JPH0473861U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0473861U JPH0473861U JP11705690U JP11705690U JPH0473861U JP H0473861 U JPH0473861 U JP H0473861U JP 11705690 U JP11705690 U JP 11705690U JP 11705690 U JP11705690 U JP 11705690U JP H0473861 U JPH0473861 U JP H0473861U
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- JP
- Japan
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- support substrate
- gas detection
- detection element
- substrate
- hereinafter referred
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は、従来のガス検知素子の取り付けを示
す概略構成図である。第２図は、本考案の一実施
例を示す概略構成図である。第３図は、半導体式
ガス検出素子の概略平面図を示す。第４図、第５
図は支持基板を用いて構成したガス検出部の概略
上面図である。 １……ガス検知素子、２……リード、３……ピ
ン、４……台座、５……支持基板、６……電極パ
ツド、７……絶縁基板、８……電極、９……ヒー
タ、１０……半導体薄膜層。
す概略構成図である。第２図は、本考案の一実施
例を示す概略構成図である。第３図は、半導体式
ガス検出素子の概略平面図を示す。第４図、第５
図は支持基板を用いて構成したガス検出部の概略
上面図である。 １……ガス検知素子、２……リード、３……ピ
ン、４……台座、５……支持基板、６……電極パ
ツド、７……絶縁基板、８……電極、９……ヒー
タ、１０……半導体薄膜層。
Claims (1)
- ガス検出素子１、開口部を有する絶縁基板５（
以下支持基板という）に貴金属線２で固定されて
いることを特徴とするガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11705690U JPH0473861U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11705690U JPH0473861U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0473861U true JPH0473861U (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=31864930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11705690U Pending JPH0473861U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0473861U (ja) |
-
1990
- 1990-11-06 JP JP11705690U patent/JPH0473861U/ja active Pending