JPH047370Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［技術分野］ 本考案はロータリアクチユエータ、特に、流体
圧によつて往復運動されるラツクに噛合されるピ
ニオンを介して軸体に揺動トルタを得るロータリ
アクチユエータに関する。

［背景技術］ 一般に工作機械や各種自動機器の位置制御など
のアクチユエータとして、たとえば圧縮空気など
の流体圧エネルギをシヤフトなどの揺動トルタと
して取り出すいわゆるロータリアクチユエータが
ある。

一方、医療分野や半導体製造分野のように作業
空間に対して極めて高い清浄度を要求される分野
においは、作業空間の極めて高い清浄度を維持す
るため、通常、内部に浮遊される粉塵などを所定
量以下に低減させた、いわゆるクリーンルームを
構築し、そのクリーンルーム内において所要の作
業が行われる。

このため、前記クリーンルーム内で使用され
る、たとえばロータリアクチユエータなどの流体
圧作動機器については発塵などによつてクリーン
ルーム内の清浄度を阻害しないような配慮が必要
とされるが、通常の構造のロータリアクチユエー
タにおいては、摺動部からの発塵や駆動用の圧縮
空気の漏洩などによつて、作業空間が汚染される
ことは避けられないものである。

［考案の目的］ 本考案の目的は、塵埃や動作流体による作業空
間の汚染を防止することが可能なロータリアクチ
ユエータを提供することにある。

［考案の概要］ 本考案のロータリアクチユエータは、本体内に
穿設されたシリンダと、このシリンダの一端を閉
止するシリンダカバーと、シリンダの内部に収容
されるラツクと、本体内に支持され、ラツクに噛
合するピニオンと、シリンダの内部においてラツ
クの一端に当接し、シリンダカバーとの間に流体
室を構成するピストンと、シリンダカバーに穿設
され、流体室に対する動作流体の給排が行われる
圧力ポートと、ピストンの背面側のラツクおよび
ピニオンが位置する空間を密閉する防塵カバー
と、この防塵カバーに穿設され、空間に連通する
集塵ポートと、ピニオンの本体に対する支持部に
装着され当該支持部を封止する封止部材とを備え
てなるものである。

［作用］ 上記した本考案のロータリアクチユエータによ
れば、本体内部におけるピストンの背面側の、ラ
ツクやピニオンなどが位置する空間が、防塵カバ
ーおよびピニオンの支持部に配置された封止部材
によつて外部から気密に遮断されるとともに、当
該空間に発生する塵埃や、ピニオン側から当該空
間に漏洩する動作流体などを集塵ポートを介して
捕捉し、所望の配管系などに確実に排出できる。
これにより、動作流体や動作中に発生する塵埃な
どが作業空間に飛散することがなく、作業空間の
汚染を確実に防止することができる。

［実施例］ 第１図は、本考案の一実施例であるロータリア
クチユエータの断面図であり、第２図は前記第１
図において線−で示される部分の断面図であ
る。

本実施例におけるロータリアクチユエータの本
体１の内部には、同一平面内に平行に軸を有する
シリンダ２およびシリンダ３が形成され、さらに
前記平面に垂直にシリンダ２および３の境界部を
貫通して、ピニオン４およびそのピニオン４と同
軸にかつ一体に構成される主軸５が設けられてい
る。

前記主軸５の一端は本体１の外部に突出され、
さらに主軸５は主軸５に一体に形成されたピニオ
ン４を挟持する位置において、本体１に嵌合され
る軸受メタル６および軸受メタル７によつて回動
自在に支持されている。

前記軸受メタル６および７は、本体１に嵌合さ
れる軸受押さえ８および軸受押さえ９によつてそ
れぞれ本体１に保持されるように構成されてい
る。

また、軸受メタル６および７の外周部と本体１
との間にはＯリング１０およびＯリング１１がそ
れぞれ装着され、さらに軸受押さえ８および９の
内周部と主軸５の外周部との間にはＯリング１２
およびＯリング１３がそれぞれ装着されており、
主軸５の本体１における貫通部から動作流体が漏
洩しないようシールし、また本体１の内部で発生
される塵埃などが外部に飛散されることが防止さ
れる構造とされている。

前記ピニオン４の歯部はシリンダ２および３の
内部に露出され、シリンダ２および３の軸方向に
滑動自在に収容された円筒形部材の側面に直線状
に配設される歯部を刻設することによつて形成さ
れたラツク１４およびラツク１５に噛合されてい
る。

前記ラツク１４および１５の一端にはピストン
部１６およびピストン部１７が形成され、このピ
ストン部１６および１７とシリンダ２および３の
一端を閉止するシリンダカバー１８との間に流体
室Ａおよび流体室Ｂがそれぞれ構成されている。

そして、シリンダカバー１８を貫通して形成さ
れ前記流体室ＡおよびＢにそれぞれ連通される圧
力ポート１９および圧力ポート２０を通じて圧縮
空気などの流体圧を交互に作用させることによつ
て、ラツク１４および１５を互いに逆方向に往復
運動させ、ラツク１４および１５に噛合されるピ
ニオン４を介して主軸５に所定の揺動トルクが発
生される構造とされている。

シリンダカバー１８とシリンダ２および３とが
密着される部分には、Ｏリング２１およびＯリン
グ２２がそれぞれ装着され、流体室ＡおよびＢの
気密を保持するとともに、シリンダ２および３の
内部において発生される塵埃などが本体１の外部
に飛散されることが防止されている。

ピストン部１６および１７の外周部には、ピス
トン部パツキン２３およびピストン部パツキン２
４が設けられ、ピストン部１６およびピストン部
１７とシリンダ２および３との摺動部の気密が保
持されるように構成されている。

さらに、本体１に形成されたシリンダ２および
３の他端部には、パツキン２５を介して防塵カバ
ー２６が気密状態に装着され、ラツク１４および
１５の端部にそれぞれ形成されたピストン部１６
および１７の背面側の空間が密閉される構造とさ
れている。

この場合、防塵カバー２６の中央部には集塵ポ
ート２７が貫通して設けられており、前記のピス
トン部１６および１７の背面側の空間の双方に連
通されている。

そして、この集塵ポート２７を、たとえば所定
の真空系またはリリーフポート（図示せず）など
の配管に接続することにより、本体１の内部にお
いてシリンダ２および３の内周面とピストン部１
６および１７との摺動部やピニオン４とラツク１
４および１５との噛合部などから発生される微細
な金属粉などの塵埃や、流体室ＡおよびＢに流入
され、ピニオン部１６および１７に装着されたピ
ストン部パツキン２３および２４の周囲を通じて
ピストン部１６および１７の背面側に漏洩される
圧縮空気などが捕捉でき、本体１の内部において
発生される塵埃や圧縮空気などの動作流体中の異
物などが本体１の外部に飛散されることが防止さ
れるものである。

以下、本実施例の作用について説明する。

まず、ロータリアクチユエータの本体１は、た
とえばクリーンルーム（図示せず）の内部の所定
の取付機器（図示せず）に装着される。

そして、圧力ポート１９および２０は所定の制
御弁機構（図示せず）などを介して所定の流体圧
源（図示せず）に接続され、集塵ポート２７は、
たとえば所定の真空系またはリリーフポートなど
の配管（図示せず）に接続される。

次に、制御弁機構によつて圧力ポート１９およ
び２０を通じてシリンダ２および３の流体室Ａお
よびＢには圧縮空気などの流体圧が交互に作用さ
れ、ラツク１４および１５は互いに逆方向に往復
運動されラツク１４および１５の噛合されるピニ
オン４を介して主軸５には所定の揺動トルクが発
生され、所定の作業が行われる。

この場合、本体１の内部において、ピストン部
１６および１７とシリンダ２および３との摺動
部、さらにはピニオン４とラツク１４および１５
との噛合部などからは金属粉などの塵埃が発生さ
れることは避けられないが、本実施例において
は、密閉された本体１の内部に連通される集塵ポ
ート２７が設けられ、本体１の内部において発生
される塵埃やピストン部パツキン２３および２４
の周辺部を通じてピストン部１６および１７の背
面側に漏洩される圧縮空気などが捕捉される構造
であるため、本体１の内部で発生された塵埃や漏
洩された圧縮空気などを集塵ポート２７に接続さ
れる所定の真空系やリリーフポートなどの配管に
導くことによつて、本体１の内部で発生された塵
埃や漏洩された圧縮空気などが本体１の外部に飛
散されることが回避でき、ロータリアクチユエー
タが使用される作業空間がロータリアクチユエー
タから発生される塵埃や漏洩された圧縮空気など
によつて汚染されることが防止できる。

なお、本考案は前記実施例になんら限定される
ものではなく、たとえばロータリアクチユエータ
を動作させる流体としては、圧縮空気に限らず与
圧されたオイルなどであつても良い。

［効果］ (1) 本体内に穿設されたシリンダと、このシリン
ダの一端を閉止するシリンダカバーと、シリン
ダの内部に収容されるラツクと、本体内に支持
され、ラツクに噛合するピニオンと、シリンダ
の内部においてラツクの一端に当接し、シリン
ダカバーとの間に流体室を構成するピニオン
と、シリンダカバーに穿設され、流体室に対す
る動作流体の給排が行われる圧力ポートと、ピ
ニオンの背面側のラツクおよびピニオンが位置
する空間を密閉する防塵カバーと、この防塵カ
バーに穿設され、空間に連通する集塵ポート
と、ピニオンの本体に対する支持部に装着され
当該支持部を封止する封止部材とを備えてなる
構造であるため、本体内部におけるピニオンの
背面側の、ラツクやピニオンなどが位置する空
間が、防塵カバーおよびピニオンの支持部に配
置された封止部材によつて外部から気密に遮断
され、当該空間に発生する塵埃や、ピストン側
から当該空間に漏洩する動作流体などを集塵ポ
ートを介して確実に捕捉して、所望の配管系な
どに確実に排出できる。

これにより、動作流体や動作中に発生する塵埃
などが作業空間に飛散することがなく、ロータリ
アクチユエータが設置される作業空間の汚染を確
実に防止することができるという効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例であるロータリア
クチユエータの断面図、第２図は前記第１図にお
いて線−で示される部分の断面図である。 １……本体、２，３……シリンダ、４……ピニ
オン、５……主軸、６，７……軸受メタル、８，
９……軸受押さえ、１０，１１，１２，１３……
Ｏリング（封止部材）、１４，１５……ラツク、
１６，１７……ピストン部、１８……シリンダカ
バー、１９，２０……圧力ポート、２１，２２…
…Ｏリング、２３，２４……ピストン部パツキ
ン、２５……パツキン、２６……防塵カバー、２
７……集塵ポート。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 本体内に穿設されたシリンダと、このシリンダ
   の一端を閉止するシリンダカバーと、前記シリン
   ダの内部に収容されるラツクと、前記本体内に支
   持され、前記ラツクに噛合するピニオンと、前記
   シリンダの内部において前記ラツクの一端に当接
   し、前記シリンダカバーとの間に流体室を構成す
   るピストンと、前記シリンダカバーに穿設され、
   前記流体室に対する動作流体の給排が行われる圧
   力ポートと、前記ピストンの背面側の前記ラツク
   およびピニオンが位置する空間を密閉する防塵カ
   バーと、この防塵カバーに穿設され、前記空間に
   連通する集塵ポートと、前記ピニオンの前記本体
   に対する支持部に装着され当該支持部を封止する
   封止部材とを備えてなることを特徴とするロータ
   リアクチユエータ。