JPH047510Y2

JPH047510Y2 -

Info

Publication number: JPH047510Y2
Application number: JP887489U
Authority: JP
Priority date: 1989-01-27
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1992-02-27
Also published as: JPH02100196U

Description

【考案の詳細な説明】イ産業上の利用分野本考案は、連続処理装置に関し、例えば電子部
品の熱処理を好適に行える連続処理装置に関する
ものである。

ロ従来技術半導体部品や、セラミツクス基板にスクリーン
印刷によつて所定の回路パターンを形成し、焼成
してなる厚膜集積回路、或いは配向膜や偏向膜が
形成された液晶表示装置用ガラス基板等の電子部
品の熱処理にあつては、塵埃の付着によつて電子
部品の品質が甚だしく劣化するので、清浄な雰囲
気中で熱処理がなされる必要がある。

上記電子部品の熱処理は、連続的に行うことが
生産性の点で有利である。第１４図はこうした連
続熱処理装置を示す概略断面図であり、第１５図
は第１４図のXV−XV線矢視拡大断面図である。

この連続熱処理装置は、本体６とメツシユベル
トコンベヤ３０とから主として成つており、本体
６は箱形を呈している。

本体（加熱炉）６の内壁は、炉天井、炉床、側
壁とも耐火断熱材８により覆われており、この内
壁には平面状の赤外線ヒーター９が設置されてい
る。耐火断熱材８は鋼鉄製炉殻７により覆われ、
炉本体６内の入口６ａから出口６ｂへと耐熱金属
製のマツフル２が固定されている。

メツシユベルトコンベヤ３０のメツシユベルト
３はエンドレス状になつており、２個のプーリー
１６、駆動用ローター１８及び２個の従動プーリ
ー１７の間で循環している。コンベヤ３の駆動
は、電動機１９により駆動用ローター１８を駆動
して行う。

所定の板状電子部品２８はメツシユベルト３上
に載置され、マツフル２内の加熱処理空間１０へ
と搬入され、ここで赤外線ヒーター９により上
方、下方から加熱され、出口６ｂより炉外へと搬
出される。このように、所定の温度分布を有する
加熱炉内へと電子部品を連続的に搬送し、所望の
熱処理を行う。なお、矢印Ａはメツシユベルトコ
ンベヤ３０の搬送方向である。

ここで、メツシユベルト３を張力のみによつて
水平に張り渡すことは行われておらず、実際には
マツフル底面２ａにメツシユベルト３を摺接さ
せ、メツシユベルト３をこれにより支持しつつ搬
送している。しかし、これに伴つて、以下の問題
が生じていた。

(a) 金属製マツフル２及びメツシユベルトコンベ
ヤ（金属製）の表面には、加熱に伴い金属酸化
物（スケール）が形成される。そして、マツフ
ル底面２ａとメツシユベルト３との摺接によ
り、上記金属酸化物が剥落し、また両者の摺動
摩擦により金属粉が生じた。これらが炉内対流
により加熱炉内に飛散して、炉内雰囲気を汚染
し、電子部品に付着して品質を低下させたり、
歩留を低下させていた。このため、高品質で高
い歩留を要求される電子部品の連続熱処理には
困難であつた。

(b) 加熱炉が古くなり、メツシユベルト３、マツ
フル２の酸化、変形が進むにつれ、両者の摺動
摩擦抵抗が大きくなり、メツシユベルトに脈動
を生ずる。これを防ぐため、加熱炉の入口側又
は出口側にカウンターウエイト２０をかけてい
るが、常時、高温のメツシユベルトに上記荷重
による強い張力を加えているため、メツシユベ
ルトの伸び摩耗による消耗が激しく、寿命が短
い。

(c) メツシユベルト３の搬送時に、これとマツフ
ル底面２ａとの摺動摩擦抵抗が大きい。このた
め、中広で長尺のメツシユベルトを用いると、
搬送時の摩擦が極めて大きくなるので、生産性
の高い加熱炉の製作は困難であつた。

ハ考案の目的本考案の目的は、熱処理装置本体の雰囲気を清
浄にして被処理物の品質、歩留を高くでき、ベル
トの駆動時の摺動摩擦抵抗を小さくして、ベルト
の寿命を長くでき生産性も高めうるような連続熱
処理装置を提供することである。

ニ考案の構成本考案は、ベルトが支持面により支持されつつ
処理装置本体内を移動し、この移動によつて前記
処理装置本体内にて被処理物を搬送し、この被処
理物に所定の処理を施す連続処理装置において、
前記ベルトと前記支持面とを離間しつつこの支持
面と摺接する小片が前記ベルトに取り付けられて
いることを特徴とする連続処理装置に係るもので
ある。

ホ実施例以下、本考案の実施例を説明する。

第１図〜第６図は最初の実施例を示すものであ
る。

第１図はメツシユベルトにセラミツクス製小片
を取り付けた状態を示す底面図（マツフル底面側
から見たもの）、第２図は第１図の−線矢視
断面図である。また、第３図はセラミツクス製小
片を示す平面図である。

セラミツクス製小片（以下、小片と呼ぶ）１
は、アルミナ、石英等からなり、円盤状本体１ａ
の一方の側には摺接部１ｃが、他方の側には円盤
状繋止（けいし）部１ｂが設けられ、繋止部１ｂ
と本体１ａと接する部分には環状溝１ｄが設けら
れ、これらが一体となつて小片１を構成してい
る。

メツシユベルト３は、互いに一定の間隔をもつ
て張り渡された力骨ワイヤ３ｂと、これら力骨ワ
イヤの間に一定ピツチで偏平な螺旋状に巻きつけ
られた螺旋状ワイヤ３ａとからなつており、汎用
されている型のものである。

小片１は、次のようにしてメツシユベルト３に
はめ込まれる。

小片１の繋止部１ｂの径d₁は、螺旋状ワイヤ３
ａの間〓の幅ｌよりも若干大きくしてあり、環状
溝１ｄの径d₂は上記間〓の幅ｌよりも僅かに小さ
くしてある。例えば、ｌ＝9.4mmのとき、環状溝
１ｄの径d₂はｌより0.6mm小さい値とし、繋止部
１ｂの外径d₁は10mmとする。

小片１の繋止部１ｂを、メツシユベルト３の螺
旋状ワイヤ３ａの間〓に押し当てて若干の力を加
えると、繋止部１ｂの外径d₁がワイヤ３ａの間〓
の幅ｌよりも若干大きいことから、ワイヤ３ａが
弾性変形し、間〓は一時的に図面において左右に
押し広げられ、その結果、小片１の繋止部１ｂ
は、第１図に示すように、間〓を通過してメツシ
ユベルト３内に挿入される。繋止部１ｂの環状溝
１ｄがワイヤ３ａの位置に来ると、弾性変形して
いたワイヤ３ａは元の位置に復元し、環状溝１ｄ
に嵌入してこれを左右から挟んで小片１が位置決
めされる。この際、前述したように、環状溝１ｄ
の径d₂は間〓３ｃの幅ｌよりも0.6mm小さくして
あるので、小片１は僅かの遊びをもつて適切な位
置決めがなされ、また、繋止部１ｂの径d₁が間〓
３ｃの幅ｌよりも若干大きいことから、メツシユ
ベルトコンベヤ３の駆動中等に、小片１がメツシ
ユベルト３から外れるようなことがない。また、
小片１を捻つて引つ張ることにより、随時取り外
しが可能である。

第４図ａはメツシユベルトに小片を多数取り付
けた状態をマツフル底面側から見た概略底面図、
同図ｂは小片とマツフル底面とが摺接している状
態を示す概略断面図、第５図は電子部品熱処理装
置を示す概略断面図、第６図は第５図の−線
矢視断面図である。第１４図、第１５図と同一機
能部分には同一符号を付し、その説明は省略す
る。また、メツシユベルトも簡略に表してある
が、第１図に示したものと同様である。

メツシユベルト３の底面側には、前述のように
して多数の小片１が所定間隔、所定パターンに取
り付けられている。具体的には、メツシユベルト
３の幅手方向に３個取り付け、次に矢印Ａ方向へ
と所定間隔置いて上記幅手方向に合わせて２個取
り付けており、かかる配列を矢印Ａ方向へと向か
つて多数回繰り返している。この結果、メツシユ
ベルト３の底面側には、小片１の頭部が露出し、
マツフル底面２ａと小片１の摺接部３ｃ（第１図
参照）とが摺接する状態でメツシユベルト３が矢
印Ａ方向へと搬送される。

なお、メツシユベルトコンベヤ３の底面側が接
するべき従動プーリー１６、駆動ローター１８表
面には、小片１の通過するべき部分に、図示省略
した切り欠き溝が形成されており、小片１は切り
欠き溝の中に納まり、また、コンベヤ３０が駆動
しているときは切り欠き溝の中を通過する。

以上述べてきたような連続処理装置により、次
のような効果が奏せられる。

(a) 金属製メツシユベルト３と金属製マツフル２
とが直接に接触せず、小片１により離間されて
いるので、両者の摺動摩擦によつて生ずべき酸
化スケール、金属粉の剥離、飛散が大幅に低減
され、電子部品の歩留、品質共に大幅に向上す
る。

(b) 小片１が石英、アルミナ等により形成されて
いるので、化学的に安定で耐熱性、耐摩耗性に
優れており、酸化、摩耗による消耗が極めて少
ない。従つて、小片１が長時間の繰り返し使用
に耐えるので、ランニングコストが安い。

(c) 金属線を編んで作つたメツシユベルト３が直
接マツフル２に触れないので、摺動摩擦による
摩耗がなく、寿命が大幅に伸びた。

(d) 従来、メツシユベルト３を長期間繰り返して
使用すると、これとマツフル２との摺動摩擦抵
抗が大きくなり、メツシユベルト３の張力を大
きくする必要があり、メツシユベルトの伸び摩
耗を招いていた。

この点、本例では、長期間使用しても、マツ
フル底面２とセラミツクス製小片１との摺動摩
擦抵抗はあまり上がらず、従つてメツシユベル
ト３の寿命が更に伸びる。

(e) 従来は、メツシユベルト３の底面全面に亘つ
てマルフル底面２ａと面的に接触、摺動してい
た。

これに対し、本例では、小片１の摺動部１ｃ
とマツフル底面２ａとが点的に極めて狭い面積
で接触するのみである。しかも、セラミツクス
製であるので、材質的にも摩擦係数が小さい。
これら両者が相まつて、メツシユベルト３を矢
印Ａ方向へと搬送する力自体が従来よりも小さ
くて済み、メツシユベルトの伸び、摩耗が更に
小さくなる。

(f) 上記のことから、マツフル２の寿命が長くな
る。

(g) メツシユベルト３を従来よりも小さな摩擦力
でもつて搬送できる結果、従来より幅が広く、
また長尺のメツシユベルト３を使用でき、これ
に合わせて加熱炉６全体も大きくできる。

(h) 複雑かつ特殊な構造のコンベアを使用するこ
となく、第１図に示したような汎用、標準型の
メツシユベルトコンベヤをそのまま使用できる
ので、設備自体の改変が必要なく、コンベヤの
構造が単純なことから、使用中にトラブルが起
こり難く、維持費も安い。

(i) 小片１をメツシユベルト３の網目に嵌め込ん
でいるので、取り付け、除去が極めて容易であ
る。

(j) 前述のように、小片１は僅かな遊びをもつて
メツシユベルト３に対し適切な位置決めがなさ
れ、位置ずれ等を生ずることもなく、更に、前
述したようにメツシユベルト３の駆動中に小片
１が外れたり、運行に悪影響がでたりすること
はない。

(k) 小片１は、前述したように簡単な動作で着脱
可能であるので、容易にメツシユベルト３への
取り付け位置を変更できる。

なお、第５図に示した従動プーリー１６、駆動
ローター１８のみは、小片１の取り付け位置の変
更に応じて、取り換えれば良い。

第７図は、他のセラミツクス製小片１１をメツ
シユベルト３に取り付けた状態を示す、第２図と
同様の部分断面図である。

小片１１の円盤状本体１１ａの一方の側には、
若干の丸みを帯びた頂部１１ｅを有する円錐形の
摺接部１１ｃが設けられ、他方の側には円盤状繋
止部１１ｂが設けられ、これと本体１１ａとの間
には環状溝１１ｄが設けられ、これらが一体とな
つて小片１１を構成している。メツシユベルト３
の搬送時には、頂部１１ｅとマツフル底面とが摺
接する。本例でも、前述の例と同様の効果を奏し
うる。

第８図は、更に他の小片２１を示す正面図であ
る。

小片２１はセラミツクス製で、裾の方へ近づく
ほど傾斜が緩やかな円錐状の本体２１ａの上側
に、円盤状繋止部２１ｂが設けられ、繋止部２１
ｂの本体２１ａに接する部分には、環状溝２１ｄ
が設けられ、これらは一体になつて小片２１を構
成している。この小片２１は、第７図で示したと
同様にしてメツシユベルトに取り付けられ、コン
ベヤ搬送時には、小片頂部２１ｅがマツフル底面
と摺接する。

第９図ａはメツシユベルトにねじ部品を介して
小片を取り付けた状態を示す拡大平面図、同図ｂ
は同図ａのｂ−ｂ線矢視断面図、第１０図は
小片とねじ部品とを外した状態を示す分解拡大正
面図（一部断面）である。

小片３１では、円盤状本体３１ａの下側に丸み
を帯びた摺接部３１ｃが、上側には雄ねじ３１ｆ
を設けた丸棒部３１ｄが夫々突出して延設されて
いる。

ねじ部品２７は、セラミツクスからなり、後述
するようにメツシユベルト３の扁平螺旋状ワイヤ
３ａ内に挿通できるように帯状を呈していて、小
片３１の雄ねじ３１ｆに螺合する雌ねじ２７ａを
設けた複数の貫通孔２７ｂが所定のピツチで設け
られている。第９図ｂでは貫通孔２７ｂは１個だ
けを示してある。

小片３１及びねじ部品２７をアルミナ等のセラ
ミツクス製とする場合、焼成前の生の軟かい状態
でねじを削設し、しかる後に焼成して製造する方
法が採られる。これらに設ける雄ねじ３１ｆと雌
ねじ２７ａとは、管用テーパーねじとすると、ね
じ立て後にダイス又はタツプを逆回転して被加工
物から離脱させる際、逆回転開始と同時にダイス
又はタツプは被加工物から離れるので、ねじやせ
を有効に防止でき、また、締結後に弛み防止の効
果もあり、好都合である。

次に、小片の取り付け方法について述べる。

まず、第９図ａに示すように螺旋状ワイヤ３ａ
内に帯状ねじ部品２７ｃを挿通し、固定する。次
に、第１０図に示すように、矢印Ｂ方向へと小片
３１を位置合わせし、ねじ部品２７の雌ねじ２７
ａに雄ねじ３１ｆを螺合させて締め付け、小片３
１をねじ部品２７に固定させ、第９図ｂの状態と
する。この取り付け作業は容易である。また、小
片３１はねじによつてねじ部品２７に固定されて
いるので、この固定を解除して小片３１とねじ部
品２７とをメツシユベルト３から取り外すことも
可能である。

そして、第９図ｂの状態で、メツシユベルトコ
ンベヤ３が搬送され、マツフル底面と小片３１の
摺接部３１ｃとが摺動する。

各帯状ねじ部品２７は、メツシユベルトコンベ
ヤ３の搬送方向（矢印Ａ方向）と垂直に、一つの
螺旋状ワイヤ３ａ内に収容されている。従つて、
各プーリー、ローターの外周に沿つてメツシユベ
ルト３が彎曲しても支障がない。

小片３１を、螺旋状ワイヤ３ａ内に挿通された
ねじ部品に固定させることにより、次のような効
果が奏せられる。

(1) 加熱によつて螺旋状ワイヤ３ａの間隔ｌが大
きくなつても、小片３１がメツシユベルト３か
ら外れることがなく、メツシユベルトを長期間
使用できるようになる。

(2) 加熱による変形で上記ｌが大きくなつたメツ
シユベルトにも印刷基板載置具を取り付けるこ
とができる。

(3) 上記ｌが異なる種々のメツシユベルトに対し
ても同種の印刷基板載置具を取り付けることが
でき、汎用性が付与される。

また、ねじ部品に所定の間隔を以て複数の雌
ねじを設け、１つのねじ部品に複数の小片を固
定することにより、次のような効果が奏せられ
る。

(4) ねじ部品２７の貫通孔２７ａを所定のピツチ
で設けてあるので、小片３１のピツチＬ（第９
図ａ参照）が正確であり、螺旋状ワイヤ３ａの
間隔ｌが製造上のばらつきによつて正確には一
定でなくても、或いは加熱によつて狂つても、
小片３１のピツチＬが一定であつて狂こともな
く、熱処理中の電子部品に対して悪影響を及ぼ
すことがない。この効果は、精密な電子部品の
熱処理に当たつて特に顕著である。

(5) メツシユベルトは使用中に搬送方向に伸びる
性質を持つており、これに伴つて幅方向の寸法
が縮まるようになる。帯状ねじ部品２７を螺旋
状ワイヤ３ａ内に挿通して小片３１を帯状ねじ
部品２７に固定することにより、小片３１の丸
棒３１ｄに螺旋状ワイヤ３ａが係止するように
なつてメツシユベルト３の幅方向の縮まりが防
止される。その結果、メツシユベルト３の搬送
方向の伸びも防止され、その寿命が長くなる。

(6) なお、帯状ねじ部品２７の雌ねじ２７ａを短
い間隔で多数設けておくと、上記(4)及び(5)の効
果に加えて、螺旋状ワイヤ３ａの間隔ｌが異な
る多種のメツシユベルトに対して、多数の雌ね
じのうちから適宜の雌ねじを選択することによ
り、同じねじ部品を使用することができ、汎用
性が付与されて便利になる。

第１１図はメツシユベルトの上側と下側とに小
片をそれぞれ取り付けた状態を示す拡大正面図で
ある。

本例において、小片１の取り付け部分について
は、前述した第２図のものと同様であるので説明
を省略する。

本例においては、メツシユベルト３の螺旋状ワ
イヤ３ａに更に小片４１を取り付け、この小片４
１を小片１とは反対側に突出させている。

小片４１はセラミツクスからなり、円盤状本体
４１ａの上側には円錐台形の載置部４１ｃが、下
側には円盤状繋止部４１ｂが設けられ、これらは
一体になつて小片４１を構成している。繋止部４
１ｂの本体４１ａに接する部分には環状溝４１ｄ
が設けられている。図中４１ｇは載置部４１ｃの
外周傾斜面である。

この小片４１は、前述した小片１と同様に、繋
止部４１ｂを螺旋状ワイヤ３ａ内に嵌め込んでメ
ツシユベルト３に固定する。この固定法、固定状
態等については、前述した小片１の場合と同様で
あるので、説明を省略する。

第１２図ａは、小片４１を取り付けた第１１図
のメツシユベルト３上に小片４１を介して電子部
品２８を載置した状態を上側（炉天井）側から見
た平面図、同図ｂは同図ａのＸｂ−Ｘｂ線矢
視拡大断面図である。ここでは、簡略化のため、
メツシユベルト３を互いに直交する直線で示して
ある矢印Ａで示すメツシユベルト３の進行方向と垂
直に、小片４１を一定間隔をもつて列状に３個取
り付け、これを図面において横方向に多数繰り返
し取り付けた。取り付け方法は前述したとおりで
あり、第１２図ｂにおいては、小片１，４１の繋
止部及び環状溝は図示省略してある。

小片４１は、２列即ち６個で一組となつてお
り、これで２枚の印刷基板等の電子部品２８を支
持している。隣り合つた小片４１の載置部４１ｃ
間の間隔ｒは、それにより支持される電子部品２
８の長さｑよりも若干小さくしてあり、電子部品
２８の支持は、電子部品２８の一方の辺２８ａ側
の不使用部分（例えば非印刷部分）を載置部４１
ｃの付け根部分に接触させ、これと向かい合う他
方の辺２８ｂを載置部４１ｃの傾斜面４１ｇ上に
載置して行う。かくして、電子部品２８はメツシ
ユベルト３に接触することなく、しかもこれと一
定間隔をもつて隔離されて支持される。

本例によれば、上記の効果に加え、更に以下の
効果を奏しうる。

(1) 電子部品２８が、複数のセラミツクス製小片
４１により支持されているので、電子部品２８
は金属と接触することがなく、しかも、電子部
品２８とメツシユベルト３とは酸化、発塵のな
いセラミツクス製小片４１を介して、所定の間
隔をもつて隔離されている。

従つて、加熱処理時に酸化被膜が電子部品２
８に直接接触して跡を残し、品質を低下させた
りするようなことはなく、また、電子部品２８
と金属（コンベヤやトレイ等）とが摺動して好
ましくない酸化被膜の塵が生ずることもない。

これにより、電子部品の品質は一層著しく向
上し、性能の低下は防止され、製品の歩留も向
上する。

(2) トレイを使用しないので、装置の自動化が容
易であり、別個の付帯設備も必要とせず、設備
投資費が安くて済む。

(3) セラミツクスは、酸化、摩耗、変形等に対し
て極めて強いので、長期間使用しても機能は損
なわれず、耐久性に優れ、酸化被膜除去のため
の洗浄を必要とせず、特別な維持費も必要がな
い。

(4) メツシユベルトに金属製凸部を溶接して取り
付ける方法、網目の細かいサブメツシユベルト
を本体のメツシユベルトに取り付ける方法等の
特殊なメツシユベルトを作る方法と異なり、標
準のメツシユベルトに予め用意しておいた小片
をはめ込んで取り付けるだけで良いので、設備
費が安くて済む。

以上、(2)〜(4)で述べた理由により、生産コス
トを大幅に下げることができる。

(5) 前述した小片１（第１図参照）と同様、メツ
シユベルトへの取り付け、取り外しが容易であ
る。

(6) この他、前記(j)，(k)の項で述べたと同様の効
果を奏しうる。

第１３図は、第１１図の小片１及び４１を一体
にした小片５１をメツシユベルトに取り付け、小
片５１上に被処理物２８を載置した状態を示す。
但し、第１１図の４１の部分は、ワイヤ３ｄの上
側を避けるように間隔をとつて２分割してある
（第１図参照）。このようにしてメツシユベルトコ
ンベヤの構造を簡単にできる。

以上の実施例は種々変更できる。

上述の実施例においては、セラミツクス製小片
に繋止部及び環状溝を設けることにより、メツシ
ユベルトに着脱自在に取り付けていたが、他の適
宜の手段で取り付けても良い。例えば、小片を繋
止用ワイヤでメツシユベルトに取り付けるように
して良い。また、小片の繋止部はきのこ状であつ
て良く、或いは対のくの字形、釣針状としても良
い。また、小片は、着脱自在としたものに限られ
るものではなく、例えばメツシユベルトに繋止部
を編み込んで固定したものとしても良い。

小片の形状、構造も適宜変更が可能である。例
えば、必ずしも一体化されたものでなくとも良
く、二個以上の部品を組合わせたものでも良い。

本考案に使用されるメツシユベルトの形状、編
み方等も様々で良く、それに対応して小片の形
状、構造、取り付け方法等を選択すれば良い。加
熱炉の構造も様々で良い。電子部品の形状も様々
であつて良く、電子部品の支持方法、支持に要す
る個数等も変更して良い。

セラミツクスとは、一般に熱処理によつて製造
されるべき非金属の無機質固体材料をいい、石
英、アルミナを始め、ジルコニア、ガラス等をも
例示できる。小片の材料としては、セラミツクス
の他、超耐熱合金であつても良い。またセラミツ
クスをコーテイングした金属製としても良い。帯
状ねじ部品２７（第９図参照）の材料には、比較
的低温で使用する場合は耐熱鋼やステンレス鋼も
使用可能である。

また、ねじ部品は、上記実施例のように帯状と
して複数の雌ねじを設け、１個のねじ部品に複数
の小片を螺合させるほか、小片とねじ部品とを１
個づつ組合わせるようにしても、メツシユベルト
の変形によるメツシユベルトからの小片の脱落を
防止できる。

本考案に係る連続熱処理装置により処理される
べき被処理物としては、液晶表示装置用ガラス基
板、厚膜集積回路、各種プリンタ用の感熱記録ヘ
ツド、そのほか各種セラミツクス基板等の電子部
品、更に、鋼材、鋳造品、鍛造品等の材料や素形
材等を例示できる。熱処理としては、加熱処理の
他、サブゼロ（零下）処理をも例示できる。ま
た、熱処理以外の処理を連続的に行うのにも、本
考案が適用可能である。

第９図の例において、小片をねじ部品に雄ねじ
と雌ねじとによつて取り付けているが、ねじ部品
側に雄ねじを設けてもよく、その他リベツト方式
やかしめ等の締結方式によつてもよい。

第１１図の例において、小片４１の代わりに、
第１図〜第８図に示した小片を使用してもよく、
小片４１をメツシユベルト３に複数取り付ける際
に、第９図の方式を利用してもよい。第９図の例
において、小片３１の代わりに、第７図、第８図
に示す小片１１，２１と同様の形状のものに雄ね
じを設けて使用してもよい。

上記の例では、メツシユベルトに取り付けた小
片をマツフル底面と摺接させているが、この小片
を炉床と摺接させつつメツシユベルトを搬送して
もよい。

なお、セラミツクス等で形成されたレール状部
材をマツフル底面上に配設することも可能であ
る。

ヘ考案の効果本考案に係る連続熱処理装置によれば、以下の
効果を奏しうる。

(1) 小片によりベルトと支持面とを離間している
ので、両者の摺動摩擦によつて生ずべき金属粉
等の剥離、飛散が大幅に低減され、被処理物の
歩留、品質が大幅に向上する。また、ベルトが
支持面に直接触れないので、ベルトの摺動摩擦
による摩耗がなく、寿命が伸びる。

(2) 小片が支持面と摺接しているので、摺接面積
が小さく、ベルト搬送時の摺動摩擦が小さい。
従つて、ベルトの伸び摩耗が小さく、寿命が伸
びる。

そして、ベルト搬送時の摺動摩擦が小さいこ
とから、幅広、長尺のベルトを採用して、生産
性を高めることもできる。

小片をベルトに取り付けているので、一応、
存在のベルト、製造設備を転用して、コストを
下げることも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第１図はメツシユベルトに小片を取り付
けた状態をベルト上面側から見た平面図、第２図
は第１図の−線矢視断面図、第３図は小片を
摺接部側から見た平面図、第４図ａはメツシユベ
ルトに小片を多数取り付けた状態を示す概略平面
図、同図ｂは同じく概略部分断面図、第５図は連
続加熱装置を示す概略一部断面図、第６図は第５
図の−線矢視断面図、第７図は他の小片がメ
ツシユベルトに取り付けられている状態を示す拡
大正面図（一部断面）、第８図は更に他の小片の
正面図、第９図は小片がねじ部品を介してメツシ
ユベルトに取り付けられている状態を示す底面
図、同図ｂは同図ａのｂ−ｂ線矢視断面図、
第１０図は小片がねじ部品に締結される前の状態
を示す分解正面図（一部断面）、第１１図はメツ
シユベルトに二種の小片が取り付けられている状
態を示す拡大正面図（一部断面）、第１２図ａは
小片に電子部品が載置されている状態を示す概略
平面図、同図ｂは同図ａのＸｂ−Ｘｂ線矢視
断面図、第１３図は他の例による第１２図ｂと同
様の拡大部分断面図である。第１４図及び第１５
図は従来例を示すものであつて、第１４図は従来
の連続加熱処理装置を示す概略一部断面図、第１
５図は第１４図のXV−XV線矢視断面図である。なお、図面に示す符号において、１，１１，２
１，３１，４１，５１……小片、１ｂ，１１ｂ，
２１ｂ，４１ｂ……繋止部、１ｃ，１１ｃ，３１
ｃ……摺接部、１ｄ，１１ｄ，２１ｄ，４１ｄ…
…環状溝、２……マツフル、２ａ……マツフル底
面、３……メツシユベルト、６……連続加熱処理
装置、９……赤外線ヒーター、２７……ねじ部
材、２８……電子部品、３０……メツシユベルト
コンベヤである。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

ベルトが支持面により支持されつつ処理装置本
体内を移動し、この移動によつて前記処理装置本
体内にて被処理物を搬送し、この被処理物に所定
の処理を施す連続処理装置において、前記ベルト
と前記支持面とを離間しつつこの支持面と摺接す
る小片が前記ベルトに取り付けられていることを
特徴とする連続処理装置。