研磨する研磨方法であって
、 前記第１の治具及び前記第２の治具を光学的に透明なオ
プチカルフラットの一面上に載せ、前記オプチカルフラ
ットの前記一面側と対向する他面側に干渉縞検出用光学
系を配置し、前記オプチカルフラットと前記第２の治具
に貼付された前記ヘッドピース集合体の接触界面におけ
る光学干渉縞を、前記干渉縞検出用光学系で検出し、得
られた干渉縞に基づいて前記第１の治具に対する前記第
２の治具の位置合せ及び両者の接合を行なうこと を特徴とする。

く作用〉 第２の治具の研磨側の面にヘッドピース集合体を貼付し
、第１の治具及び第２の治具を研磨側の面を基準にして
位置合せすることにより、ヘッドピース集合体を貼付し
ている接着剤の塗布厚みが変動した場合でも、ヘッドピ
ース集合体の表面の研磨面を、位置合せ基準面に一致さ
せ、接着剤塗布厚み変動を吸収できる。

第１の治具及び前記第２の治具を光学的に透明なオプチ
カルフラットの一面上に載せ、オブチカルフラットと第
２の治具に貼付されたベツドピース集合体の接触界面に
おける光学干渉縞を、干渉縞検出用光学系で検出するの
で、第２の治具に貼付されたベツドピース集合体の表面
とオプチカルフラットの表面との間の接触界面の接触状
態を高感度、高精度で検出できる。

そして、得られた干渉縞に基づいて第１の治具に対する
第２の治具の位置合せ及び両者の接合を行なうことによ
り、第２の治具に貼付されたベツドピース集合体の表面
とオプチカルフラットの表面との間の接触界面の接触状
態を高精度で設定し、ヘッドピース集合体を高精度で研
磨し、所定のスロートハイドに設定できる。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る研磨方法のうち位置合わせ及び接
合工程を示す図、第２図は同じくその拡大図である。図
において、１はオプチカルフラット、２は干渉縞検出用
光学系である。オプチカルフラット１は光学的に透明で
あり、その表面１０１は例えばＪＩＳ１級の高度の平面
性を有している。干渉縞検出用光学系２はオプチカルフ
ラット１の表面１０１と対向する下面１０２の下方に配
置されている。図示では、水平方向に対して所定の角度
θマ斜めに配置された反射鏡である。

３は第１の治具、４は第２の治具である。第１の治具３
は、研磨側の面３１上に、表面鏡面仕上げとした基準片
５を接着剤等で接着固定しである。第１の治具３の側端
面３２は研磨側の面３１に対して垂直な面となっている
。第２の治具４は研磨側の面４１上にヘッドピース集合
体６を接着剤７によって貼付しである。第２の治具４の
側端面４２は研磨側の面４１に対して垂直である。接着
剤７は接着歪を防止するためにホットメルト樹脂を用い
る。

ヘッドピース集合体６は、第７図に拡大して示すように
、セラミック構造体６１を共用して、複数の磁気変換素
子Ｑｌ、Ｑ２、Ｑ３１．、、、を一方向に形成したもの
である。

磁気変換素子は、周知のように、ＩＣ製造テクノロジー
と同様の、フォトリソグラフィを主体とした高精度パタ
ーン形成技術によって形成される。第８図は磁気変換素
子の平面拡大部分破断面図、第９図は同じく第８図Ａ、
−Ａ、線上における断面図を示している。セラミック構
造体６１はＡｌ、０．−ＴｉＣでなる基体６１１の表面
ニＡｌ２Ｏ３でなる絶縁膜６１２を被着させ、この絶縁
膜６１２の上に、磁気変換素子を形成しである。磁気変
換素子は、下部磁性膜６２、ギャップ膜６３、上部磁性
膜６４、コイル膜６５及び層間絶縁膜６６の薄膜積層構
造を有し、全体を＾ｌ、０３等の保護膜６７によって被
覆した構造となっている。

下部磁性膜６２及び上部磁性膜６４はギャップ膜６３を
介して対向するボール部６２１．６４１と、ポール部６
２１．６４１に連続するヨーク部６２２．６４２とを有
している。上部磁性膜６４のポール部６４１は絶縁膜６
１２の面に対して実買的に平行となるように形成された
先端部領域６４３の後方に、絶縁膜６１２の面から離れ
る方向に立ち上がる変位領域６４４を有し、変位領域６
４４を経てヨーク部６４２に連なっている。

ボール部６４１の先端の位置する端面Ｃ１から変位開始
点Ｙまでの深さＴｈがスロートハイドである。このスロ
ートハイドＴｈが所定の寸法となるように端面Ｃ１を研
磨する。ヨーク部６２２及びヨーク６４２は後方領域で
磁気回路を完成するように結合されており、結合部を渦
巻状に回るようにコイル［６５が形成されている。

第１の治具３及び第２の治具４の位置合せに当っては、
両者の研磨側の面３１．４１を、オプチカルフラット１
上に載せる。第１の治具３の研磨側の面３１には基準片
５が接着されており、第２の治具４の研磨側の面４１に
はへッドビース集合体６が接着されている。従って、′
ｓ１の治具３は基準片５の下面によってオプチカルフラ
ット１の面１０１に接触し、第２の治具４はへッドビー
ス集合体６の端面ＣＩがオプチカルフラット１の面１０
１と接触する。

そして、オプチカルフラット１の面１０１と第２の治具
４に貼付されたヘッドピース集合体６の端面Ｃ８との接
触界面に生じる干渉縞を光路ＩＬＩ、ＩＬ２を通して、
干渉縞検出用光学系２で検出する。もし何等かの理由で
、第２図の一点鎖線で示すように、第２の治具４が角度
βで傾斜していれば、傾斜角度βに対応した形状、数、
間隔及び幅のニュートン縞ＮＬが現れる。そこで、所定
のニュートン縞が得られるように位置合せをし、接着す
る。傾斜角度βとニュートン縞との関係を予め測定して
おく。

本発明による位置合せの別の利点は、第２図に示すよう
に、ヘッドピース集合体６を接着固定する接着剤７の厚
みがｈ＋、ｈ２のように異なりた場合でも、それに影響
されずに、研磨面となる端面Ｃ８の表面を、オプチカル
フラット１の表面１０１の位置によって定まる所定の平
面位置に設定し、端面Ｃ１を基準にして所定の研磨を行
なうことがで診ることである。これにより、スロートハ
イドＴｈ（第８図及び第９図参照）を高精度で研磨調整
し、所定の電磁変換特性を有する磁気ヘッドを得ること
ができる。

次に研磨工程について説明する。第３図は第１図及び第
２図の位置合せ接合工程を経て得られた研磨治具の正面
断面図、第４図は同じくその底面図で、ヘッドピース集
合体６を有する複数の′ｉ４２の治具４を、第１の治具
３の側端面３２に接着した構造となる。８は第１の治具
３と第２の治具４とを接合する接着剤である。

第５図及び第６図は第３図及び第４図に示した研磨治具
の研磨工程を示している。図において、９は回転体、１
０は第３図及び第４図に示した研磨治具である０回転体
９は図示しないモータ等により、矢印で示すａ、方向に
回転駆動される。この回転体９は、例えばスズ等の軟質
金属部材を用いて円板状に形成された研磨部材９１の背
面に、例えばステンレス等の金属材料によって円板状に
形成された支持部材９２を、接着剤９３によって一体的
に面接合させである。支持部材９２は、スズ等の軟質金
属材料で構成されていて機械的強度の不充分な研磨部材
９１を支持するために設けられたものである。

研磨に当っては、回転体９を矢印ａ、方向に面回転させ
、かつ、研磨部材９１０表面（イ）にダイヤモンド粒子
等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材９１の表面（
イ）に研磨治具１０のヘッドピース集合体６の端面Ｃ３
を接触させる。研磨治具１０は矢印す、またはす、で示
す回転半径方向に平行移動させ、研磨部材９１の表面（
イ）の全面で研磨が行なわれるようにする。矢印ａ２は
研磨治具１０の自転の方向を示している。

上述の研磨により、ヘッドピース集合体６は、所定の位
置合せに基づき、高精度のスロートハイドを有するよう
に研磨される。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。

（ａ）第２の治具の研磨側の面にヘッドピース集合体を
貼付し、第１の治具及び第２の治具を研磨側の面を基準
にして位置合せすることにより、ヘッドピース集合体を
貼付している接着剤の塗布厚みが変動した場合でも、ヘ
ッドピース集合体の表面の研磨面を、位置合せ基準面に
一致させ、接着剤塗布厚み変動を吸収し、高精度で研磨
し得る研磨方法を提供でミる。

（ｂ）第１の治具及び第２の治具を光学的に透明なオプ
チカルフラットの一面上に載せ、オプチカルフラットと
第２の治具に貼付されたベットピース集合体の接触界面
における光学干渉縞を、干渉縞検出用光学系で検出する
ので、第２の治具に貼付されたヘッドピース集合体の表
面とオプチカルフラットの表面との間の接触界面の接触
状態を高感度、高精度で検出し、ヘッドピース集合体を
高精度で研磨し、所定のスロートハイドに設定し得る研
磨方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る研磨方法のうち位置合わせ及び接
合工程を示す図、第２図は同じくその拡大図、′ｓ３図
は第１図及び第２図の位置合せ接合工程を経て得られた
研磨治具の正面断面図、′ｓ４図は同じくその底面図、
第５図は第３図及び′ｓ４図に示した研磨治具の研磨工
程を示す平面図、第第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 Ｉ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１の治具と、研磨側の面にヘッドピース集合体
   を貼付した複数個の第２の治具とを、研磨側の面を基準
   にして位置合せし、かつ、側端面を互いに接合し、次に
   、前記ヘッドピース集合体を、研磨側の面を基準として
   研磨する研磨方法であって、 前記第１の治具及び前記第２の治具を光学的に透明なオ
   プチカルフラットの一面上に載せ、前記オプチカルフラ
   ットの前記一面側と対向する他面側に干渉縞検出用光学
   系を配置し、 前記オプチカルフラットと前記第２の治具に貼付された
   前記ヘッドピース集合体の接触界面における干渉縞を、
   前記干渉縞検出用光学系で検出し、所定の干渉縞が得ら
   れるように、前記第１の治具に対する前記第２の治具の
   位置合せ及び両者の接合を行なうこと を特徴とする研磨方法。