JPH0474326A - 光ディスク原盤とその現像装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光ディスク原盤とその現像装置および方法、特
にフォトレジストを塗布したガラス基板上に一定ピッチ
で同心円状または渦巻状にパターンが露光された光ディ
スク原盤とそれを現像する現像装置および方法に関する
。

〔従来の技術〕

従来の光ディスク原盤はトラッキング用グルーブとこの
トラッキング用グルーブの間に形成されたトラック番号
とセクタ番号とからなるアドレスピットとを所定領域に
形成していた。このような光ディスク原盤はグルーブと
アドレスピットとを露光スる２本のレーザビームをトラ
ックピッチの１／２の間隔で配置し２本のビームの強度
を各々制御してフォトレジス）［盤を露光し光ディスク
原盤を作成する。

このような光ディスク原盤は露光後の現像においては公
知の現像モニタを用いた現像装置により前記トラッキン
グ用グルーブにレーザ光を照射して得られる０次、±１
次回折光量から回折光量比を演算し、前記回折光量比が
所望値となったときに現像を停止していた。例えば前記
トラッキング用グルーブをＶグルーブとするとＶグルー
ブの回折光量比と■グルーブの形状とは対応関係がある
ことが公知である。したがって前記回折光量比が所望値
となったときに現像を停止することにより前記トラッキ
ング用グルーブの形状をコントロールできる。

すなわち、従来の光ディスク原盤の現像装置および方法
は、光ディスク原盤にレーザ光を照射することにより、
現像の進行に伴って形成されるパターン構造が回折格子
として作用するために生成される回折光の光量変化を検
出することにより得られる０次、±１次回折光量から回
折光量比を演算し、この値が所望値になったときに現像
を停止していた。

第４図は従来の光ディスク原盤の現像方法に使用する装
置の一例を示すブロック構成図である。

第４図に示す光ディスク原盤現像装置は、光ディスク原
盤１をスピンチャック１２に真空吸着し、前記光ディス
ク原盤１１を回転しながら現像ノズル１４から現像液１
３を前記光ディスク原盤１１の上に滴下することにより
スピン現像を行う。

光学手段２４としてＨｅ−Ｎｅレーザ１５からレーザ光
が全反射ミラー１８を介した光学系でスピン現像中の光
ディスク原盤１１の裏面からレーザ光を垂直に照射し、
前記光ディスク原盤１１を透過したレーザ光は現像の進
行に伴い表面に形成される光ディスクパターンにより回
折されＯ次回針先、＋１次回折光、−１次回折光として
出射される。前記０次回折光、＋１次回折光、−次回針
先は回折光量検出部１９により検出し、演算ユニット２
１で回折光量比を演算処理し、回折光量比信号を端子Ａ
に出力する。

例えば、光ディスクパターンを■グルーブとすると、■
グルーブパターンの回折光量比とＶグルーブの形状とは
対応関係があることが公知である。

したがって、前記回折光量比信号が所望の値になったと
きに現像液１３の滴下を停止し、純粋を滴下することに
より現像の進行を停止し現像処理を停止する。

しかし、現像停止をグルーブによる回折光量比で行って
いるため、アドレスピットに対してはモニターすること
ができないので現像が終了した後ガラス原盤を信号検査
しなければ判断することができないことになる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような上述した従来の光ティスフ原
盤は、トラッキング用グルーブの間にアドレスピットが
不連続に入ることになるので前記アドレスピットに対し
ては現像時の現像モニタによる形状のコントロールがで
きないという欠点があった。

また、上述した従来の光ディスク原盤の現像装置および
方法は、トラッキング用グルーブからの回折光量比から
判断し現像処理を終了するので、トラッキング用グルー
ブに対しては狙い道理に現像を終了することはできるが
、アドレスピットに対しては現像が終了した後ガラス原
盤を信号検査しなければ判断することができないという
欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の光ディスク原盤は、トラッキング用グルーブと
、このトラッキング用グルーブの間に形成されたアドレ
スピットからなる所定領域と、前記所定領域の外に前記
アドレスピットの露光パワーと同等のパワーで露光され
前記トラッキング用グルーブのトラックピッチと同一の
間隔で形成されたモニタ用のグルーブ領域とを含んで構
成される。

また、本発明の光ディスク原盤現像方法は、トラッキン
グ用グルーブとモニター用グルーブにレーザ光を照射し
現像の進行に伴い得られる各々の０次、±１次回折光量
より回折光量比を演算し、２つの回折光量比が所望値と
なったときに現像を停止するように構成される。

さらに、本発明の光ディスク現像装置は所定領域のトラ
ッキング用グルーブと前記モニタ用グルーブとにレーザ
光を照射する光学手段と、前記光学手段により前記トラ
ッキング用グルーブとモニタ用クループとにレーザ光を
照射することにより得られる０次、±１次回折光量を検
出する一対の回折光量検出部と、前記検出された０次、
±１次回折光量から２つの回折光量比を算出する一対の
演算ユニットと、前記算出された回折光量比が所望値と
なったときに現像を停止する現像停止ユニットとを含ん
で構成される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例を示す平面図である。

第１図に示す光ディスク原盤は、１．６μｍのピッチの
トラッキング用グルーブ部２と、このトラッキング用グ
ルーブ部２の間に形成されたトラック番号とセクタ番号
を示すアドレスピット部３とを含んで構成される所定領
域１の外周側にトラックピッチ１．６μｍで形成された
モニタ用クループ４を持つ。

第２図（ａ）は第図に示す所定領域１のアドレスピット
部３の断面形状を示す断面図であり１．６μｍのピッチ
でトラッキング用グルーブ５が形成され、トラッキング
用グルーブ５の間の中央にアドレスピット６が形成され
ている。

第２図（ｂ）は第１図に示す所定領域１のトラッキング
用グルーブ部２の断面形状を示す断面図であり、トラッ
キング用グルーブ５がトラックピッチ１．６μｍで形成
されている。

第２図（Ｃ）は第１図に示すモニタ用グルーブ領域４の
断面形状を示す断面図であり、前記アドレスピット６と
同等のバラ−で露光を行うことによりモニタ用グルーブ
゛７が、トラックピッチ１．６μｍで形成されるため前
記モニタ用グルーブ７の断面形状を前記アドレスピット
６の断面形状と等しくなるように形成することが可能で
ある。

したがって、本発明の光ディスク原盤は露光後の現像に
おいて現像モニタを用いた現像装置により前記モニタ用
グルーブにレーザ光を照射して得られる０次、±１次回
折光量から回折光量比を演算し、前記回折光量比が所望
となったときに現像を停止することにより、前記モニタ
用グルーブの断面形状のコントロールが可能となるため
、前記モニタ用グルーブと同等のパワーで露光された前
記アドレスピットの断面形状のコントロールが出きるこ
とになる。

第３図は第１図に示す光ディスク原盤と現像するための
光ディスク原盤現像装置の一実施例を示すブロック構成
図である。

第３図に示す光ディスク原盤現像装置は、光ディスク原
盤１１をスピンチャック１２に真空吸着し、光ディスク
原盤１１を回転したから現像ノズル１４から現像液１３
を光ディスク原盤ｌｌ上に滴下することにより現像を行
うスピン現像装置であり、光学手段１６により光ティス
フ原盤１１上の所定領域内に照射されたレーザ光０次、
±１次回折光を光電変換する回折光量検出部１９と、前
記検出された回折光量信号から回折光量比信号ａを算出
する演算ユニット２１と、モニター用クループに照射さ
れたレーザ光の０次、±１次回折光を光電変換する回折
光量検出部２０と、前記検出された回折光量信号から回
折光量比信号すを算出する演算ユニット２２と、前記検
出された回折光量比信号ａ、ｂをあらかじめ設定された
所望値と比較し等しくなったときに現像液を停止するた
めの現像停止信号Ｃを端子Ｂに出力する現像停止ユニッ
ト２３とで構成される。

光学手段１６としてはＨｅ−Ｎｅレーザ１５からのレー
ザ光をハーフミラ−１７で分割し一方を光ディスク原盤
１１の裏面からモニタ用グルーブに垂直に圧射し、もう
一方を、全反射ミラー１８で光ディスク原盤１１の裏面
から所定領域に垂直に出射する。

ここで、′光ディスク原盤１１のパターンをアドレスピ
ット６とトラッキング用グルーブ６とからなる所定領域
ｌと前記アドレスピット用ビームの露光パワーと同等の
パワーで露光されたモニタ用クループ７とで構成すると
所定領域断面形状は第２図（ａ）に示すようになりモニ
タ用クループの断面形状は第２図（ｂ）に示すようにな
る。すなわち所定領域のアドレスピット６の断面形状と
モニタ用クループ７の断面形状とは等しくなる。

したがって、前記トラッキング用グルーブ５にレーザ光
を照射することにより前記演算ユニット２１から得られ
る回折光量比信号ａはトラッキング用クループ５の形状
に対応し、同様に前記七二り用グルーブ７にレーザ光を
照射することにより前記演算ユニット２２から得られる
回折光量比信号すはアドレスピット６の形状に対応する
ことになるため、これらの回折光量比信号ａ、ｂが各々
所望値となったときに現像停止ユニット２３により現像
を停止すればトラッキング用グルーブ５とアドレスピッ
ト６とを所望の形状にコントロールできる。

〔発明の効果〕

本発明の光ディスク原盤はトラッキング用グルーブ部と
、このトラッキング用クループ部の間に形成されるアド
レスピット部が形成された所定領域の外に前記アドレス
ピット部の露光パワーと同等のパワーで露光し、前記ト
ラッキング用グルーブ部のトラッキンクピッチと同一の
間隔て形成したモニタ用クループ領域を設けることによ
り、露光後の現像処において前記モニタ用グルーブを現
像モニタし所望値で現像停止が可能となり、前記アドレ
スピットの形状コントロールができるという効果がある
。

また、本発明の光ディスク原盤現像装置および方法は、
トラッキング用グルーブとアドレスピットと同等のパワ
ーで露光されたモニタ用グルーブとの二箇所にレーザを
照射し、各々のグルーブからの回折光量を検出し回折光
量比を算出し、この回折光量比が各々の所望値に達した
とき現像を停止することによりトラッキング用グルーブ
とアドレスピットの形状を各々所望の形状にすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図（ａ）
　、　（ｂ）　、　（ｃ）は第１図に示すアドレスピッ
ト、トラッキング用クループおよびモニタ用グルーブの
断面形状を示す断面図、第３図は第１図に示す光ディス
ク原盤を現像するための光ディスク原盤現像装置のブロ
ック構成図、第４図は従来の光ディスク原盤を現像する
ための光ディスク原盤現像装置のブロック構成図である
。 １・・・・・所定領域、２・・・・・・トラッキング用
グルーブ部、３・・・・・・アドレスピット部、４・・
・・・・モニタ用グルーブ領域、５・・・・・・トラッ
キング用グルーブ、６・・・・・・アドレスピット、７
・・・・・・モニタ用グルーブ、１１・・・・・・光デ
ィスク原盤、１２・・・・・・スピンチャック、１３・
・・・・・現像液、１４・・・・・・現像ノズル、１５
・・・・・・Ｈｅ　−Ｎ　ｅレーザ、１６．２４・・・
・・光学手段、１７・・・・・・ハーフミラ−１８・・
・・・・全反射ミラー、１９．２０・・・・・回折光量
検出部、２１゜２２・・・・・演算ユニット、２３・・
・・・・現像停止ユニット、ａ、ｂ・・・・・・回折光
量比信号、Ｃ・・・・・・現像停止信号、Ａ、Ｂ・・・
・・端子。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋 Ｔ） ！ 箔 ？ 凶 （Ｃ） ／ｌ　ｋぎ１段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）トラッキング用グルーブ部とこのトラッキング用
   グルーブ部の間に形成されたアドレスピット部からなる
   所定領域と、前記所定領域の外に前記アドレスピット部
   の露光パワーと同等のパワーで露光され前記トラッキン
   グ用グルーブ部のトラックピッチと同一の間隔で形成さ
   れたモニタ用グルーブ領域とを含むことを特徴とする光
   ディスク原盤。
2. （２）所定領域の外にモニタ用グルーブが露光された光
   ディスク原盤のスピン現像方法において、前記所定領域
   のトラッキング用グルーブと前記モニタ用グルーブにレ
   ーザ光を照射し現像の進行に伴い得られる各々の０次、
   ±１次回折光量より回折光量比を演算し、２つの回折光
   量比が所望値となったときに現像を停止することを特徴
   とする光ディスク原盤の現像方法。
3. （３）所定領域のトラッキング用グルーブと前記モニタ
   用グルーブとにレーザ光を照射する光学手段と、前記光
   学手段により前記トラッキング用グルーブとモニタ用グ
   ルーブとにレーザ光照射することにより得られる０次、
   ±１次回折光量を検出する一対の回折光量検出部と、前
   記検出された０次、±１次回折光量から回折光量比を算
   出する一対の演算ユニットと、前記算出された２つの回
   折光量比が所望値となったときに現像を停止する現像停
   止ユニットとを含むことを特徴とする光ディスク原盤の
   現像装置。