JPH0479417U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0479417U JPH0479417U JP12131490U JP12131490U JPH0479417U JP H0479417 U JPH0479417 U JP H0479417U JP 12131490 U JP12131490 U JP 12131490U JP 12131490 U JP12131490 U JP 12131490U JP H0479417 U JPH0479417 U JP H0479417U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer stage
- wafer
- reduction lens
- foreign matter
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
Description
第１図は本考案実施例の作用部位、又、他の間
連部位の縮小投影露光装置概略構成正面図、第２
図は本考案実施例の作用機能正面図、第３図は本
考案実施例の異物保護膜付フレームの正面および
平面を示す図である。 １……照明系、２……レテイクル原画、３……
縮小レンズ、４……ウエハステージ、５……ウエ
ハ保持台、６……ウエハ、７……自動焦点機構、
８……レンズ、９……自動焦点機構、１０……異
物保護膜付フレーム、１１……ウエハ、１２……
ウエハステージ、１３……異物保護膜付フレーム
、１４……異物保護膜。
連部位の縮小投影露光装置概略構成正面図、第２
図は本考案実施例の作用機能正面図、第３図は本
考案実施例の異物保護膜付フレームの正面および
平面を示す図である。 １……照明系、２……レテイクル原画、３……
縮小レンズ、４……ウエハステージ、５……ウエ
ハ保持台、６……ウエハ、７……自動焦点機構、
８……レンズ、９……自動焦点機構、１０……異
物保護膜付フレーム、１１……ウエハ、１２……
ウエハステージ、１３……異物保護膜付フレーム
、１４……異物保護膜。
Claims (1)
- ウエハ等を載置してステツプ送りするウエハス
テージと、このウエハステージを駆動するウエハ
ステージ制御部と、ウエハステージ上方に配置さ
れた縮小レンズと、この縮小レンズ上方に配置さ
れたレテイクルと、このレテイクル上の回路パタ
ーンを前述ウエハ上に転写する露光の光源と、装
置全体を制御する全体制御部を具備する投影露光
装置に於いて、縮小レンズ下面への異物付着を防
止する手段として、エアマイクロ方式へ内装する
異物保護膜取付部、更に保護膜交換機能、これら
を構成しオートフオカス機能を維持することを特
徴とする投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12131490U JPH0479417U (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12131490U JPH0479417U (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0479417U true JPH0479417U (ja) | 1992-07-10 |
Family
ID=31869174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12131490U Pending JPH0479417U (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0479417U (ja) |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP12131490U patent/JPH0479417U/ja active Pending
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