JPH0470054B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〓産業上の利用分野〓 本発明は、揮発性の有機溶剤や酸など有害な蒸
気やガスを発生する薬液を用いる一方で無塵の環
境を必要とする作業を行なう際に用いるクリード
ラフトチヤンバーに関するものである。

〓従来の技術〓 半導体製品や精密機械部品等の製造工程におい
て、揮発性の有機溶剤や酸を用いる洗浄やエツチ
ングの作業を無塵の環境で行なう必要がある場
合、クリーンドラフトチヤンバーが用いられる。
有害ガス排出用の排気装置だけを備えた通常のド
ラフトチヤンバーはその作業用開口部からドラフ
トチヤンバー周辺の有塵空気を取り込むが、クリ
ーンドラフトチヤンバーは、第３図に示したよう
に、天井部に高性能エアーフイルター２１付き送
風機２２を設置して清浄化空気を天井部より作業
空間２３に供給し、作業台２４またはその周辺に
排気口２５を設けて汚染空気を排気装置２６によ
り強制排出するようにしてものであるから、作業
空間２３はドラフトチヤンバー周辺よりも浮遊塵
埃の少ない清浄な環境に保たれる。

このクリーンドラフトチヤンバーを用いる場
合、容器２６に入つている有機溶剤や酸の蒸気を
チヤンバーの作業用開口部２７から外に漏れない
ようにするためには、高性能エアーフイルター２
１を経由して供給する清浄空気の量（m³／min）
Q₁を上回る量Q₃のチヤンバー内汚染空気を排気
装置２５により排出し、それによりQ₃−Q₁に等
しい量Q₂の周辺空気が開口部２７ら風速ｖで常
にチヤンバー内に流れ込むようにする。しかしな
がら、浮遊塵埃の多い周辺空気の流入量Q₂が多
いほどチヤンバー内清浄度は低下するから、その
量をあまり多くすることは好ましくなく、チヤン
バー内で行なわれる作業の種類に応じて風速ｖと
して、0.25ｍ／sec以下、0.4ｍ／sec以下、または
0.5ｍ／sec以下に制限される。

風速ｖを所定の値に保つ場合、周辺空気流入量
Q₂は、上下動するシヤツター２８により可変の
開口部高さＨに比例するから、開口部高さＨを高
くするほどQ₂は多くなる。従つて、作業上の必
要性から開口部高さＨを高くした場合、周辺の空
調空気がドラフトチヤンバーに大量に取り込まれ
て廃棄されることになり、ドラフトチヤンバー設
置室の空調コストを上昇させることになる。ま
た、周辺空気を取り込みながらチヤンバー内の清
浄度を確保するには、清浄化空気供給量Q₁を高
い水準に設定しなければならず、このためQ₃も
多くなり、送風機２２および排気装置２５の動力
費が高いという問題があつた。

〓発明が解決しようとする課題〓 本発明の目的は、クリーンドラフトチヤンバー
における上述のような問題点を解決することにあ
る。

〓課題を解決するための手段〓 天井部に高性能エアーフイルター付き送風機を
設置して清浄化空気を天井部より作業空間に供給
可能にするとともに排気口を作業台またはその周
辺に設けて汚染空気を排気設置により強制排出す
るようにしたクリーンドラフトチヤンバーにおい
て、作業台にその手前側の縁部に沿つて吸気口を
設けてこれを上記送風機の空気取り入れ口とし、
作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹部の側
壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置に連
通させた。

このクリーンドラフトチヤンバーには、薬液容
器設置用凹部設置箇所より奥の部分におおいて作
業台にシヤツター付き排気口を併設してもよい。

薬液容器設置用凹部は、必要な溶液容器のすべ
てを余裕をもつて収容できる大きさにしておく。
また、その深さは、溶液容器全体が入つてしまう
よう十分深くしておくことが望ましい。

〓作用〓 本発明のグリーンドラフトチヤンバーを使用す
る場合は、作業に必要な有機溶剤や酸を入れた薬
液容器を薬液容器設置用凹部に置く。これによ
り、作業中発生する汚染空気は作業空間全体に拡
散することなく主として薬液容器設置用凹部内に
停滞する。この汚染空気は、排気装置を運転する
と凹部側壁の排気口からダクトに入り、屋外に排
出される。一方、清浄空気供給用送風機を運転す
ると、チヤンバー開口部付近の比較的清浄なチヤ
ンバー内空気と周辺空気が吸気口から吸い込まれ
て高性能エアーフイルターで濾過させ、清浄空気
となつて天井部から作業台方向に流下する。この
清浄空気の大部分は吸気口から吸い込まれるか
ら、清浄空気の大部分は上記経路で循環すること
になる。そして、チヤンバー開口部からの周辺空
気流入量および流入風速は、排気口からの排出空
気量のみによつて決まる。

〓実施例〓 第１図、第２図に示した実施例において、作業
台１は２カ所に薬液容器設置用凹部２を有し、さ
らに、その手前の開口部３側の縁に沿う吸気口４
と、薬液容器設置用凹部２の奥の部分に設けられ
たシヤツター付き排気口５とを有する。

薬液容器設置用凹部２は、薬液容器６を完全に
収容できる深さのもので、その側壁には排気口７
があり、また底板には図示していない排水管（洗
浄水等を流すためのもの）が接続されている。

吸気口４は、Ｕ字溝状に成形された有孔板をも
つて形成されており、ダクト９により、天井部の
送風機１０に通じている。送風機１０の下には高
性能エアーフイルター１１があり、送風機１０が
送り出す空気はすべてこのフイルター１１を通過
して作業空間１２に流下するようになつている。

薬液容器設置用凹部２の周囲は排気ダクト１３
になつていて、排気口７およびシヤツター付き排
気口５は、このダクト１３およびそれに続く排気
ダクト１４により排気装置１５に通じている。

開口部３の有効高さＨは、上下動するシヤツタ
ー１６により調節可能である。

このドラフトチヤンバーを使用して洗浄、エツ
チング等の作業をする場合、シヤツター付き排気
口５のシヤツターは通常閉じておく。作業に必要
な有機溶剤や酸を入れた平バツト等の薬液容器６
を薬液容器設置用凹部２に置いて送風機１０およ
び排気装置１５を運転すると、作業中に薬液容器
６中の溶剤や酸から発生した蒸気は大部分が凹部
２中に溜まるから、それにより汚染された空気が
排気装置１５により吸引されて排気口７から総流
量Q₄で排気ダクト１３に入り、排気ダクト１４
経由で作業空間外に排出され、溶剤等は適宜処理
される。一方、高性能エアーフイルター１１から
は清浄空気が流量Q₁で流下し、作業空間１２を
清浄に保つ。流下した清浄空気の一部は薬液容器
６の周辺に流れ、上述の汚染空気となつて排気口
７から総流量Q₄で排出されるが、大部分（Q₁−
Q₄）は、薬液蒸気によつて殆ど汚染されないま
ま吸気口４から吸い込まれてダクト９に入り、高
性能エアーフイルター１１で濾過され、再び清浄
空気となつて作業空間１２に入るという循環経路
に入る。送風機１０のための吸気口が吸気口４以
外には無いため汚染空気となつて排出される空気
量Q₄に等しい量Q₂の周辺空気が吸気口４から吸
い込まれる。流入空気量Q₂は、シヤツター１６
を捜査することによる開口部高さＨの変化によつ
て左右されない。この周辺空気は有塵空気である
が、高性能エアーフイルター１１から集中的に吸
気口４へ向かうエアカーテン状の清浄空気流が遮
断膜となるため、吸気口４に入る前にチヤンバー
内に進入して作業空間２を浮遊塵埃で汚染するこ
とはない。

送風機１０および排気装置１４を運転したまま
作業を休止する場合は、矢液容器設置用凹部２に
薬液蒸気拡散防止用の適当な有孔蓋をするととも
にシヤツター付き排気口５シヤツターを開くとよ
い。これにより薬液蒸気の漏れは一層少なくな
り、一方、排気装置１５による流量Q₄の空気排
出は排気口５を経由して続けられて、風量バラン
スの安定が保たれる。シヤツター付き排気口５を
設けず、流量Q₄の排気に必要最小限度の通気孔
を薬液容器設置用凹部２の蓋に設けておいてもよ
い。

〓発明の効果〓 本発明のクリーンドラフトチヤンバーは、上述
のような構成に基づき、使用薬液蒸気の拡散を最
小限度にし、少量の汚染空気だけをその発生部位
から速やかに屋外に排出してしまうので、チヤン
バー内空気全量を吸引廃棄する従来のクリーンド
ラフトチヤンバーにおける必要排気量よりも遥か
に少ない排気量で汚染空気の漏出を抑えることが
できる。従つて本発明のクリーンドラフトチヤン
バーは、汚染空気の拡散を防ぐために開口部から
著量の周辺空気を流入させるとともに大量の清浄
空気を流す必要があつた従来のクリーンドラフト
チヤンバーと比べて、ドラフトチヤンバー設置室
の空調空気を大量に消費して空調費用を著増させ
ることなく、また、送風機や排気装置の動力費が
低廉であるという特長がある。また、屋外排出量
に見合つた量だけ給気系に取り込まれる有塵の周
辺空気は、高性能エアーフイルターから吸気口に
向かうエアカーテン状清浄空気流に妨げられてチ
ヤンバー内には進入せず、直接吸気口に入るか
ら、チヤンバー内に浮遊塵埃を持ち込む恐れがな
い。更に、清浄空気の大部分を循環再利用するか
ら、高性能エアーフイルターが長持ちする。

以上により、本発明のクリーンドラフトチヤン
バーは、清浄な作業環境を従来よりも遥かに低い
コストで安定して実現することができるきわめて
有利なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の略縦断面図、第２図
は第１図の実施例における作業台１の平面図、第
３図は従来のクリーンドラフトチヤンバーの例を
示す略縦断面図である。 １，２４……作業台、２……薬液容器設置用凹
部、３，２７……開口部、４……吸気口、５，
７，２５……排気口、６，２６……薬液容器、
９，１３……ダクト、１０，２２……送風機、１
１，２１……高性能エアーフイルター、１２，２
３……作業空間、１５，２５……排気装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 作業空間外に高性能エアーフイルター付き送
   風機を設置して清浄化空気を作業空間に供給する
   清浄化空気流通路を設けたクリーンドラフトチヤ
   ンバーにおいて、作業台に薬液容器設置用凹部を
   設け、該凹部の側壁に排気口を設けてこれをダク
   トで排気装置に連通させたことを特徴とするクリ
   ーンドラフトチヤンバー。 ２ 天井部に高性能エアーフイルター付き送風機
   を設置して清浄化空気を天井部より作業空間に供
   給可能にするとともに排気口を作業台またはその
   周辺に設けて汚染空気を排気装置により強制排出
   するようにしたクリーンドラフトチヤンバーにお
   いて、作業台にその手前側の縁部に沿つて吸気口
   を設けてこれを上記送風機の空気取り入れ口と
   し、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹部
   の側壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置
   に連通させたことを特徴とするクリーンドラフト
   チヤンバー。 ３ 薬液容器設置用凹部設置箇所より奥の部分に
   おいて作業台にシヤツター付き排気口を併設した
   請求項１記載のクリーンドラフトチヤンバー。