JPH0474438U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0474438U JPH0474438U JP11812990U JP11812990U JPH0474438U JP H0474438 U JPH0474438 U JP H0474438U JP 11812990 U JP11812990 U JP 11812990U JP 11812990 U JP11812990 U JP 11812990U JP H0474438 U JPH0474438 U JP H0474438U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaluation
- basic element
- product circuit
- measured
- aluminum wiring
- Prior art date
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- Pending
Links
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図〜第６図は本考案の実施例を構成する評
価用基本素子のブロツク図、第７図はゲートアレ
イの平面模式図である。 １，９……引出電極、２……第１アルミ配線層
、３……第２アルミ配線層、４，８……ポリシリ
コン層、５……Ｎ型もしくはＰ型拡散層、６……
Ｐ型拡散層、７……Ｎ型拡散層、１０……未使用
引出電極、１１……内部セル、１２，１３……ス
ルーホール穴、１１〜１３，Ｄ１，Ｄ２……評価
用基本素子。
価用基本素子のブロツク図、第７図はゲートアレ
イの平面模式図である。 １，９……引出電極、２……第１アルミ配線層
、３……第２アルミ配線層、４，８……ポリシリ
コン層、５……Ｎ型もしくはＰ型拡散層、６……
Ｐ型拡散層、７……Ｎ型拡散層、１０……未使用
引出電極、１１……内部セル、１２，１３……ス
ルーホール穴、１１〜１３，Ｄ１，Ｄ２……評価
用基本素子。
Claims (1)
- 製品回路構成上は未使用の引出電極をアルミ配
線層及びスルーホールを介して評価用基本素子と
接続して、前記製品回路の電気的特性試験を測定
すると同時に前記評価用基本素子の諸特性を測定
することを特徴とするゲートアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11812990U JPH0474438U (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11812990U JPH0474438U (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474438U true JPH0474438U (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=31866038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11812990U Pending JPH0474438U (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0474438U (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119748A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-27 | Toshiba Corp | マスタスライスウエ−ハのテスト方法 |
| JPS6175543A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-17 | Nec Corp | 集積回路の形成方法 |
| JPS6484637A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Nec Corp | Master slice type semiconductor device |
| JPH02166748A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-27 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 温度検査回路 |
-
1990
- 1990-11-09 JP JP11812990U patent/JPH0474438U/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119748A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-27 | Toshiba Corp | マスタスライスウエ−ハのテスト方法 |
| JPS6175543A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-17 | Nec Corp | 集積回路の形成方法 |
| JPS6484637A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Nec Corp | Master slice type semiconductor device |
| JPH02166748A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-27 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 温度検査回路 |