JPH02223010A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH02223010A JPH02223010A JP1871090A JP1871090A JPH02223010A JP H02223010 A JPH02223010 A JP H02223010A JP 1871090 A JP1871090 A JP 1871090A JP 1871090 A JP1871090 A JP 1871090A JP H02223010 A JPH02223010 A JP H02223010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- layer
- film layer
- alloy
- magnetic recording
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はＦｅを使用した金属薄膜型の磁気記録媒体の改
良に関する。
良に関する。
（従来技術）
非磁性基体上に、真空蒸着、スパッタリング、イオンブ
レーティング等の手段により強磁性金属の薄膜を形成し
た、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体は、通常の、バ
インダーを使用する型の磁気記録媒体にくらべて記録密
度を高くとることができる他、種々の利点を有している
ため、実用化への努力が払われている。
レーティング等の手段により強磁性金属の薄膜を形成し
た、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体は、通常の、バ
インダーを使用する型の磁気記録媒体にくらべて記録密
度を高くとることができる他、種々の利点を有している
ため、実用化への努力が払われている。
このような金属薄膜型の磁気記録媒体を作成するのに使
用される金属としてはＦｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ。
用される金属としてはＦｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ。
Ｃｒ等の強磁性金属や、これら強磁性金属を主体とする
合金が使用されることが多いが、その中でもＣｏの単独
あるいはＣｏを主体とする合金は磁気記録媒体として高
性能であるのでしばしば使用される。
合金が使用されることが多いが、その中でもＣｏの単独
あるいはＣｏを主体とする合金は磁気記録媒体として高
性能であるのでしばしば使用される。
一方、上記の強磁性金属のうちでもＦｅは、Ｃ。
やＣｏの合金にくらべて材料費が安り、磁気記録媒体と
したときにＳ／Ｎ比がすぐれており、しかも歪率が低い
等の種々の利点がある反面、耐腐食性が充分でない等の
欠点を有している。
したときにＳ／Ｎ比がすぐれており、しかも歪率が低い
等の種々の利点がある反面、耐腐食性が充分でない等の
欠点を有している。
（発明の目的）
従って、本発明の目的は、安価である強磁性金属Ｆｅの
Ｆｅの利点を最大限に引き出し、かつ弱点を補うために
ＣＯの単独あるいはＣｏを主体とする合金を上記の多層
にした最上層のＦｅ層の上に設けることによりＦｅ自体
の有する腐食しやすいという欠点を解消すると共に磁気
特性も優れた磁気記録媒体を提供することにある。
Ｆｅの利点を最大限に引き出し、かつ弱点を補うために
ＣＯの単独あるいはＣｏを主体とする合金を上記の多層
にした最上層のＦｅ層の上に設けることによりＦｅ自体
の有する腐食しやすいという欠点を解消すると共に磁気
特性も優れた磁気記録媒体を提供することにある。
（発明の構成）
本発明の磁気記録媒体は、非磁性基体上に２以上のＰｅ
薄膜層と、更にその上にＣｏの単独あるいはＣｏを主体
とする合金の薄膜層とが積層されていることを特徴とす
るものである。
薄膜層と、更にその上にＣｏの単独あるいはＣｏを主体
とする合金の薄膜層とが積層されていることを特徴とす
るものである。
以下、図面を用いながら本発明の詳細な説明すると、第
１図に示すように本発明の磁気記録媒体ｌは例えば非磁
性基体２上に第１のＦｅ薄膜層３、第２のＦｅ薄膜ＷＡ
４、およびＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄
膜層５の各層が順次積層されている。この第１図の例で
は２つのＦｅ薄膜層の上にＣｏの単独あるいはＣｏを主
体とする合金薄膜層が積層されているが、Ｐｅ薄膜層を
３層以上形成し、その上にＣｏの単独あるいはＣｏを主
体とする合金薄膜層を積層してもよい。
１図に示すように本発明の磁気記録媒体ｌは例えば非磁
性基体２上に第１のＦｅ薄膜層３、第２のＦｅ薄膜ＷＡ
４、およびＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄
膜層５の各層が順次積層されている。この第１図の例で
は２つのＦｅ薄膜層の上にＣｏの単独あるいはＣｏを主
体とする合金薄膜層が積層されているが、Ｐｅ薄膜層を
３層以上形成し、その上にＣｏの単独あるいはＣｏを主
体とする合金薄膜層を積層してもよい。
上記における非磁性基体２としては耐熱性を有する合成
樹脂フィルム、例えばポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリイミドフィルムもしくはポリカーボネートフ
ィルム等、金属箔、例えばアルミニウム箔、非磁性ニッ
ケル箔、銅箔もしくはステンレス箔等、或いはガラスや
セラミックを用いることができる。これらのうち、磁気
記録媒体をテープ状に製造する際には耐熱性、抗張力、
及び寸法安定性の点で厚み４μ〜２５μのポリエチレン
テレフタレートフィルムを用いるとよい。
樹脂フィルム、例えばポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリイミドフィルムもしくはポリカーボネートフ
ィルム等、金属箔、例えばアルミニウム箔、非磁性ニッ
ケル箔、銅箔もしくはステンレス箔等、或いはガラスや
セラミックを用いることができる。これらのうち、磁気
記録媒体をテープ状に製造する際には耐熱性、抗張力、
及び寸法安定性の点で厚み４μ〜２５μのポリエチレン
テレフタレートフィルムを用いるとよい。
第１のＦｅｌ膜層と第２のＦｅ薄膜層とは原則的°には
同様である。また、第１のＦｅ薄１１！７１と第２のＰ
ａ薄膜層を設ける理由としては、所望の磁気的出力を得
るにはある一定の膜厚（少なくとも５００Å以上、望ま
しくは２０００Å以上）が必要であり、Ｆｅ薄膜層を一
度に形成すると、所望の磁気的出力を出す膜厚は確保さ
れるが、角型比、抗磁力等の特性で良い結果は得られな
いからである。その第１及び第２のＦｅ′ｉｉｌ膜層は
、Ｆｅを蒸着源とする蒸着等の手段により設けることが
でき、所望の磁気的出力を得るための膜厚を確保しなが
ら、角型比、抗磁力等の特性を満足させる手段を用いる
。すなわち、−度に所望の膜厚を形成せずに、磁気特性
の劣化しない範囲の膜厚を２回に分けて形成する方法を
用いる。また、蒸着を行う際の被蒸着基材の法線と金属
蒸着流とのなす角度を０°よりも大きくとって、いわゆ
る斜方蒸着とするのがよい０本発明者等の研究によれば
、前記の角度が４５°〜８０°の間で形成されたＦｅｎ
膜は膜厚が２００Å〜２０００人であるとき、より好ま
しくは３００Å〜１０００人であるときにその磁気特性
がすぐれていることが判明した。ここで２００人未満で
は薄膜の形成が未熟で充分な磁束が得られず、その上、
抗磁力の向上を左右する因子の１つである形状異方性効
果の働きが小さいので抗磁力が小さいし、又、２０００
人を越えるとＦｅ薄膜の傾斜柱が成長しすぎ、隣接する
傾斜柱の頂上どうしが癒着してしまい、いずれにせよ、
上記の範囲外では角型比・抗磁力共低下するものである
。
同様である。また、第１のＦｅ薄１１！７１と第２のＰ
ａ薄膜層を設ける理由としては、所望の磁気的出力を得
るにはある一定の膜厚（少なくとも５００Å以上、望ま
しくは２０００Å以上）が必要であり、Ｆｅ薄膜層を一
度に形成すると、所望の磁気的出力を出す膜厚は確保さ
れるが、角型比、抗磁力等の特性で良い結果は得られな
いからである。その第１及び第２のＦｅ′ｉｉｌ膜層は
、Ｆｅを蒸着源とする蒸着等の手段により設けることが
でき、所望の磁気的出力を得るための膜厚を確保しなが
ら、角型比、抗磁力等の特性を満足させる手段を用いる
。すなわち、−度に所望の膜厚を形成せずに、磁気特性
の劣化しない範囲の膜厚を２回に分けて形成する方法を
用いる。また、蒸着を行う際の被蒸着基材の法線と金属
蒸着流とのなす角度を０°よりも大きくとって、いわゆ
る斜方蒸着とするのがよい０本発明者等の研究によれば
、前記の角度が４５°〜８０°の間で形成されたＦｅｎ
膜は膜厚が２００Å〜２０００人であるとき、より好ま
しくは３００Å〜１０００人であるときにその磁気特性
がすぐれていることが判明した。ここで２００人未満で
は薄膜の形成が未熟で充分な磁束が得られず、その上、
抗磁力の向上を左右する因子の１つである形状異方性効
果の働きが小さいので抗磁力が小さいし、又、２０００
人を越えるとＦｅ薄膜の傾斜柱が成長しすぎ、隣接する
傾斜柱の頂上どうしが癒着してしまい、いずれにせよ、
上記の範囲外では角型比・抗磁力共低下するものである
。
上記第２のＦｅ薄膜層上のＣｏの単独あるいはＣ。
を主体とする合金薄膜層は、強磁性体金属であるが、Ｃ
ｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金のもつ良い磁気
特性（抗磁力が高い等）が作用し、記録層全体の磁気特
性が向上するため、第２のＦｅ薄膜層の上にこのＣｏの
単独あるいはＣｏを主体とする合金中間層を設ける。さ
らに、上記のＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金
薄膜層としては、Ｃｏの単独の他、Ｃｏ−Ｎｉ、 Ｃｏ
−Ｃｒ、 Ｃ。
ｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金のもつ良い磁気
特性（抗磁力が高い等）が作用し、記録層全体の磁気特
性が向上するため、第２のＦｅ薄膜層の上にこのＣｏの
単独あるいはＣｏを主体とする合金中間層を設ける。さ
らに、上記のＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金
薄膜層としては、Ｃｏの単独の他、Ｃｏ−Ｎｉ、 Ｃｏ
−Ｃｒ、 Ｃ。
Ｃｕ、 Ｃｏ−Ａｕ、、 Ｃｏ −Ｖ、 Ｃｏ −
Ｌａ、 Ｃｏ−Ｐｒ、、 Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−５ｓ、
Ｃｏ−Ｐｔ、 Ｃｏ−ＤｙＳＣｏ−Ｍｎ、、Ｃｏ−Ｖ
等のＣｏを一つの成分とする合金を使用し、公知の手段
により形成すればよいが、第１及び第２のＦｅ薄膜層と
同様、角度が４５°〜８０°の斜方蒸着により、前記理
由により厚み２００Å〜２０００人になるよう形成する
とよい、 なお、上記のうちでもＣｏを主体とし、Ｎｉ
をＣｏ／Ｎ１＝９５１５〜６５／３５（重量比）になる
よう添加したものがよく、又、ｃｏの単独あるいはＣｏ
を主体とする合金薄膜層の抗磁力が、他のＦｅ薄膜層の
抗磁力とほぼ一致するよう斜方蒸着の角度を適宜に定め
るとよい。
Ｌａ、 Ｃｏ−Ｐｒ、、 Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−５ｓ、
Ｃｏ−Ｐｔ、 Ｃｏ−ＤｙＳＣｏ−Ｍｎ、、Ｃｏ−Ｖ
等のＣｏを一つの成分とする合金を使用し、公知の手段
により形成すればよいが、第１及び第２のＦｅ薄膜層と
同様、角度が４５°〜８０°の斜方蒸着により、前記理
由により厚み２００Å〜２０００人になるよう形成する
とよい、 なお、上記のうちでもＣｏを主体とし、Ｎｉ
をＣｏ／Ｎ１＝９５１５〜６５／３５（重量比）になる
よう添加したものがよく、又、ｃｏの単独あるいはＣｏ
を主体とする合金薄膜層の抗磁力が、他のＦｅ薄膜層の
抗磁力とほぼ一致するよう斜方蒸着の角度を適宜に定め
るとよい。
本発明においてＦｅ薄膜層を複数層積層し、その上にＣ
ｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層を設ける
ので、各層の磁気特性が加算されて磁気特性が向上する
。つまり、各Ｐｅの￥［層は前記した好ましい厚みの範
囲に形成しても、ただ単にＦｅ薄膜層を重ねた場合だと
、下層のＦｅ薄膜の傾斜柱状構造を延長する傾向で次の
Ｂｅ薄膜層が形成されるため、同じトータル厚みを１工
程で形成した場合に近づいてしまい、結局、Ｆｅ薄膜層
だけの積層では充分な磁気特性は得られないのであるが
、最表層に磁気特性のすぐれたＣｏの単独あるいはＣ，
ｏを主体とする合金薄膜層を形成することにより必要な
磁気特性が得られるものである。
ｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層を設ける
ので、各層の磁気特性が加算されて磁気特性が向上する
。つまり、各Ｐｅの￥［層は前記した好ましい厚みの範
囲に形成しても、ただ単にＦｅ薄膜層を重ねた場合だと
、下層のＦｅ薄膜の傾斜柱状構造を延長する傾向で次の
Ｂｅ薄膜層が形成されるため、同じトータル厚みを１工
程で形成した場合に近づいてしまい、結局、Ｆｅ薄膜層
だけの積層では充分な磁気特性は得られないのであるが
、最表層に磁気特性のすぐれたＣｏの単独あるいはＣ，
ｏを主体とする合金薄膜層を形成することにより必要な
磁気特性が得られるものである。
又、本発明においては最表層のＣｏの単独あるいはＣｏ
を主体とする合金薄膜層がＦｅ薄膜層の傾斜柱の上に稠
密に形成されているので最上層のＦｅ薄膜層を被覆する
効果があり、またＣｏ自身の耐腐食性も優れているので
Ｆｅ薄膜が表面に露出する場合にくらべて耐腐食性が特
に向上する。
を主体とする合金薄膜層がＦｅ薄膜層の傾斜柱の上に稠
密に形成されているので最上層のＦｅ薄膜層を被覆する
効果があり、またＣｏ自身の耐腐食性も優れているので
Ｆｅ薄膜が表面に露出する場合にくらべて耐腐食性が特
に向上する。
（発明の効果）
本発明の磁気記録媒体はこのように多層のＦｅ薄膜層の
上にＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層を
設けているので、従来磁気記録層としてＦｅ単独で使用
していたときに比べて耐腐食性を向上するという効果を
得るものである。
上にＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金薄膜層を
設けているので、従来磁気記録層としてＦｅ単独で使用
していたときに比べて耐腐食性を向上するという効果を
得るものである。
また、Ｆｅ単独で所望の膜厚を得るときに生じていた角
型比、抗磁力等の特性低下をおさえることができ、記録
層全体としての磁気特性が向上するという効果も得るも
のである。
型比、抗磁力等の特性低下をおさえることができ、記録
層全体としての磁気特性が向上するという効果も得るも
のである。
以下に本発明をより具体的に示すための実施例を掲げる
。
。
ＬＪＬＩＬ
基体としては厚み６μのポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを用い、フィルム上に最低入射角を６５°とした
斜方蒸着法により、まず、厚み８５０人のＦｅ薄膜を設
けた１次に、この第１のＦｅ薄膜上に第１のＦｅ薄膜と
同様にして同厚みの第２のＦｅ薄膜を設けた。更に第２
のｐｅｌｔ膜の上にＣｏ ： Ｎ１＝８０ ： ２０
（重量比）のＣｏ−Ｎｉ合金を用い、最低入射角を４５
°とする斜方蒸着法によりＣｏ−Ｎｉ合金ｙｉＭを厚み
６００人になるよう設けた。
ィルムを用い、フィルム上に最低入射角を６５°とした
斜方蒸着法により、まず、厚み８５０人のＦｅ薄膜を設
けた１次に、この第１のＦｅ薄膜上に第１のＦｅ薄膜と
同様にして同厚みの第２のＦｅ薄膜を設けた。更に第２
のｐｅｌｔ膜の上にＣｏ ： Ｎ１＝８０ ： ２０
（重量比）のＣｏ−Ｎｉ合金を用い、最低入射角を４５
°とする斜方蒸着法によりＣｏ−Ｎｉ合金ｙｉＭを厚み
６００人になるよう設けた。
土［１上
基体は実施例１におけるものと同様とし、実施例１にお
けるＦｅｌ膜形成と同じ方法で厚み７００人のＦｅ薄液
層を３層積層した。
けるＦｅｌ膜形成と同じ方法で厚み７００人のＦｅ薄液
層を３層積層した。
−史１し叶」−
基体上に第１のＦｅ９１膜、Ｃｏ−Ｎｉ合金薄膜、及び
第２のＦｅ薄膜をこの順に設けた。但し、基体、Ｆｅ薄
膜・Ｃｏ −Ｎｉ合金ａｉｌｌｌ！の形成法・厚みは実
施例１におけるものと同様とした。
第２のＦｅ薄膜をこの順に設けた。但し、基体、Ｆｅ薄
膜・Ｃｏ −Ｎｉ合金ａｉｌｌｌ！の形成法・厚みは実
施例１におけるものと同様とした。
上記の実施例及び各比較例で得られた磁気記録媒体の磁
気特性・耐腐食性を評価した結果を表１および表２に示
す。
気特性・耐腐食性を評価した結果を表１および表２に示
す。
第１図は本発明の磁気記録媒体の実施例の断面図である
。 １・・・・・磁気記録媒体 ２・・・・・非磁性基体 ３．４・・・Ｐｅ薄膜層 ５・・・・・ｃｏの単独あるいは Ｃｏを主体とする合金１１１１層 特許出願人 大日本印Ｉ１１株式会社代理人 弁
理士 小 西 淳 美
。 １・・・・・磁気記録媒体 ２・・・・・非磁性基体 ３．４・・・Ｐｅ薄膜層 ５・・・・・ｃｏの単独あるいは Ｃｏを主体とする合金１１１１層 特許出願人 大日本印Ｉ１１株式会社代理人 弁
理士 小 西 淳 美
Claims (2)
- （１）非磁性基体上に２以上のＦｅ薄膜層と、更にその
上にＣｏの単独あるいはＣｏを主体とする合金の薄膜層
とが積層されていることを特徴とする磁気記録媒体。 - （２）各Ｆｅ薄膜層の厚みは２００Å〜２０００Åであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1871090A JPH02223010A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1871090A JPH02223010A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02223010A true JPH02223010A (ja) | 1990-09-05 |
| JPH0472287B2 JPH0472287B2 (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=11979210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1871090A Granted JPH02223010A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02223010A (ja) |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP1871090A patent/JPH02223010A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0472287B2 (ja) | 1992-11-17 |
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