JPH0477271U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は積層型圧電アクチユエータの模式図で
あり、第２図は実施例１の積層型圧電アクチユエ
ータの部分拡大模式図、第３図は実施例２の積層
型圧電アクチユエータの圧電素子部分の拡大模式
図、第４図は実施例１の積層型圧電アクチユエー
タの耐久寿命測定結果の線グラフ、第５図は実施
例２の積層型圧電アクチユエータの耐久寿命測定
結果の線グラフである。 １……積層体、２……圧電素子、３……絶縁材
料被膜、４……圧電素子の表面粗さ部位、５……
圧電素子の表面の溝、６……内部電極板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 表面に電極層が形成された圧電素子と内部
   電極板とが交互に積層されて積層体を形成し、該
   積層体の該内部電極が一層おきに接続されて一対
   の電極として外部に接続され、該積層体の外周面
   が絶縁材料で被覆された積層型圧電アクチユエー
   タであつて、 該積層体を構成する該圧電素子は外周面の表面
   粗さ（最大粗さＲｍａｘ）が４μｍ以上であるこ
   とを特徴とする積層型圧電アクチユエータ。 (2) 表面に電極層が形成された圧電素子と内部
   電極板とが交互に積層されて積層体を形成し、該
   積層体の該内部電極が一層おきに接続されて一対
   の電極として外部に接続され、該積層体の外周が
   絶縁材料で被覆された積層型圧電アクチユエータ
   であつて、 該積層体を構成する該圧電素子の外周面の表面
   には、深さ１００〜５００μｍ幅が圧電素子の厚
   みの２０〜５０％の凹部状溝を周方向に少なくと
   も一箇所以上に設けたことを特徴とする積層型圧
   電アクチユエータ。