JPH0475312A - セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、セラミックコンデンサの製造方法に関する。

（従来の技術） 従来、セラミックコンデンサは以下に説明する方法によ
り製造されている。

まず、原料であるセラミック粉末に有機バインダ、分散
剤及び溶剤を混合して適度な粘度を有するセラミックス
ラリ−を調製した後、このスラリーをドクターブレード
法により表面が離型剤処理された幅広のキャリアフィル
ムに所望厚さ塗布し、更に８０〜９０℃で乾燥してセラ
ミックグリーンシートを形成する。つづいて、このキャ
リアフィルムのグリーンシート上に導電ペーストをスク
リーン印刷し、乾燥してグリーンシートの幅及び長さ方
向に複数の電極パターンを形成する。ひきつつづき、前
記キャリアフィルム上のグリーンシートを剥離した後、
切断して上面に複数の電極パターンが形成された所望寸
法のグリーンシート片を複数枚取り出す。また、別に下
部及び上部カーバーシートとなる複数枚（例えば５枚前
後）のグリーンシート片をキャリアフィルム上の電極パ
ターンが形成されていないグリーンシートから前記取り
出したグリーンシート片と同寸法となるように予め取り
出す。次いで、下部カバーシートなる複数枚のグ、リー
ンシート片を積層し、この上に前記複数の電極パターン
が形成されたグリーンシート片を複数枚積層し、更に上
部カバーシートとなる複数枚のグリーンシート片を積層
した後、加圧、圧着して積層体を作製する。この後、積
層体を平面的に配置された各電極パターンの周囲に沿っ
てブレード等により基盤目状にダイシングし、脱脂、焼
成を行なって複数個のセラミックコンデンサを製造する
。

しかしながら、上述した従来のセラミックコンデンサの
製造方法にあっては、キャリアフィルム上のグリーンシ
ートの形成、複数の電極パターンの形成を行った後、グ
リーンシートを剥離した跡、切断して上面に複数の電極
パターンが形成された所望寸法のグリーンシート片を取
り出すため、前記剥離工程でグリーンシートが破損する
という問題があった。特に、セラミックコンデンサの高
容量化に対応して数十μｍオーダ又は１０μｍ以下のの
薄いグリーンシートをキャリアフィルム上に形成すると
、前記剥離工程での破損が顕著となり、実質的に高容量
のセラミックコンデンサを製造することが不可能となる
。

また、剥離により取り出した上面に複数の電極パターン
が形成されたグリーンシート片を別の工程で１枚１枚積
層するため、工程が煩雑で生産性の低下を招く。

更に、前記下部カバーシートなる複数枚のグリーンシー
ト片の積層、複数の電極パターンが形成された複数枚の
グリーンシート片の積層、上部カバーシートとなる複数
枚のグリーンシート片の積層を行う工程において、複数
の電極パターンが形成された複数枚のグリーンシート片
の位置がずれると、ダイシング工程で得られた複数個の
コンデンサが全て不良となり、歩留まりの著しい低下を
招くという問題があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、薄いセラミックグリーンシートをキャリアフィ
ルム上に形成したグリーンシート付キャリアフィルムを
出発素材として用いても、製造工程中でのグリーンシー
トの破損を回避でき、高容量のセラミックコンデンサを
簡単かつ量産的に製造し得る方法を提供しようとするも
のである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、長尺のキャリアフィルムにセラミックスラリ
−を塗布、乾燥されてなるグリーンシート付キャリアフ
ィルム上に複数の電極パターンを形成する第１工程と、 互いに対向して配置された転写ヘッドとサーマルヘッド
のうち前記転写ヘッドに所望形状のグリーンシート片を
保持させる第２工程と、前記転写ヘッドとサーマルヘッ
ドの間に前記キャリアフィルムをその上の電極パターン
が前記転写ヘッド側に位置するように導入した後、前記
サーマルヘッドを転写ヘッド側に向けて押圧することに
より前記キャリアフィルム上の電極パターン及びグリー
ンシートを転写ヘッド側に転写して電極パターンをグリ
ーンシート片で挾んだ積層物を形成する第３工程と、 前記キャリアフィルムと転写ヘッド及びサーマルヘッド
とを相対的に移動して該転写ヘッドを前記キャリアフィ
ルム上の別の電極パターンと対向させ、前記第３工程と
同様な転写ヘッドＩ側への電極パターン及びグリンシー
トの転写を行う第４工程と を具備したことを特徴とするセラミックコンデンサの製
造方法である。

上記キャリアフィルムは、例えば、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステ
ル等から形成される。

上記セラミックスラリ−は、例えば原料であるセラミッ
ク粉末に有機バインダ、分散剤及び溶剤を混合すること
により調製される。ここに用いられるセラミック粉末と
しては、例えばＰｂ　ｓ　Ｂ　ａ　ｓＳ「、ＺｎＳＮｂ
、Ｔｉ、Ｍｇなどの酸化物又は炭酸塩を挙げることがで
きる。前記有機バインダとしては、例えばポリビニルア
ルコール、ポリビニルブチラール、アクリル系樹脂等を
挙げることができる。前記分散剤としては、例えばリン
酸エステル等を挙げることができる。前記溶剤としては
、例えばアルコール、トルエン、アセトン等を挙げるこ
とができる。なお、必要に応じて前記各成分と共にジオ
クチルフタレート等の熱可塑剤を配合してセラミックス
ラリ−を調製してもよい。

上記セラミックスラリ−の塗布手段としては、例えばド
クターブレード法を採用し得る。

上記グリーンシート付キャリアフィルムは、例えばカセ
ットに収納される。かかるグリーンシート付キャリアフ
ィルムには、グリーンシート被覆領域を除く一方又は両
方の面に該グリ−シートの欠陥状態等の各種情報を磁気
的に記録するための磁性膜を形成することが可能である
。

上記グリーンシート付キャリアフィルムに電極パターン
を形成する第１工程としては、例えばグリーンシート付
キャリアフィルムのグリーンシート上に導電ペーストを
印刷する方法、或いはグリーンシート付キャリアフィル
ムと導電膜付キャリアフィルムをグリーンシート及び導
電膜が互いに当接するように重ね、前記導電膜付キャリ
アフィルムの導電膜の所望領域を前記グリーンシート付
キャリアフィルムのグリーンシート上に熱転写する方法
を採用し得る。特に、後者の方法に用いる導電膜付キャ
リアフィルムはカセットに収納ｄＷ使用することができ
る。また、かかる導電膜付キャリアフィルムには導電膜
被覆領域を除く一方又は両方の面に該導電膜の欠陥状態
等の各種情報を磁気的に記録するための磁性膜を形成す
ることが可能である。

上記転写ヘッドに所望形状のグリーンシート片を保持さ
せる第２工程では、例えばグリーンシート付キャリアフ
ィルムを該転写ヘッド側にグリーンシートが位置するよ
うに導入し、この後の第３工程において転写ヘッドと対
向して配置したサーマルヘッドを該キャリアフィルム側
に押圧して転写ヘッド側に所望形状のグリーンシート片
を転写する方法等を採用し得る。

なお、上記第４工程を複数回繰り返すことにより所望の
容量を有する積層セラミックコンデンサが得られる。

（作用） 本発明方法によれば、転写ヘッドとサーマルヘッドの間
に複数の電極パターンが形成されたグリーンシート付キ
ャリアフィルムをその上の電極パターンが前記転写ヘッ
ド側に位置するように導入し、前記サーマルヘッド及び
転写ヘッドを用いて前記キャリアフィルム上の電極パタ
ーン及び最終製品寸法のグリーンシート片を転写ヘッド
側に転写する操作を複数回行なって積層する。このため
、従来法のように複数の電極が形成された面積の広いグ
リ−シートをキャリアフィルから剥離して取り出して別
の工程に移動させる際に問題となるグリーンシートの破
損を回避できる。特に、数十μｍオーダ又は１０μｍ以
下の薄いグリーンシートをキャリアフィルム上に形成し
ても、前記転写工程を採用することによりグリーンシー
トの破損を回避できる。その結果、積層物を転写ヘッド
から取り出し、焼成することによって、最終製品寸法で
高容量の積層セラミックコンデンサを極めて簡単かつ高
歩留まりで製造することができる。

また、転写ヘッド上に形成された積層物に位置ずれが発
生した場合には、外観検査により比較的容易にそのずれ
発生を判別することが可能であるため、不良品となる頻
度を改善できる。

更に、グリーンシート付キャリアフィルムのグリーンシ
ート被覆領域を除く一方又は両方の面に磁性膜を形成す
ることによって、以下に示す種々の利点を発揮できる。

■、グリーシートに欠陥がある場合、その箇所を機械的
に読み出した後、磁気ヘッドを用いて該欠陥に対応する
磁性膜部分に欠陥データを書き込むことができる。この
ため、グリーンシート付キャリアフィルムの使用に際し
て再生ヘッドでその箇所を読み取ることによって、欠陥
のないグリ−シート部分のみを転写ヘッドに供すること
かできる。

また、その磁性膜にキャリアフィルムの長さ情報を磁気
ヘッドにより書き込むことができるため、シート残量等
を容易に把握することができる。更に、電極パターンを
形成する際に、前記電極パターンが形成された位置情報
を磁気ヘッドにより書き込むことができるため、グリー
ンシートの積層する際の切断時に磁性膜に書き込まれた
情報を読み出せば、切断位置の正確な位置決めを行うこ
とが可能となる。その結果、良品率を向上できると共に
、作業性の改善、積層セラミックコンデンサの製造を自
動化することができる。

■、グリーンシート付キャリアフィルムに形成された磁
性膜への磁気記録によりシート内容（例えば製造年月日
、コード番号、グリーンシートの材質及び厚さ等）を表
示できるため、そのキャリアフィルムの取扱い間違い等
を防止できる。

上述した種々の利点は、電極パターンの形成に使用され
る導電膜付キャリアフィルムの導電膜被覆領域を除く一
方又は両方の面に磁性膜を形成した場合でも同様である
。

更に、グリーンシート付キャリアフィルム、導電膜付キ
ャリアフィルムをカセットに収納することによって、次
のような種々の利点を発揮することができる。即ち、■
カセットがプラスチックケースよりなるため、積み重ね
て保管でき、保管場所が従来と比較して狭くて済む、■
ケースを積み重ねてもケースの背面に内容表示ができる
ため、管理し易（、分類も容易である、■形状が直方体
であるため、持ち運びし易い、■シートをケースに収納
するため、ごみ、埃等の付着を防止することができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。本実施例では、セラミックグリーンシート付キャリア
フィルムの作製工程、導電膜付キャリアフィルムの作製
工程、電極パターンの転写工程、電極パターンを有する
グリーンシート片の積層工程、焼成工程の順序で説明す
る。

［グリーンシート付キャリアフィルムの作製工程コまず
、γ−酸化鉄粉末、ポリブチラール及びリン酸エステル
をアセトンで溶解、分散させた所定の粘性を有する磁性
粉スラリーを調製した後、このスラリーをドクターブレ
ード法によりキャリアフィルムとしての幅２ｃ諷、厚さ
３０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの裏面
にその長さ方向に沿って塗布し、乾燥することによって
第１図（Ａ）、（Ｂ）に示すようにキャリアフィルム　
１の裏面端から　５■幅の磁性膜２を形成する。

次いで、Ｐｂ０．８５モル、Ｂ　ａ　Ｏ；　１５モル、
ＺｎＯ；１０モル、Ｍｇ　Ｏ；　ＩＬ３モ）Ｉ、、Ｎ　
ｂ　２０５　　；２３．４モル、ＴｉＯ２；３０モルの
各酸化物粉末、ポリブチラール及びリン酸エステルをア
セトンで溶解、分散させた所定の粘性を有するセラミッ
クラリ−を調製した後、このスラリーをドクターブレー
ド法により前記キャリアフィルム１の表面にその長さ方
向に沿って塗布する。つづいて、このキャリアフィルム
ｌを第２図に示すようにローラ　３が配置された７０〜
９０℃の乾燥炉４を通過させることにより乾燥させ、第
３図（Ａ）、（Ｂ）に示すように表面中央付近に幅１ｃ
ｖ、厚さ２０μｍのセラミックグリーンシート　５が形
成されたグリーンシート付キャリアフィルム６を作製す
る。ひきつづき、前記グリーンシート付キャリアフィル
ム　６をローラ　３により検査工程７に移動させ、セラ
ミックグリーンシート　５の欠陥箇所等を検査する。こ
の検査工程７には、グリーンシート付キャリアフィルム
６の裏面の磁性膜に接するように書込み用磁気ヘッド８
が配置され、キャリアフィルムの始端、グリーンシート
の不良部分、キャリアフィルムの終端を該磁性膜に磁気
記録する他、キャリアフィルムの始端からの長さを記録
し、巻取ロール９ａ、　９ｂを有する第１のカセットＩ
Ｏに巻回して収納する。キャリアフィルムの最後には、
その内容、例えば製造年月日、コード番号、グリーンシ
ートの材質及び厚さ等を記録する。

［導電膜付キャリアフィルムの作製工程］前述したのと
同組成の磁性粉スラリーをドクターブレード法によりキ
ャリアフィルムとしての幅２ｅｉ＋、厚さ１０μｍのポ
リエチレンテレフタレートフィルムの裏面にその長さ方
向に沿って塗布し、乾燥することによってキャリアフィ
ルム　１の裏面端から５１幅の磁性膜を形成する。つづ
いて、７０ｖｔ％Ａ　ｇ　−３０ｖｔ％Ｐｄ合金粉末、
ポリブチラール及びリン酸エステルをアセトンで溶解、
分散させた所定の粘性を有する導電性スラリーを調製し
た後、このスラリーをドクターブレード法により前記キ
ャリアフィルムの表面にその長さ方向に沿って塗布する
。ひきつづき、前述したグリーンシート付キャリアフィ
ルムと同様に、乾燥することにより第４図（ａ）、（ｂ
）に示すようにキャリアフィルム１１裏面に磁性膜１２
、表面中央付近に幅１ｃ！１１厚す３μｍの導電膜１３
がその長さ方向に形成された導電膜付キャリアフィルム
１４を作製する。

この後、検査工程での導電膜の材質、厚さ、欠陥情報、
キャリアフィルムの始端、導電膜の不良部分、キャリア
フィルムの終端を該磁性膜に書込み用磁気ヘッドで磁気
記録する他、キャリアフィルムの始端からの長さ、製造
月日を記録し、導電膜付キャリアフィルムを巻取ロール
を有する第２のカセットに巻回して収納する。

［電極パターンの転写工程］ 第５図に示すようにグリーンシート付キャリアフィルム
６が一方の巻取ロール９ａに巻回されて収納された第１
のカセット１０の上方に、導電膜付キャリアフィルム１
４が一方の巻取ロール１５ａに巻回されて収納させた巻
取ロール１５ａ、　　１５ｂを有する第２のカセット１
６とを対向して配置する。グリーンシート付キャリアフ
ィルム　６を、予め第１のカセット１０から引き出し、
ローラ　３で案内させながら第１読取り用磁気へラド１
７を通って転写用支持板１８とサーマルヘッド１９の間
を経由し、更に記録ヘッド３３を通ってセットする。導
電膜付キャリアフィルム１４についても、予め第２のカ
セットＩＢから引き出し、ローラ　３で案内させなから
ｊ＠２読取り用磁気ヘッド２０を通って前記グリーンシ
ート付キャリアフィルム６とサーマルヘッド１９の間を
該導電膜付キャリアフィルム１４の導電膜１３がグリー
ンシート付キャリアフィルム６に対向するように経由し
てセットする。つづいて、前記第１読取り用磁気ヘッド
１７をグリーンシート付キャリアフィルム６真面の磁性
膜に接触させ、グリーンシートの不良箇所等を読取り、
また前記第２読取り用磁気ヘッド２０を導電膜付キャリ
アフィルム１４真面の磁性膜に接触させ、導電膜の不良
箇所等を読取った後、グリーンシート付キャリアフィル
ム　６及び導電膜付キャリアフィルム１４における良好
なグリーンシート、導電膜が前記転写用支持板１８とサ
ーマルヘッド１９の間に位置した時に、該サーマルヘッ
ド１９を支持板１８に向けて押圧することにより、第６
因及び第７図に示すように導電膜付キャリアフィルム１
４の導電膜１３からサーマルヘッド１９の先端面と同面
積（長さ７．３■、幅４．９ｍｍ）の電極パターン２１
をその長さ方向がグリーンシート付キャリアフィルム６
の長さ方向に沿うようにグリーンシート　５上に転写す
る。電極パターン２１を転写すると同時に、前記記録用
磁気ヘッド３３を用いて後述する積層工程でのグリーン
シート　５を切断する位置を電極２１が転写されたグリ
ーンシート付キャリアフィルム　６の磁性膜に記録する
。このように電極パターン２１がグリーンシート　５上
に転写されたグリーンシート付キャリアフィルム６を他
方の巻取ロール９ｂに巻き取って第１のカセット１０内
に収納する。なお、電極パターンとして導電膜の一部を
転写した後の導電膜付キャリアフィルム１４は他方の巻
取ロール１５ｂに巻き取られて第２のカセット１６内に
収納される。

［電極パターンを有するグリーンシート片の積層工程］ 第８図に示すようにテーブル２２の中央の開口部２３に
転写ヘッドとしてのパンチ２４を上下動自在に挿入し、
該テーブル２２上方近傍に上下動自在なサーマルヘッド
２５を該パンチ２４と対向して配置し、かつ前記テーブ
ル上方に電極パターン２１を転写したグリーンシート付
キャリアフィルム６が他方の巻取ロール９ｂに巻回され
て収納された第１のカセットｌＯを所定距離あけて対向
して配置する。電極パターン２１が転写されたグリーン
シート付キャリアフィルム　６を、予め第１のカセット
ｌＯから引き出シ、ローラ　３で案内させながら第３読
取り用磁気ヘッド２６、フィルム押え２７とカッタ２８
の間を通り、更に前記テーブル２２とサーマルヘッド２
５間を経由してセットする。つづいて、前記第３読取り
用磁気ヘッド２６をグリーンシート付キャリアフィルム
６裏面の磁性膜に接触させ、カット位置を読取った後、
カッタ２８をフィルム押え２７側に移動させることによ
って、第９図の一点鎖線の枠２９に示すように電極パタ
ーン未転写のグリーンシート付キャリアフィルム　６部
分のグリーンシート　５のみを７．５ａｓＸ　　５．３
ｍｍの寸法にカットする。カット後のグリーンシート付
キャリアフィルム６をテーブル２２とサーマルヘッド２
５間に移動させ、テーブル２２内のパンチ２４を上昇さ
せて該バンチ２４上面をカットされたグリーンシート部
分に当接させた後、サーマルヘッド２５を下降させてカ
ットされたグリーンシート片２９をパンチ２４上面に転
写する。こうした電極パターン未転写のグリーンシート
付キャリアフィルム６部分のグリーンシートのみのカッ
ト、パンチ２４への転写を５回繰り返すことにより、第
１０図に示すようにバンチ２４上面に下部カバーシート
なる　５枚のグリーンシート片３０を積層する。

次いで、前記第３読取り用磁気ヘッド２Ｇで電極パター
ン２１が転写されたグリーンシート付キャリアフィルム
　６の領域を読取った後、カッタ２８をフィルム押え２
７側に移動させて電極パターン２１が転写されたグリー
ンシート付キャリアフィルム　６部分のグリーンシート
のみを７．５■ｓＸ　５．３ｍｍの寸法にカットする。

このカット工程においては、第１１図の一点鎖線の枠３
１に示すように電極パターン２１の長さ方向の一端（例
えば右端）の辺と合致し、電極パターン２１の他の辺か
ら２００μｍ離れるようにカットされる。カット後のグ
リーンシート付キャリアフィルム６を同第１０図に示す
ようにテーブル２２とサーマルヘッド２５間に移動させ
る。つづいて、テーブル２２内のパンチ２４を上昇させ
て該パンチ２４上面に積層されたグリーンシート片３０
をカットされた電極パターン２１を有するグリーンシー
ト部分に当接させた後、サーマルヘッド２５を下降させ
てカットされた電極パターン２１及びグリーンシート片
３０をバンチ２４上面のグリーンシート片３０に転写す
る。

次いで、前記第３読取り用磁気ヘッド２６で電極パター
ン２１が転写されたグリーンシート付キャリアフィルム
６のカット位置を読取った後、カッタ２８をフィルム押
え２７側に移動させて電極パターン２１が転写されたグ
リーンシート付キャリアフィルム　６部分のグリーンシ
ートのみを第１２図の一点鎖線の枠３２に示すように電
極パターン２１の長さ方向の他端（例えば左端）の辺と
合致し、電極パターン２１の他の辺から２００μｍ離れ
るように７゜５１１１×５．３＋ａｍの寸法にカットす
る。つづいて、前述したのと同様の操作により電極パタ
ーン２１及びグリーンシート片３０をパンチ２４上面の
グリーンシート片３０（下部に電極パターン２１を有す
る）に転写する。

上述した積層操作を合計５０回繰り返すことによって、
電極パターン２１の露出側面が左右端に交互に位置する
５０枚の電極パターン付きグリーンシートからなる積層
物を作製する。

次いで、前述した下部カバーシートの作製と同様な操作
により該積層物上に上部カバーシートなる　５枚のグリ
ーンシート片（図示せず）を積層する。

［焼成工程］ 前述した積層工程の終了後、上下のカバーシートなる　
５枚のグリーンシート片で挟まれた５０枚の積層物をパ
ンチ上面から取り出した後、５００”Ｃで５時間脱脂を
行って有機物を分解し、１０５０℃で２時間焼成した。

焼成後、外部電極として銀ペーストを８００℃で焼き付
け、長さ４，５■、幅３．２■ｌの積層セラミックコン
デンサを製造する。

本発明方法によれば、第８図に示すように転写ヘッドで
あるパンチ２４とサーマルヘッド２５の間に複数の電極
パターン２１が形成されたグリーンシート付キャリアフ
ィルム６をその上の電極パターン２Ｉが前記バンチ２４
側に位置するように導入し、前記サーマルヘッド２５及
びバンチ２４を用いて前記キャリアフィルム６上の電極
パターン２１及び最終製品寸法のグリーンシート片３０
をパンチ２４側に転写する操作を複数回行なって積層す
ることによりて、従来法のように複数の電極が形成され
た面積の広いグリーンシートをキャリアフィルから剥離
して取り出して別の工程に移動させる際に問題となるグ
リーンシートの破損を回避できる。特に、厚さ１０〜２
０μｍという数十μｍオーダ又は１０μｍ以下の薄いグ
リーンシート　５をキャリアフィルム　ｌ上に形成して
も、前記転写方法を採用することにより積層工程でのグ
リーンシート　５の破損を回避できる。その結果、積層
物を転写ヘッドから取り出し、焼成することによって、
最終製品寸法で高容量の積層セラミックコンデンサを極
めて簡単かつ高歩留まりで製造することができる。

また、バンチ２４上に転写された積層物に位置ずれが発
生した場合には、外観検査により比較的容易にそのずれ
発生を判別することが可能であるため、不良品となる頻
度を改善できる。

更に、本実施例のようにグリーンシート付キャリアフィ
ルム６への電極パターン形成を第５図に示すようにグリ
ーンシート付キャリアフィルム６を収納した第１のカセ
ットｌＯと導電膜付キャリアフィルム１４を収納した第
２のカセット１Ｂを対向して配置し、これらカセット１
０．１８がら引出したグリーンシート付キャリアフィル
ム　６及び導電膜付キャリアフィルム１４を転写用支持
板１８とサーマルヘッド１９間に導入して導電膜付キャ
リアフィルム１４の導電膜１３の熱転写を行うことによ
って、グリーンシート付キャリアフィルム　Ｂ上に電極
パターン２１を極めて簡単かつ効率よく形成できる。

更に、グリーンシート付キャリアフィルムＢ及び導電膜
付キャリアフィルム１４に磁性膜２．１２を形成するこ
とによって、グリ−シート、導電膜に欠陥がある場合、
その箇所を機械的に読み出した後、磁気ヘッドを用いて
該欠陥に対応する磁性膜部分に欠陥データを書き込むこ
とができる。このため、グリーンシート付キャリアフィ
ルムＢ１導電膜付キャリアフィルム１４の使用に際して
再生ヘッドでその箇所を読み取ることによって、欠陥の
ないグリーンシートや導電膜部分についてのみ転写を行
なうことができる。また、その磁性膜にそれらキャリア
フィルムの長さ情報を磁気ヘッドにより書き込むことが
できるため、キャリアフィルム残量等を容易に把握する
ことができる。その結果、良品率を向上できると共に、
作業性の改善、積層セラミックコンデンサの製造の自動
化等を達成することができる。

なお、上記実施例で用いた磁性膜が形成されたグリーン
シート付キャリアフィルム、導電膜付キャリアフィルム
は積層セラミックコンデンサの製造のみならず、他のセ
ラミック製電子部品の製造にも同様に適用できる。

［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば薄いセラミックグリ
ーンシートをキャリアフィルム上に形成したグリーンシ
ート付キャリアフィルムを出発素材として用いても、製
造工程中でのグリーンシートの破損を回避でき、高容量
のセラミックコンデンサを簡単かつ量産的に製造し得る
方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）は本実施例におけるキャリアフィルムの裏
面に磁性膜を形成した状態を示す平面図、同図（Ｂ）は
同図（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、第２図は裏面に磁
性膜が形成されたキャリアフィルムの表面にセラミック
グリーンシートを形成し、カセットに収納する工程を示
す概略図、第３図（Ａ）は前記工程で作製されたグリー
ンシート付キャリアフィルムを示す平面図、同図（Ｂ）
は同図（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、第４図（Ａ）は
作製された導電膜付キャリアフィルムを示す平面図、同
図（Ｂ）は同図（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、第５図
は導電膜付キャリアフィルムの導電膜をグリーンシート
付キャリアフィルムのグリーンシート上に熱転写して電
極パターンを形成する工程を示す概略図、第６図は第５
図の熱転写領域を示す拡大断面図、第７図は電極パター
ンが形成されたグリーンシート付キャリアフィルムを示
す平面図、第８図は電極パターンが転写されたグリーン
シート付キャリアフィルムを用いて積層物を積層する工
程を示す概略図、第９図は前記第８図の積層工程での電
極パターン未転写のグリーンシート付キャリアフィルム
をカッタでカットした枠を示す平面図、第１０図は第８
図のパンチ（転写ヘッド）及びサーマルヘッドにおいて
下部カバーシート用の　５枚のグリーンシートを積層し
た状態を示す断面図、第１１図及び第１２図はそれぞれ
第８図の積層工程での電極パターンが転写されたグリー
ンシート付キャリアフィルムをカッタでカットした枠を
示す平面図である。 ■、１１・・・キャリアフィルム、２．１２・・・磁性
膜、５・・・セラミックグリーンシート、６・・・グリ
ーンシート付キャリアフィルム、　訃・・記録へ・ソド
、ｌ０１１６・・・カセット、■３・・・導電膜、１４
・・・導電膜付キャリアフィルム、１７．２０．２Ｂ・
・・読取り用磁気へ・ソド、１８・・・転写用支持板、
】９．２５・・・サーマルヘッド、２１・・・電極パタ
ーン、２４・・・パンチ（転写ヘッド）、２８・・・カ
ッタ、３０・・・グリーンシート片。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 〜 １−　　　　Ｕ） 第５図 第６図 第 図 第８図 第１０図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）長尺のキャリアフィルムにセラミックスラリーを
   塗布、乾燥されてなるグリーンシート付キャリアフィル
   ム上に複数の電極パターンを形成する第１工程と、 互いに対向して配置された転写ヘッドとサーマルヘッド
   のうち前記転写ヘッドに所望形状のグリーンシート片を
   保持させる第２工程と、 前記転写ヘッドとサーマルヘッドの間に前記キャリアフ
   ィルムをその上の電極パターンが前記転写ヘッド側に位
   置するように導入した後、前記サーマルヘッドを転写ヘ
   ッド側に向けて押圧することにより前記キャリアフィル
   ム上の電極パターン及びグリーンシートを転写ヘッド側
   に転写して電極パターンをグリーンシート片で挟んだ積
   層物を形成する第３工程と、 前記キャリアフィルムと転写ヘッド及びサーマルヘッド
   とを相対的に移動して該転写ヘッドを前記キャリアフィ
   ルム上の別の電極パターンと対向させ、前記第３工程と
   同様な転写ヘッド側への電極パターン及びグリンシート
   の転写を行う第４工程と を具備したことを特徴とするセラミックコンデンサの製
   造方法。
2. （２）グリーンシート付キャリアフィルムに電極パター
   ンを形成する第１工程は、グリーンシート付キャリアフ
   ィルムと導電膜付キャリアフィルムをグリーンシート及
   び導電膜が互いに当接するように重ね、前記導電膜付キ
   ャリアフィルムの導電膜の所望領域を前記グリーンシー
   ト付キャリアフィルムのグリーンシート上に熱転写する
   方法により行われることを特徴とする請求項１記載のセ
   ラミックコンデンサの製造方法。
3. （３）グリーンシート付キャリアフィルムとして、グリ
   ーンシート被覆領域を除く一方又は両方の面に磁性膜を
   形成したものを用いることを特徴とする請求項１又は２
   記載のセラミックコンデンサの製造方法。