JPH0471009B2 - - Google Patents
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- JPH0471009B2 JPH0471009B2 JP28776685A JP28776685A JPH0471009B2 JP H0471009 B2 JPH0471009 B2 JP H0471009B2 JP 28776685 A JP28776685 A JP 28776685A JP 28776685 A JP28776685 A JP 28776685A JP H0471009 B2 JPH0471009 B2 JP H0471009B2
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- trichlorosilane
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- Silicon Compounds (AREA)
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28776685A JPS62148314A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | シランの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28776685A JPS62148314A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | シランの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62148314A JPS62148314A (ja) | 1987-07-02 |
| JPH0471009B2 true JPH0471009B2 (fr) | 1992-11-12 |
Family
ID=17721476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28776685A Granted JPS62148314A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | シランの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62148314A (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011132621A1 (fr) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 電気化学工業株式会社 | Catalyseur de dismutation de silane hydrohalogéné et procédé de production de monosilane au moyen de ce catalyseur |
-
1985
- 1985-12-23 JP JP28776685A patent/JPS62148314A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011132621A1 (fr) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 電気化学工業株式会社 | Catalyseur de dismutation de silane hydrohalogéné et procédé de production de monosilane au moyen de ce catalyseur |
| JPWO2011132621A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2013-07-18 | 電気化学工業株式会社 | 水素化ハロゲン化シランの不均化反応用の触媒及びそれを用いたモノシランの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62148314A (ja) | 1987-07-02 |
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