JPH0478040A - 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体Info
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- JPH0478040A JPH0478040A JP18552890A JP18552890A JPH0478040A JP H0478040 A JPH0478040 A JP H0478040A JP 18552890 A JP18552890 A JP 18552890A JP 18552890 A JP18552890 A JP 18552890A JP H0478040 A JPH0478040 A JP H0478040A
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 101100042630 Caenorhabditis elegans sin-3 gene Proteins 0.000 abstract description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ光線及び外部磁界を用いて情報の記録
、再生、消去を行う光磁気記録媒体に関するものである
。
、再生、消去を行う光磁気記録媒体に関するものである
。
書き換え可能な光ディスクとして、磁気モーメントの配
向による偏光面の回転を利用した光磁気方式の記録膜が
ある。
向による偏光面の回転を利用した光磁気方式の記録膜が
ある。
この光磁気方式による記録膜では、Ｔｂ、Ｇｄ。
Ｎｄ、Ｄｙなどの希土類とＦｅ、Ｇｏなどの遷移金属を
合金化したものが知られている。
合金化したものが知られている。
しかしながら、このような記録膜は、カー回転角が小さ
く十分な再生信号が得られにくい。そこで光学的にエン
ハンス効果を利用したり、特開昭５７−７８６５２の様
に記録層には保磁力の大きい材料を、再生層にはカー回
転角の大きな材料を用いる２層構造が知られている。
く十分な再生信号が得られにくい。そこで光学的にエン
ハンス効果を利用したり、特開昭５７−７８６５２の様
に記録層には保磁力の大きい材料を、再生層にはカー回
転角の大きな材料を用いる２層構造が知られている。
しかし、全く異なる組成を積層するために、成膜プロセ
スが複雑になり、時間も要しコスト高となってしまう。
スが複雑になり、時間も要しコスト高となってしまう。
また、各層の拡散等より寿命が短いことが心配される。
従って、本発明は膜組成を変化させること無しに、記録
及び再生層からなる２層構造を有する光磁気記録媒体を
提供することを目的としてなされたものである。
及び再生層からなる２層構造を有する光磁気記録媒体を
提供することを目的としてなされたものである。
そのため本発明は、記録膜組成Ｔｂ２１〜２５ａｔ％、
Ｃｏ １２〜Ｉ ５ａｔ％、残部が実質的にＦｅよ
りなる組成を用い、再生層にスパッタ圧力が低い状態で
形成されるカー回転角の大きな膜と、記録層にスパッタ
圧力が大きい状態で形成される保磁力の大きな膜との２
層構造を有する光磁気記録媒体である。
Ｃｏ １２〜Ｉ ５ａｔ％、残部が実質的にＦｅよ
りなる組成を用い、再生層にスパッタ圧力が低い状態で
形成されるカー回転角の大きな膜と、記録層にスパッタ
圧力が大きい状態で形成される保磁力の大きな膜との２
層構造を有する光磁気記録媒体である。
再ヰ層、記録層ともに同一組成の膜を用いるので、ター
ゲットは１つでよく、また成膜プロセスが従来とほとん
ど変わらないのでコスト高になることなしに、カー回転
角、保磁力の良好な記録媒体を得ることができる。
ゲットは１つでよく、また成膜プロセスが従来とほとん
ど変わらないのでコスト高になることなしに、カー回転
角、保磁力の良好な記録媒体を得ることができる。
また、同一組成であるため長期間記録物を保存しても拡
散等の問題も無く、寿命にも影響しない。
散等の問題も無く、寿命にも影響しない。
第１図に、カー回転角のスパッタガス圧依存性を第２図
に、保磁力のスパッタガス圧依存性を示す。第１図より
カー回転角はスパッタガス圧力の上昇にともなって除々
に低下していく。一方、保磁力は第２図よりスパッタガ
ス圧力の上昇に伴って急激に上昇する。このようにスバ
・７タガス圧−定の元ではカー回転角と保磁力にはトレ
ードオフの関係があることがわかる。
に、保磁力のスパッタガス圧依存性を示す。第１図より
カー回転角はスパッタガス圧力の上昇にともなって除々
に低下していく。一方、保磁力は第２図よりスパッタガ
ス圧力の上昇に伴って急激に上昇する。このようにスバ
・７タガス圧−定の元ではカー回転角と保磁力にはトレ
ードオフの関係があることがわかる。
そこで、第３図に示すように、ガラス、ポリカーボネー
ト又はアクリル樹脂などで形成された基板１の上にエン
ハンス膜２としてＺｎＳ、ＳｉＮ３等を膜厚約８００人
程変被着させる。その上に再生層３として膜組成が代表
例としてＴｂｚ、Ｆｅ６□ＣｏＢａｔ％となる様に調整
したターゲットをマグネトロンスパッタリングにより、
Ａｒガス圧約３〜５ Ｘ １０−１ｐａで膜厚約３００
〜５００大破着させる。続けてＡｒガス圧を８〜１０
Ｘ １０−１ｐａに変えて記録層４を膜厚約５００〜８
００Ａ連続的に被着させる。尚、記録層の膜組成は再生
層３の組成に等しい。こうして成膜された記録層４上に
ＺｎＳ、ＳｉＮ等の保護膜５をディスク全面にわたって
膜厚約１０００人程度被着させる。
ト又はアクリル樹脂などで形成された基板１の上にエン
ハンス膜２としてＺｎＳ、ＳｉＮ３等を膜厚約８００人
程変被着させる。その上に再生層３として膜組成が代表
例としてＴｂｚ、Ｆｅ６□ＣｏＢａｔ％となる様に調整
したターゲットをマグネトロンスパッタリングにより、
Ａｒガス圧約３〜５ Ｘ １０−１ｐａで膜厚約３００
〜５００大破着させる。続けてＡｒガス圧を８〜１０
Ｘ １０−１ｐａに変えて記録層４を膜厚約５００〜８
００Ａ連続的に被着させる。尚、記録層の膜組成は再生
層３の組成に等しい。こうして成膜された記録層４上に
ＺｎＳ、ＳｉＮ等の保護膜５をディスク全面にわたって
膜厚約１０００人程度被着させる。
このようにして作成した同一組成の記録−再生専用層を
有する光磁気ディスクに線速４．５ ｍ／ｓ、波長７８
００組パワー６−−で出射し、外部磁界を４ｏ ＯＯｅ
として、２．８ ＭＨｚの周波数信号を記録したところ
正確にビットが形成された。これをレーザパワー１−で
再生すると、ディスク全面にわたり、良好なＣＮＲが得
られた。
有する光磁気ディスクに線速４．５ ｍ／ｓ、波長７８
００組パワー６−−で出射し、外部磁界を４ｏ ＯＯｅ
として、２．８ ＭＨｚの周波数信号を記録したところ
正確にビットが形成された。これをレーザパワー１−で
再生すると、ディスク全面にわたり、良好なＣＮＲが得
られた。
以上、本発明によれば、スパッタ条件を変えることで膜
組成を変化させることなしに形成した２層構造の記録・
再生専用層を成膜することができ、良好な記録再生信号
を得ることができる。
組成を変化させることなしに形成した２層構造の記録・
再生専用層を成膜することができ、良好な記録再生信号
を得ることができる。
第１図はカー回転角のスパッタガス圧依存性、第２図は
保磁力のスパッタガス圧依存性を示す図、第３図は本発
明の記録媒体の断面図を示す。 ｌ・・・基板 ２・・・エンハンス膜３・
・・再生膜 ４・・・記録層５・・・保護層
である。
保磁力のスパッタガス圧依存性を示す図、第３図は本発
明の記録媒体の断面図を示す。 ｌ・・・基板 ２・・・エンハンス膜３・
・・再生膜 ４・・・記録層５・・・保護層
である。
Claims (2)
- （１）基板と基体上に形成された記録薄膜を有する光磁
気記録媒体において、スパッタ条件の特にアルゴン圧力
を変え、記録膜を形成する磁気特性を変化させた記録媒
体を低アルゴン圧力（３〜５×１０＾−＾１ｐａ）で成
膜し、カー回転角の大きな再生専用層と、高アルゴン圧
力（８〜１０×１０＾−＾１ｐａ）で成膜した保磁力の
大きな記録専用層とを有することを特徴とする光磁気記
録媒体。 - （２）記録膜がＴｂ２１〜２５ａｔ％、Ｃｏ１２〜１５
ａｔ％残部が実質的にＦｅより成る組成である請求項（
１）の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185528A JP2528088B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185528A JP2528088B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478040A true JPH0478040A (ja) | 1992-03-12 |
| JP2528088B2 JP2528088B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=16172380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2185528A Expired - Lifetime JP2528088B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2528088B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130345A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH02103756A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-16 | Canon Inc | 光磁気記録媒体 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2185528A patent/JP2528088B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130345A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH02103756A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-16 | Canon Inc | 光磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2528088B2 (ja) | 1996-08-28 |
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