JPH0469558A - Ｘ線分析装置におけるゴニオメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、Ｘ線回折装置等のＸ線分析装置におけるゴニ
オメータの改良に関する。

［従来の技術］ かかるＸ線回折装置のゴニオメータとしては、第２図に
示すように試料１の中心Ｏを中心とした円（デイフラク
トメータ円と称す）Ｃ上にＸ線源２とＸ線検出器３の受
光スリット４とを配置すると共に、ブラッグの回折条件
を満足させるためＸ線源を固定した状態で試料１とＸ線
検出器３（受光スリット４）とを１：２の比で回動する
ように構成された装置が知られている。

ところ゛で、前記試料及びＸ線検出器の駆動機構として
は、一般にはモータからの回転力をウオーム歯車とウオ
ームを用いて減速する構造が広く使用されている。

［発明が解決しようとする課題］ このようにウオーム歯車とウオームを使用した構造では
、以下のような問題があった。

■　歯車のバックラッシュが発生するため、バックラッ
シュ防止用のばねを組み込まなければならず、構造が複
雑となる。

■　オイルやグリース等の潤滑剤が必要であるため、散
防止用のカバーが必要になると共に、これらを定期的に
補給しなければならず、取扱が非常に面倒である。

■　歯車の音や振動を防止する必要がある。

■　歯車比（１／３６０）が大きくなるため、試料やＸ
線検出器を早送りする場合に、回転速度に限界がある。

■　構造上、モータがゴニオメータ本体外に出てしまい
、装置全体が大型化する。

そこで、本発明はかかる不都合を解決できる装置を提供
することを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明のＸ線分析装置におけ
るゴニオメータは、試料あるいは分光結晶の回転中心を
中心にしてＸ線検出器を回転させるようにしたゴニオメ
ータにおいて、前記試料あるいは分光結晶及びＸ線検出
器の各駆動軸を夫々直接モータで駆動するように構成し
たことを特徴とするものである。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示す構成概略図である。

図中、５はゴニオメータ本体、６及び７は例えば誘導電
動機からなるモータで、この各モータは本体５に夫々同
軸上に固定されている。また、この各モータは夫々本体
５に固定された円筒状の固定部８ａ、８ｂと、この固定
部の外周に軸受９ａ。

９ｂを介して回転可能に配置された有底筒状の回転体１
０ａ、１０ｂと、固定部に固定されたステータコア１１
ａ、１１ｂ及び回転体に固定されたロータコア１．２ａ
、１２ｂとから構成されている。

また、前記回転体の底部中心には開口１３ａ、１３ｂが
形成しである。１４ａ、１４ｂは夫々回転体１０ａ、１
０ｂに固定された円板である。尚、図示しないが前記回
転体の開口部分に設けた筒体１５ａ、１５ｂに回転体の
位置決めや回転速度を制御するための位置検出用のロー
タリエンコーダが組み込まれている。

１６は前記各モータ６．７の開口１３ａ、１３ｂ内に遊
嵌された中空状の回転軸で、この回転軸は各モータの回
転中心（回転体１０ａ、１０ｂの中心）と同軸上に配置
されている。さらに、この回転軸の一端はモータ６の円
板１４ａに固定されており、他端はモータ７の円板１４
ｂに設けた軸受１７に回転可能に支持されている。１８
はこの回転軸の先端に嵌合された試料台で、試料１９が
保持される。２０は前記回転軸１６の内部に回転可能に
支持された棒体で、先端部に形成した雄ネジ部２１を試
料台１８に螺合して締め付けることにより試料台を回転
軸に固定するためのものである。２２はモータ４の円板
１４ｂにＸ線検出器２３を固定するためのアームである
。

２４ａ、２４ｂは電磁ブレーキで、前記各モータ６．７
の制御回路（図示せず）への電源の停止に連動してソレ
ノイド２５ａ、２５ｂへの通電を停止することにより歯
車２６ａ、２６ｂ、２７ａ。

２７ｂ及び軸２８ｇ、２８ｂを介してモータ６゜７の各
回転体１０ａ、１０ｂに連結されたブレーキクランプ２
９ａ、２９ｂにアマチュア３０ａ。

３０ｂを夫々押圧、密着させて各モータ（回転体）の動
きをロックするためのものである。前記各アマチュア３
０ａ、３０ｂはスプリング３１ａ、３１ｂにより常にブ
レーキクランプ２９ａ、２９ｂ側へ押圧されていると共
に、ガイドビン３２ａ。

３２ｂより軸２８ａ、２８ｂの軸心に沿って摺動可能に
支持されている。

かかる構成において、図示外のモータ制御系により回転
体１０ａを回転させれば、円板１４ａを介して回転軸１
６が回転するため、試料１９が回転軸の軸心を中心にし
て仕方向に回動する。一方、同様にモータ７へパルス信
号を供給して回転体１０ｂを回転させれば、円板１４ｂ
と共にアーム２２が回動するため、Ｘ線検出器２３が回
転軸の軸心を中心にして任意方向に回動する。そこで、
各モータの回転体１０ａ、１０ｂの回転方向を同方向に
回転させると共に、１０ｂの方を１０ａに対して２倍の
回転速度で回転させれば、ブラッグの回折条件を満たし
ながら試料１９からの回折ＸｆｊＩをＸ線検出器２３で
検出することができる。このとき、各電磁ブレーキ２４
ａ、２４ｂのツレイドは通電され、アマチュア３０ａ、
３０ｂが吸引されブレーキクランプ２９ａ、２９ｂから
離れている。

尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では、Ｘ
線検出器を試料に対して２倍の回転角で回転させるよう
に述べたが、薄膜測定等においてはこの限りでないこと
は言うまでもない。

また、上記実施例では、電磁ブレーキを各モータの回転
中心から離した場合にいて述べたが、これに限定されず
、電磁ブレーキを各モータの回転中心と同心状に配置し
、電磁ブレーキのアマチュア３０ａ、３０ｂを直接台モ
ータの回転体１０ａ。

１０ｂの側面に抑圧、密着させるようにしても良い。

さらに、上記実施例では、Ｘ線回折装置のゴニオメータ
に実施した場合について述べたが、螢光Ｘ線分析装置の
ゴニオメータにも同様に実施することができる。この場
合においては、試料は固定し、この試料からの特性Ｘ線
を分光する分光結晶をゴニオメータの回転中心に配置す
ると共に、この分光結晶を中心にしてＸ線検出器を分光
結晶の回転速度に対して２倍の回転速度で回転するよう
に構成される。

［効果］ 以上詳述したように本発明によれば、ゴニオメータの駆
動機構として従来のようにウオームとウオーム歯車を使
用することなく、直接モータで回転するように構成しで
あるため、バックラッシュ用のバネが不要となり構造の
簡略化ができると共に、機械的な伝達精度が向上し分析
精度の向上が図れる。また、潤滑剤が不要となるため、
補給のメンテナンやカバーをする必要がなくなり取扱が
非常に容易となる。さらに、回転速度も任意に調整する
ことができるため、試料やＸ線検出器の早送り等を容易
に行うことができる。さらに、また、騒音や震動の対策
を行う必要がなくなり、しかもモータをゴニオメータ本
体内に組み込むことができるため、装置全体の小型化を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は従来
のＸ線回折装置を説明するための図である。 １：試料　　　　　　　２：Ｘ線源 ３．２３：Ｘ線検出器 ４：受光スリット ５：ゴニオメータ本体 ６．７：モータ ８ｇ、８ｂ：固定部 ９ａ、９ｂ、１７：軸受 １０ａ、１０ｂ：回転体 １１ａ、ｌｌｂニスチータコイル １２ａ、１２ｂ：ロータコイル １３ａ、１３ｂ：開口 １４ａ、１４ｂ：円板 １６：回転軸 １８：試料台　　　　　１９：試料 ２０：棒体　　　　　　２２：アーム ２４ａ、２４ｂ：電子ブレーキ ２５ａ、２５ｂ：ソレノイド ２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂ　：歯車２８ａ、２８
ｂ：軸 ２９ａ、２９ｂニブレーキクランプ ３０ａ、３０ｂ：アマチュア ３１ａ、３１ｂニスプリング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料あるいは分光結晶の回転中心を中心にしてＸ線検出
   器を回転させるようにしたゴニオメータにおいて、前記
   試料あるいは分光結晶及びＸ線検出器の各駆動軸を夫々
   直接モータで駆動するように構成したことを特徴とする
   Ｘ線分析装置におけるゴニオメータ。