JPH07334828A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH07334828A JPH07334828A JP6145550A JP14555094A JPH07334828A JP H07334828 A JPH07334828 A JP H07334828A JP 6145550 A JP6145550 A JP 6145550A JP 14555094 A JP14555094 A JP 14555094A JP H07334828 A JPH07334828 A JP H07334828A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1272—Assembling or shaping of elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＡＢＳ面をクラウン状に形成する場合に、Ａ
ＢＳ面の平滑度を高めることを可能にして情報読み書き
の信頼性を向上させる。 【構成】 スライダのＡＢＳ面２８およびその背面３０
を両面ラッピング後、ＡＢＳ面２８を収縮を伴うように
片面ラッピングする。これにより、ＡＢＳ面２８側が凹
状、背面３０側が凸状となるように全体が変形する。し
かし、この時ＡＢＳ面２８自体はラッピングにより凹状
が削られるので平坦状態が維持される。その後、背面３
０を収縮を伴うように片面ラッピングすることにより、
ＡＢＳ面２８側が凸状となるように全体が変形して、Ａ
ＢＳ面２８にクラウンが形成される。したがって、ＡＢ
Ｓ面２８を平滑にしてクラウンを形成することができ、
情報読み書きの信頼性を向上させることができる。
ＢＳ面の平滑度を高めることを可能にして情報読み書き
の信頼性を向上させる。 【構成】 スライダのＡＢＳ面２８およびその背面３０
を両面ラッピング後、ＡＢＳ面２８を収縮を伴うように
片面ラッピングする。これにより、ＡＢＳ面２８側が凹
状、背面３０側が凸状となるように全体が変形する。し
かし、この時ＡＢＳ面２８自体はラッピングにより凹状
が削られるので平坦状態が維持される。その後、背面３
０を収縮を伴うように片面ラッピングすることにより、
ＡＢＳ面２８側が凸状となるように全体が変形して、Ａ
ＢＳ面２８にクラウンが形成される。したがって、ＡＢ
Ｓ面２８を平滑にしてクラウンを形成することができ、
情報読み書きの信頼性を向上させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ディスク装置等
に用いられる浮上型磁気ヘッドの製造方法に関し、ＡＢ
Ｓ（Air Bearing Surface ）面すなわち記録媒体に対向
する浮上面に、記録媒体との相対移動方向に凸状のいわ
ゆるクラウンを形成する場合に、ＡＢＳ面を平滑にする
ことを可能にして情報読み書きの信頼性を向上させたも
のである。
に用いられる浮上型磁気ヘッドの製造方法に関し、ＡＢ
Ｓ（Air Bearing Surface ）面すなわち記録媒体に対向
する浮上面に、記録媒体との相対移動方向に凸状のいわ
ゆるクラウンを形成する場合に、ＡＢＳ面を平滑にする
ことを可能にして情報読み書きの信頼性を向上させたも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来の浮上型磁気ヘッドは、ＡＢＳ面が
平坦なものが一般的であった。ところが、ＡＢＳ面が平
坦であると、記録媒体が停止している時にＡＢＳ面が記
録媒体の記録面に密着状態で着地しているため、起動時
にモータに大きな起動トルクが必要となったり、記録媒
体の記録面に傷がつく等の問題があった。
平坦なものが一般的であった。ところが、ＡＢＳ面が平
坦であると、記録媒体が停止している時にＡＢＳ面が記
録媒体の記録面に密着状態で着地しているため、起動時
にモータに大きな起動トルクが必要となったり、記録媒
体の記録面に傷がつく等の問題があった。
【０００３】そこで、図１０に示す磁気ヘッド１０のよ
うに、ＡＢＳ面１２に記録媒体との相対移動方向に凸状
に形成したクラウン形状とすることにより、着地時の記
録媒体との接触面積を小さくすることが考えられてい
た。
うに、ＡＢＳ面１２に記録媒体との相対移動方向に凸状
に形成したクラウン形状とすることにより、着地時の記
録媒体との接触面積を小さくすることが考えられてい
た。
【０００４】ＡＢＳ面をクラウン形状に形成する方法と
して、特開平５−２０８２６号公報では、スライダの残
留応力を利用する方法が提案されている。この方法は、
ＡＢＳ面およびその背面を両面ラッピングしてこれら両
面の残留応力をバランスさせた後、背面を圧縮応力が大
きくなるように片面ラッピングし、あるいはＡＢＳ面を
圧縮応力が小さくなるように片面ラッピングして、これ
ら両面の残留応力をアンバランスさせることにより、Ａ
ＢＳ面が凸状のクラウン形状になるようにしたものであ
る。
して、特開平５−２０８２６号公報では、スライダの残
留応力を利用する方法が提案されている。この方法は、
ＡＢＳ面およびその背面を両面ラッピングしてこれら両
面の残留応力をバランスさせた後、背面を圧縮応力が大
きくなるように片面ラッピングし、あるいはＡＢＳ面を
圧縮応力が小さくなるように片面ラッピングして、これ
ら両面の残留応力をアンバランスさせることにより、Ａ
ＢＳ面が凸状のクラウン形状になるようにしたものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】面の残留応力の大きさ
は面の粗さによって変化する。すなわち、面が粗いと面
の残留応力は大きくなり、面が平滑なほど（鏡面に近い
ほど）面の残留応力は小さくなる。
は面の粗さによって変化する。すなわち、面が粗いと面
の残留応力は大きくなり、面が平滑なほど（鏡面に近い
ほど）面の残留応力は小さくなる。
【０００６】前記特開平５−２０８２６号公報に記載の
方法では、両面ラッピング（両面の残留応力がバラン
ス）した後、片面ラッピングによって背面をより平滑に
し、あるいはＡＢＳ面をより粗くしてＡＢＳ面を凸状に
するので、必然的にＡＢＳ面の粗さ＞背面の粗さとな
る。
方法では、両面ラッピング（両面の残留応力がバラン
ス）した後、片面ラッピングによって背面をより平滑に
し、あるいはＡＢＳ面をより粗くしてＡＢＳ面を凸状に
するので、必然的にＡＢＳ面の粗さ＞背面の粗さとな
る。
【０００７】したがって、背面の粗さを例えばＲａ＝５
オングストロームより小さくしても、ＡＢＳ面の粗さは
Ｒａ＝２０〜１００オングストローム程度に粗くしなけ
ればならない。このため、上記の方法で作られた磁気ヘ
ッドは、記録媒体と対向するＡＢＳ面が粗れたものとな
り、情報読み書きの信頼性を低下させるおそれがあっ
た。
オングストロームより小さくしても、ＡＢＳ面の粗さは
Ｒａ＝２０〜１００オングストローム程度に粗くしなけ
ればならない。このため、上記の方法で作られた磁気ヘ
ッドは、記録媒体と対向するＡＢＳ面が粗れたものとな
り、情報読み書きの信頼性を低下させるおそれがあっ
た。
【０００８】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、ＡＢＳ面をクラウン形状に形成する場合
に、ＡＢＳ面の平滑度を高めることを可能にして、情報
読み書きの信頼性を向上させた磁気ヘッドの製造方法を
提供しようとするものである。
点を解決して、ＡＢＳ面をクラウン形状に形成する場合
に、ＡＢＳ面の平滑度を高めることを可能にして、情報
読み書きの信頼性を向上させた磁気ヘッドの製造方法を
提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
スライダのＡＢＳ面およびその背面を両面ラッピングす
る工程と、その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面
ラッピングする工程と、その後前記背面を収縮を伴うよ
うに片面ラッピングする工程とを具え、これらの工程を
経て前記ＡＢＳ面をクラウン形状に形成することを特徴
とするものである。
スライダのＡＢＳ面およびその背面を両面ラッピングす
る工程と、その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面
ラッピングする工程と、その後前記背面を収縮を伴うよ
うに片面ラッピングする工程とを具え、これらの工程を
経て前記ＡＢＳ面をクラウン形状に形成することを特徴
とするものである。
【００１０】請求項２記載の発明は、個々のスライダに
分離する前のローの状態で、当該スライダのＡＢＳ面お
よびその背面を両面ラッピングし、その後前記ＡＢＳ面
を収縮を伴うように片面ラッピングし、その後前記背面
を収縮を伴うように片面ラッピングすることにより、前
記ＡＢＳ面をクラウン状に形成する工程と、その後前記
ローを個々のスライダに分離する工程と、前記両面ラッ
ピングと前記ＡＢＳ面の片面ラッピングとの間、前記Ａ
ＢＳ面の片面ラッピングと前記背面の片面ラッピングと
の間、前記背面の片面ラッピングと前記ローを分離する
工程との間のいずれかの時点で前記各スライダの前記Ａ
ＢＳ面にレールパターンを形成する工程とを具えるもの
である。
分離する前のローの状態で、当該スライダのＡＢＳ面お
よびその背面を両面ラッピングし、その後前記ＡＢＳ面
を収縮を伴うように片面ラッピングし、その後前記背面
を収縮を伴うように片面ラッピングすることにより、前
記ＡＢＳ面をクラウン状に形成する工程と、その後前記
ローを個々のスライダに分離する工程と、前記両面ラッ
ピングと前記ＡＢＳ面の片面ラッピングとの間、前記Ａ
ＢＳ面の片面ラッピングと前記背面の片面ラッピングと
の間、前記背面の片面ラッピングと前記ローを分離する
工程との間のいずれかの時点で前記各スライダの前記Ａ
ＢＳ面にレールパターンを形成する工程とを具えるもの
である。
【００１１】請求項３記載の発明は、個々のスライダに
分離する前のローの状態で、当該スライダのＡＢＳ面お
よびその背面を両面ラッピングする工程と、その後前記
各スライダの前記ＡＢＳ面にレールパターンを形成する
とともに前記ローを個々のスライダに分離する工程と、
その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面ラッピング
し、その後前記背面を収縮を伴うように片面ラッピング
することにより、前記ＡＢＳ面をクラウン形状に形成す
る工程とを具えるものである。
分離する前のローの状態で、当該スライダのＡＢＳ面お
よびその背面を両面ラッピングする工程と、その後前記
各スライダの前記ＡＢＳ面にレールパターンを形成する
とともに前記ローを個々のスライダに分離する工程と、
その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面ラッピング
し、その後前記背面を収縮を伴うように片面ラッピング
することにより、前記ＡＢＳ面をクラウン形状に形成す
る工程とを具えるものである。
【００１２】請求項４記載の発明は、前記磁気ヘッドが
薄膜磁気ヘッド素子を具え、前記ＡＢＳ面を収縮を伴う
ように片面ラッピングする工程が、当該薄膜磁気ヘッド
のスロートハイト加工工程を兼ねていることをを特徴と
するものである。
薄膜磁気ヘッド素子を具え、前記ＡＢＳ面を収縮を伴う
ように片面ラッピングする工程が、当該薄膜磁気ヘッド
のスロートハイト加工工程を兼ねていることをを特徴と
するものである。
【００１３】請求項５記載の発明は、前記ＡＢＳ面の片
面ラッピングおよび前記背面の片面ラッピングが、これ
らＡＢＳ面および背面に略々同一の表面残留応力が形成
されるように行なわれることを特徴とするものである。
面ラッピングおよび前記背面の片面ラッピングが、これ
らＡＢＳ面および背面に略々同一の表面残留応力が形成
されるように行なわれることを特徴とするものである。
【００１４】
【作用】請求項１記載の発明によれば、スライダ（ロー
等の状態のものを含む）のＡＢＳ面およびその背面を両
面ラッピング後、ＡＢＳ面を収縮を伴うように（すなわ
ち、平滑度を高める。）片面ラッピングすることによ
り、ＡＢＳ面側が凹状、背面側が凸状となるように全体
が変形する。しかし、この時ＡＢＳ面自体はラッピング
により凹状が削られるので平坦状態が維持される。その
後、背面を収縮を伴うように片面ラッピングすることに
より、ＡＢＳ面側が凸状となるように全体が変形してＡ
ＢＳ面にクラウンが形成される。したがって、ＡＢＳ面
を平滑にして（例えば、ＲＡ＝５オングストローム以
下）クラウンを形成することができ、情報読み書きの信
頼性を向上させることができる。
等の状態のものを含む）のＡＢＳ面およびその背面を両
面ラッピング後、ＡＢＳ面を収縮を伴うように（すなわ
ち、平滑度を高める。）片面ラッピングすることによ
り、ＡＢＳ面側が凹状、背面側が凸状となるように全体
が変形する。しかし、この時ＡＢＳ面自体はラッピング
により凹状が削られるので平坦状態が維持される。その
後、背面を収縮を伴うように片面ラッピングすることに
より、ＡＢＳ面側が凸状となるように全体が変形してＡ
ＢＳ面にクラウンが形成される。したがって、ＡＢＳ面
を平滑にして（例えば、ＲＡ＝５オングストローム以
下）クラウンを形成することができ、情報読み書きの信
頼性を向上させることができる。
【００１５】請求項２記載の発明によれば、個々のスラ
イダに分離する前のローの状態でクラウン形成を行なう
ので、生産性が良好となる。
イダに分離する前のローの状態でクラウン形成を行なう
ので、生産性が良好となる。
【００１６】請求項３記載の発明によれば、両面ラッピ
ングおよびレールパターン形成後にローを個々のスライ
ダに分離してスライダごとにクラウンを形成することが
できる。
ングおよびレールパターン形成後にローを個々のスライ
ダに分離してスライダごとにクラウンを形成することが
できる。
【００１７】請求項４記載の発明によれば、ＡＢＳ面の
片面ラッピングがスロートハイト加工を兼ねるので、別
途スロートハイト加工が不要になり、工程が簡素化され
るとともに、別途スロートハイト加工することによるク
ラウン形状の変化が防止される。
片面ラッピングがスロートハイト加工を兼ねるので、別
途スロートハイト加工が不要になり、工程が簡素化され
るとともに、別途スロートハイト加工することによるク
ラウン形状の変化が防止される。
【００１８】請求項５記載の発明によれば、ＡＢＳ面と
背面の残留応力を略々同一状態にしてＡＢＳ面にクラウ
ンを形成することができる。
背面の残留応力を略々同一状態にしてＡＢＳ面にクラウ
ンを形成することができる。
【００１９】
【実施例】この発明の一実施例を以下説明する。 （実施例１）ローの状態でクラウン形成を行なう場合の
この発明の一実施例を図１〜図４に従って説明する。 （１） ウェハープロセス ウェハー２０上に、磁気ヘッド素子として薄膜磁気ヘッ
ド素子２１を縦方向および横方向に多数形成する。 （２） ロースライシング ウェハー２０をロー２２に分割する。１本のロー２２に
は複数の磁気ヘッド素子２１が一例に並べられている。
この発明の一実施例を図１〜図４に従って説明する。 （１） ウェハープロセス ウェハー２０上に、磁気ヘッド素子として薄膜磁気ヘッ
ド素子２１を縦方向および横方向に多数形成する。 （２） ロースライシング ウェハー２０をロー２２に分割する。１本のロー２２に
は複数の磁気ヘッド素子２１が一例に並べられている。
【００２０】（３） 両面ラッピング ラップ盤の上下の定盤２４，２６間にロー２２をＡＢＳ
面２８および背面３０を上下方向にして挟み込み、定盤
２４，２６とロー２２との間に砥粒３２を入れて押し付
け、すり合わせてＡＢＳ面２８および背面３０を両面ラ
ッピングする。このとき、必要なクラウンを得るため
に、両面ラッピングの加工条件である定盤２４，２６の
種類と、使用する砥粒３２の種類を選択する。つまり、
両面ラッピングによる両面２８，３０の粗さ（つまり残
留応力値）を選択する。条件例としては、例えば両面２
８，３０の粗さＲａ＝２０オングストロームにする場合
は、砥粒３２として例えばＧＣ１０００を用い、定盤２
４，２６として例えばダクタイル鋳鉄定盤を用いること
ができる。
面２８および背面３０を上下方向にして挟み込み、定盤
２４，２６とロー２２との間に砥粒３２を入れて押し付
け、すり合わせてＡＢＳ面２８および背面３０を両面ラ
ッピングする。このとき、必要なクラウンを得るため
に、両面ラッピングの加工条件である定盤２４，２６の
種類と、使用する砥粒３２の種類を選択する。つまり、
両面ラッピングによる両面２８，３０の粗さ（つまり残
留応力値）を選択する。条件例としては、例えば両面２
８，３０の粗さＲａ＝２０オングストロームにする場合
は、砥粒３２として例えばＧＣ１０００を用い、定盤２
４，２６として例えばダクタイル鋳鉄定盤を用いること
ができる。
【００２１】この両面ラッピングにより、高い平行度と
反りの少ない（反り量が例えば２μｍ以下）ロー２２が
得られる。また、この両面ラッピングにより、ロー２２
のＡＢＳ面２８と背面３０のごく薄い層（例えば３μ
ｍ）には加工で生じた圧縮応力が残留する（内部の応力
より大きくつける。）。両面ラッピングの特徴である両
面２８，３０の応力のバランスにより、ロー２２は高度
な直線度を保つことができる。
反りの少ない（反り量が例えば２μｍ以下）ロー２２が
得られる。また、この両面ラッピングにより、ロー２２
のＡＢＳ面２８と背面３０のごく薄い層（例えば３μ
ｍ）には加工で生じた圧縮応力が残留する（内部の応力
より大きくつける。）。両面ラッピングの特徴である両
面２８，３０の応力のバランスにより、ロー２２は高度
な直線度を保つことができる。
【００２２】（４） ロー接着 両面ラッピングが終了したロー２２を、ＡＢＳ面２８の
片面ラッピング（スロートハイト加工）のため、接着剤
３４で治具（ワークホルダー）３６に接着する。接着剤
３４の種類は、必要なクラウンを得るために必要な接着
強度が得られるものを選択し、例えばロジン系ワックス
を使用することができる。
片面ラッピング（スロートハイト加工）のため、接着剤
３４で治具（ワークホルダー）３６に接着する。接着剤
３４の種類は、必要なクラウンを得るために必要な接着
強度が得られるものを選択し、例えばロジン系ワックス
を使用することができる。
【００２３】（５） スロートハイト研磨（ＡＢＳ面の
片面ラッピング） ＡＢＳ面２８をラッピングして、スロートハイト（薄膜
磁気ヘッド素子２１のポール部の長さ）を目標値まで加
工する。研磨砥粒には例えばダイヤモンド１／２μｍを
使用し、加工後のＡＢＳ面２８の粗さＲａを例えば８オ
ングストローム程度に平滑にする。微細な砥粒でラップ
すると、粗さの減少に伴い、加工面（ＡＢＳ面２８）の
残留応力が減少するので、ＡＢＳ面２８と背面３０とで
残留応力のバランスが崩れ、加工中にＡＢＳ面２８が収
縮し、ロー２２全体が反りを呈して、ＡＢＳ面２８が凹
状となる。しかし、このＡＢＳ面２８の凹状の変形はこ
のスロートハイト加工自体によって除去されて、ＡＢＳ
面２８は平面状態が維持される。このスロートハイト加
工の過程を図４に示す。
片面ラッピング） ＡＢＳ面２８をラッピングして、スロートハイト（薄膜
磁気ヘッド素子２１のポール部の長さ）を目標値まで加
工する。研磨砥粒には例えばダイヤモンド１／２μｍを
使用し、加工後のＡＢＳ面２８の粗さＲａを例えば８オ
ングストローム程度に平滑にする。微細な砥粒でラップ
すると、粗さの減少に伴い、加工面（ＡＢＳ面２８）の
残留応力が減少するので、ＡＢＳ面２８と背面３０とで
残留応力のバランスが崩れ、加工中にＡＢＳ面２８が収
縮し、ロー２２全体が反りを呈して、ＡＢＳ面２８が凹
状となる。しかし、このＡＢＳ面２８の凹状の変形はこ
のスロートハイト加工自体によって除去されて、ＡＢＳ
面２８は平面状態が維持される。このスロートハイト加
工の過程を図４に示す。
【００２４】（６） テーパ加工 ロー２２をワークホルダ３６に取り付けたまま、ＡＢＳ
面２８の空気流入側を斜めに削って、テーパ面４２を形
成する。
面２８の空気流入側を斜めに削って、テーパ面４２を形
成する。
【００２５】（７） 背面研磨（背面の片面ラッピン
グ） スロートハイト加工およびテーパ加工後、ロー２２をワ
ークホルダー３６から取外して、今度は背面３０を片面
ラッピングする。背面３０の片面ラッピングは、ここで
はロー２２をワークホルダーに接着しないで行なってい
る。すなわち、図３（ａ）に示すように、ラップ定盤４
４上にガイドリング４６をその側面をガイドローラ４８
で押さえた状態に載置し、このガイドリング４６内にキ
ャリア４８を収容し、キャリア４８に形成された保持穴
５０にロー２２をその背面３０を下向にして保持し、ロ
ー２２の上におもり５２を載せた状態（おもり５２の下
面には、ロー２２になじむように、ゴムパッド５４が貼
り付けられている）にセットし、この状態でラップ定盤
４４を回すことにより、図３（ｂ）のようにしてロー２
２の背面を研磨する。
グ） スロートハイト加工およびテーパ加工後、ロー２２をワ
ークホルダー３６から取外して、今度は背面３０を片面
ラッピングする。背面３０の片面ラッピングは、ここで
はロー２２をワークホルダーに接着しないで行なってい
る。すなわち、図３（ａ）に示すように、ラップ定盤４
４上にガイドリング４６をその側面をガイドローラ４８
で押さえた状態に載置し、このガイドリング４６内にキ
ャリア４８を収容し、キャリア４８に形成された保持穴
５０にロー２２をその背面３０を下向にして保持し、ロ
ー２２の上におもり５２を載せた状態（おもり５２の下
面には、ロー２２になじむように、ゴムパッド５４が貼
り付けられている）にセットし、この状態でラップ定盤
４４を回すことにより、図３（ｂ）のようにしてロー２
２の背面を研磨する。
【００２６】このとき、砥粒種類、定盤種類を選択する
ことにより、加工応力を設定する。砥粒としては例えば
ダイヤモンド１／２μｍを使用し、加工後の背面３０の
粗さＲａを例えば８オングストローム程度に平滑にす
る。微細な砥粒でラッピングすると、粗さの減少に伴
い、加工面（背面３０）の残留応力が減少するので、図
６に示すように、背面３０が収縮し、ロー２２全体が前
記と逆方向に反りを呈して、ＡＢＳ面２８に凸状（すな
わちクラウン形状）が形成される（この場合、ロー２２
の反りによる背面３０の凹状は、このラッピングにより
削られて、背面３０は平坦になる。）。この時、ＡＢＳ
面２８と背面３０の残留応力はほぼバランスしている。
なお、背面研磨は、図３の方法に限らず、前記ＡＢＳ面
の研磨と同様に、ＡＢＳ面２８を治具に接着して行なう
こともできる。
ことにより、加工応力を設定する。砥粒としては例えば
ダイヤモンド１／２μｍを使用し、加工後の背面３０の
粗さＲａを例えば８オングストローム程度に平滑にす
る。微細な砥粒でラッピングすると、粗さの減少に伴
い、加工面（背面３０）の残留応力が減少するので、図
６に示すように、背面３０が収縮し、ロー２２全体が前
記と逆方向に反りを呈して、ＡＢＳ面２８に凸状（すな
わちクラウン形状）が形成される（この場合、ロー２２
の反りによる背面３０の凹状は、このラッピングにより
削られて、背面３０は平坦になる。）。この時、ＡＢＳ
面２８と背面３０の残留応力はほぼバランスしている。
なお、背面研磨は、図３の方法に限らず、前記ＡＢＳ面
の研磨と同様に、ＡＢＳ面２８を治具に接着して行なう
こともできる。
【００２７】（８） ＡＢＳ面レールパターン加工 クラウン形成が終了したロー２２のＡＢＳ面２８に溝切
加工して、レールパターン３９を形成する。
加工して、レールパターン３９を形成する。
【００２８】（９） 完成 最後にロー２２を切断して個々のスライダ３８に分離し
て、個々の磁気ヘッド４０が完成する。完成したスライ
ダ３８のクラウンの大きさは、スライダ３８の長さが例
えば２mmの場合、例えば３０nmである。
て、個々の磁気ヘッド４０が完成する。完成したスライ
ダ３８のクラウンの大きさは、スライダ３８の長さが例
えば２mmの場合、例えば３０nmである。
【００２９】以上の工程において、クラウンの大きさの
制御は、初期の加工応力を与える両面ラッピングの条件
（すなわち、砥粒と定盤材質の選定）が最も影響が大き
い。次に影響するのが、接着に使うワックス等の接着剤
の種類（接着強度）、鏡面加工（片面ラッピング）のダ
イヤモンドサイズと定盤種類である。
制御は、初期の加工応力を与える両面ラッピングの条件
（すなわち、砥粒と定盤材質の選定）が最も影響が大き
い。次に影響するのが、接着に使うワックス等の接着剤
の種類（接着強度）、鏡面加工（片面ラッピング）のダ
イヤモンドサイズと定盤種類である。
【００３０】以上の工程によれば、ＡＢＳ面２８の粗さ
Ｒａが５オングストローム以下の鏡面に近い場合におい
ても、所望のクラウン形状を得ることができ、読み書き
の信頼性を確保しつつクラウンを形成することができ
る。また、ローの状態でクラウン形成するので、生産性
にすぐれている。
Ｒａが５オングストローム以下の鏡面に近い場合におい
ても、所望のクラウン形状を得ることができ、読み書き
の信頼性を確保しつつクラウンを形成することができ
る。また、ローの状態でクラウン形成するので、生産性
にすぐれている。
【００３１】（実施例２）ローを個々のスライダに分離
した状態でクラウン形成を行なう場合のこの発明の一実
施例を図７〜図８に従って説明する。 （１） ウェハープロセス （２） ロースライシング （３） 両面ラッピング （４） ロー接着 以上の（１）〜（４）の工程は、図１〜図２の（１）〜
（４）と同じである。
した状態でクラウン形成を行なう場合のこの発明の一実
施例を図７〜図８に従って説明する。 （１） ウェハープロセス （２） ロースライシング （３） 両面ラッピング （４） ロー接着 以上の（１）〜（４）の工程は、図１〜図２の（１）〜
（４）と同じである。
【００３２】（５） ＡＢＳ面レールパターン加工およ
びスライダ分離 ＡＢＳ面２８に溝切加工して、レールパターン３９を形
成する。また、ワークホルダ３６に接着したままロー２
２を溝切加工して個々のスライダ３８に分離する。
びスライダ分離 ＡＢＳ面２８に溝切加工して、レールパターン３９を形
成する。また、ワークホルダ３６に接着したままロー２
２を溝切加工して個々のスライダ３８に分離する。
【００３３】（６） スロートハイト研磨（ＡＢＳ面の
片面ラッピング） 前記図２の（５）と同様の方法でＡＢＳ面２８を片面ラ
ッピングして、スロートハイト加工する。これにより、
ＡＢＳ面２８と背面３０とで残留応力のバランスが崩
れ、加工中にＡＢＳ面２８が収縮し、スライダ３８が反
りを呈して、ＡＢＳ面２８が凹状となる。しかし、この
ＡＢＳ面２８の凹状の変形はこのスロートハイト加工自
体によって除去されて、平面となる。
片面ラッピング） 前記図２の（５）と同様の方法でＡＢＳ面２８を片面ラ
ッピングして、スロートハイト加工する。これにより、
ＡＢＳ面２８と背面３０とで残留応力のバランスが崩
れ、加工中にＡＢＳ面２８が収縮し、スライダ３８が反
りを呈して、ＡＢＳ面２８が凹状となる。しかし、この
ＡＢＳ面２８の凹状の変形はこのスロートハイト加工自
体によって除去されて、平面となる。
【００３４】（７） テーパ加工 前記図２（６）と同様にしてＡＢＳ面２８の空気流入側
を斜めに削って、テーパ面を形成する。
を斜めに削って、テーパ面を形成する。
【００３５】（８） 背面研磨（背面の片面ラッピン
グ） スロートハイト加工およびテーパ加工が終了したら、ス
ライダ３８をワークホルダー３６から外して、背面３０
を片面ラッピングする。背面３０の片面ラッピングは、
ここではロー２２をワークホルダーに接着しないで行な
っている。すなわち、ラップ定盤４４上にガイドリング
４６をその側面をガイドローラ４８で押さえた状態に載
置し、このガイドリング４６内にキャリア５６を収容
し、キャリア５６に形成された保持穴５８にスライダ３
８をその背面３０を下向にして保持し、スライダ３８の
上におもり５２を載せた状態（おもり５２の下面には、
スライダ３８になじむように、ゴムパッド５４が貼り付
けられている）にセットし、この状態でラッピング定盤
４４を回すことにより、スライダ３８の背面を研磨す
る。
グ） スロートハイト加工およびテーパ加工が終了したら、ス
ライダ３８をワークホルダー３６から外して、背面３０
を片面ラッピングする。背面３０の片面ラッピングは、
ここではロー２２をワークホルダーに接着しないで行な
っている。すなわち、ラップ定盤４４上にガイドリング
４６をその側面をガイドローラ４８で押さえた状態に載
置し、このガイドリング４６内にキャリア５６を収容
し、キャリア５６に形成された保持穴５８にスライダ３
８をその背面３０を下向にして保持し、スライダ３８の
上におもり５２を載せた状態（おもり５２の下面には、
スライダ３８になじむように、ゴムパッド５４が貼り付
けられている）にセットし、この状態でラッピング定盤
４４を回すことにより、スライダ３８の背面を研磨す
る。
【００３６】このとき、砥粒種類、定盤種類を選択する
ことにより、加工応力を設定する。砥粒としては例えば
ダイヤモンド１／２μｍを使用し、加工後の背面３０の
粗さＲａを例えば８オングストローム程度に平滑にす
る。微細な砥粒でラップすると、粗さの減少に伴い、加
工面（背面３０）の残留応力が減少するので、図９に示
すように、背面３０が収縮し、スライダ３８が逆方向に
反りを呈して、ＡＢＳ面２８に凸状（すなわちクラウン
形状）が形成される。以上により、ＡＢＳ面２８にクラ
ウンを形成した磁気ヘッド４０が完成する（この場合、
スライダ３８の反りによる背面３０の凹状は、このラッ
ピングにより削られて、背面３０は平坦になる。）。
ことにより、加工応力を設定する。砥粒としては例えば
ダイヤモンド１／２μｍを使用し、加工後の背面３０の
粗さＲａを例えば８オングストローム程度に平滑にす
る。微細な砥粒でラップすると、粗さの減少に伴い、加
工面（背面３０）の残留応力が減少するので、図９に示
すように、背面３０が収縮し、スライダ３８が逆方向に
反りを呈して、ＡＢＳ面２８に凸状（すなわちクラウン
形状）が形成される。以上により、ＡＢＳ面２８にクラ
ウンを形成した磁気ヘッド４０が完成する（この場合、
スライダ３８の反りによる背面３０の凹状は、このラッ
ピングにより削られて、背面３０は平坦になる。）。
【００３７】なお、背面研磨は、図８の方法に限らず、
前記ＡＢＳ面の研磨と同様に、ＡＢＳ面２８を治具に接
着した状態で行なうこともできる。
前記ＡＢＳ面の研磨と同様に、ＡＢＳ面２８を治具に接
着した状態で行なうこともできる。
【００３８】尚、前記実施例では、この発明を薄膜磁気
ヘッドに適用した場合について説明したが、モノリシッ
クヘッド、コンポジットヘッド、ＭＲ・薄膜複合磁気ヘ
ッド等各種の浮上型磁気ヘッドに適用することができ
る。
ヘッドに適用した場合について説明したが、モノリシッ
クヘッド、コンポジットヘッド、ＭＲ・薄膜複合磁気ヘ
ッド等各種の浮上型磁気ヘッドに適用することができ
る。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、スライダ（ロー等の状態のものを含む）の
ＡＢＳ面およびその背面を両面ラッピング後、ＡＢＳ面
を収縮を伴うように（すなわち、平滑度を高める。）片
面ラッピングすることにより、ＡＢＳ面側が凹状、背面
側が凸状となるように全体が変形する。しかし、この時
ＡＢＳ面自体はラッピングにより凹状が削られるので平
坦状態が維持される。その後、背面を収縮を伴うように
片面ラッピングすることにより、ＡＢＳ面側が凸状とな
るように全体が変形してＡＢＳ面にクラウンが形成され
る。したがって、ＡＢＳ面を平滑にして（例えば、ＲＡ
＝５オングストローム以下）クラウンを形成することが
でき、情報読み書きの信頼性を向上させることができ
る。
明によれば、スライダ（ロー等の状態のものを含む）の
ＡＢＳ面およびその背面を両面ラッピング後、ＡＢＳ面
を収縮を伴うように（すなわち、平滑度を高める。）片
面ラッピングすることにより、ＡＢＳ面側が凹状、背面
側が凸状となるように全体が変形する。しかし、この時
ＡＢＳ面自体はラッピングにより凹状が削られるので平
坦状態が維持される。その後、背面を収縮を伴うように
片面ラッピングすることにより、ＡＢＳ面側が凸状とな
るように全体が変形してＡＢＳ面にクラウンが形成され
る。したがって、ＡＢＳ面を平滑にして（例えば、ＲＡ
＝５オングストローム以下）クラウンを形成することが
でき、情報読み書きの信頼性を向上させることができ
る。
【００４０】請求項２記載の発明によれば、個々のスラ
イダに分離する前のローの状態でクラウン形成を行なう
ので、生産性が良好となる。
イダに分離する前のローの状態でクラウン形成を行なう
ので、生産性が良好となる。
【００４１】請求項３記載の発明によれば、両面ラッピ
ングおよびレールパターン形成後にローを個々のスライ
ダに分離してスライダごとにクラウンを形成することが
できる。
ングおよびレールパターン形成後にローを個々のスライ
ダに分離してスライダごとにクラウンを形成することが
できる。
【００４２】請求項４記載の発明によれば、ＡＢＳ面の
片面ラッピングがスロートハイト加工を兼ねるので、別
途スロートハイト加工が不要になり、工程が簡素化され
るとともに、別途スロートハイト加工することによるク
ラウン形状の変化が防止される。
片面ラッピングがスロートハイト加工を兼ねるので、別
途スロートハイト加工が不要になり、工程が簡素化され
るとともに、別途スロートハイト加工することによるク
ラウン形状の変化が防止される。
【００４３】請求項５記載の発明によれば、ＡＢＳ面と
背面の残留応力を略々同一状態にしてＡＢＳ面にクラウ
ンを形成することができる。
背面の残留応力を略々同一状態にしてＡＢＳ面にクラウ
ンを形成することができる。
【図１】 ローの状態でクラウン形成を行なう場合のこ
の発明の一実施例を示す工程図（図１〜図４で全工程終
了）である。
の発明の一実施例を示す工程図（図１〜図４で全工程終
了）である。
【図２】 図１の続きを示す工程図である。
【図３】 図２の続きを示す工程図である。
【図４】 図３の続きを示す工程図である。
【図５】 図２の工程（５）のスロートハイト加工動作
を示す図である。
を示す図である。
【図６】 図３の工程（７）の背面加工動作を示す図で
ある。
ある。
【図７】 ローを個々のスライダに分離した状態でクラ
ウン形成を行なう場合のこの発明の一実施例を示す工程
図（図７〜図８で全工程終了）である。
ウン形成を行なう場合のこの発明の一実施例を示す工程
図（図７〜図８で全工程終了）である。
【図８】 図７の続きを示す工程図である。
【図９】 図８の工程（８）の背面加工動作を示す図で
ある。
ある。
【図１０】 ＡＢＳ面をクラウン形状に形成した磁気ヘ
ッドを示す工程図である。
ッドを示す工程図である。
２１ 薄膜磁気ヘッド素子 ２２ ロー ２８ ＡＢＳ面 ３０ 背面 ３８ スライダ ３９ レールパターン ４０ 磁気ヘッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年８月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図 ９】
Claims (5)
- 【請求項１】スライダのＡＢＳ面およびその背面を両面
ラッピングする工程と、 その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面ラッピング
する工程と、 その後前記背面を収縮を伴うように片面ラッピングする
工程とを具え、 これらの工程を経て前記ＡＢＳ面をクラウン形状に形成
することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】個々のスライダに分離する前のローの状態
で、当該スライダのＡＢＳ面およびその背面を両面ラッ
ピングし、その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面
ラッピングし、その後前記背面を収縮を伴うように片面
ラッピングすることにより、前記ＡＢＳ面をクラウン状
に形成する工程と、 その後前記ローを個々のスライダに分離する工程と、 前記両面ラッピングと前記ＡＢＳ面の片面ラッピングと
の間、前記ＡＢＳ面の片面ラッピングと前記背面の片面
ラッピングとの間、前記背面の片面ラッピングと前記ロ
ーを分離する工程との間のいずれかの時点で前記各スラ
イダの前記ＡＢＳ面にレールパターンを形成する工程と
を具える磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】個々のスライダに分離する前のローの状態
で、当該スライダのＡＢＳ面およびその背面を両面ラッ
ピングする工程と、 その後前記各スライダの前記ＡＢＳ面にレールパターン
を形成するとともに前記ローを個々のスライダに分離す
る工程と、 その後前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面ラッピング
し、その後前記背面を収縮を伴うように片面ラッピング
することにより、前記ＡＢＳ面をクラウン形状に形成す
る工程とを具える磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】前記磁気ヘッドが薄膜磁気ヘッド素子を具
え、前記ＡＢＳ面を収縮を伴うように片面ラッピングす
る工程が、当該薄膜磁気ヘッドのスロートハイト加工工
程を兼ねていることを特徴とする請求項１〜３のいずれ
かに記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項５】前記ＡＢＳ面の片面ラッピングおよび前記
背面の片面ラッピングが、これらＡＢＳ面および背面に
略々同一の表面残留応力が形成されるように行なわれる
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の磁気
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6145550A JP2790043B2 (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 磁気ヘッドの製造方法 |
| US08/456,194 US5713123A (en) | 1994-06-03 | 1995-05-31 | Method of lapping for producing one-side curved surface adapted for floating magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6145550A JP2790043B2 (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07334828A true JPH07334828A (ja) | 1995-12-22 |
| JP2790043B2 JP2790043B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=15387775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6145550A Expired - Lifetime JP2790043B2 (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5713123A (ja) |
| JP (1) | JP2790043B2 (ja) |
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| US5951371A (en) * | 1996-11-04 | 1999-09-14 | Seagate Technology, Inc. | Multi-point bending of bars during fabrication of magnetic recording heads |
| US6475064B2 (en) | 1996-12-13 | 2002-11-05 | Seagate Technology Llc | Multipoint bending apparatus for lapping heads of a data storage device |
| US6287170B1 (en) | 1996-12-13 | 2001-09-11 | Seagate Technology Llc | Multipoint bending apparatus for lapping heads of a data storage device |
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| JP3566075B2 (ja) * | 1997-12-17 | 2004-09-15 | Ｔｄｋ株式会社 | スライダの加工方法および装置 |
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| CN1146866C (zh) | 1998-11-17 | 2004-04-21 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 浮起式磁头的冠顶形成方法及冠顶形成装置 |
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| JPH05298646A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-11-12 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5713123A (en) | 1998-02-03 |
| JP2790043B2 (ja) | 1998-08-27 |
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