JPH0479531B2 - - Google Patents
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- JPH0479531B2 JPH0479531B2 JP60015974A JP1597485A JPH0479531B2 JP H0479531 B2 JPH0479531 B2 JP H0479531B2 JP 60015974 A JP60015974 A JP 60015974A JP 1597485 A JP1597485 A JP 1597485A JP H0479531 B2 JPH0479531 B2 JP H0479531B2
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- circuit
- signal
- waveform
- level
- pulse
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/1031—Investigating individual particles by measuring electrical or magnetic effects
- G01N15/12—Investigating individual particles by measuring electrical or magnetic effects by observing changes in resistance or impedance across apertures when traversed by individual particles, e.g. by using the Coulter principle
- G01N15/131—Details
- G01N15/132—Circuits
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
この発明は、波高歪を含むことがある波形を出
力する導電式粒子検出装置を適用する粒子分析装
置に関するものである。
力する導電式粒子検出装置を適用する粒子分析装
置に関するものである。
導電式粒子検出装置は、塩濃度0.8%程度の薄
い電解質液中に測定用粒子を浮遊させたところの
懸濁液に一対の電極を浸漬し、両電極間を微細孔
を有する絶縁壁で隔絶し、両電極間に電位差を与
えて前記細孔を通じてのみ電極間に電流が流れる
ように構成したものである。 すなわち、両側の液間に水圧差を加え細孔を通
じて液とともに粒子を流過させると、粒子径に対
する細孔径を適切に選べば粒子の通過に対応して
粒子体積に比例した電流変化が電極間に生ずると
いう特性を利用した装置である。 粒子検出波形を詳細に検討すると、細孔の中心
付近を通過したときのみ粒子体積に比例したパル
ス波高値を示し、細孔の外周近くを通過する波形
は部分的に高目の波高値を示すこととなつて、粒
度情報に誤差を生じることが確められている。 第7図の細孔11における粒子12の通過の様
子イ,ロ,ハ,ニの模式図と、第8図の波形図と
が示すように細孔11の入口周囲は電流線密度が
高く感度が高い。ただし、図はまとめて表現した
もので、一般的には各状態が別個に起こる程度に
懸濁液を希釈している。 イは、細孔11の内周面のごく近くを粒子12
が通過する場合で、入口および出口で高い波高値
を示しその間はほぼ平坦になつている。 ロは、細孔11の中心近くを通る場合で、同時
刻に2つの粒子12が存在することがあるような
通過の仕方であり、その波形はピークが2つあ
り、その間は比較的に深い谷となつている。 ハは、細孔11の丁度中心を粒子12が通過す
る場合で、ピークが一点の対称形のきれいな山形
の波形を示す。 ニは、入口では細孔11の内周面近くを、出口
では中心近くを通るうに斜めに通過した場合で、
その波形は入口での高い波高部と、これに続く平
坦部とを有するものとなつている。 導電式粒子検出装置は構造が簡単で、しかも感
度が高いため、懸濁液中を走査する上で細孔の閉
塞トラブルと、粒子通過経路による粒子信号歪の
欠点はあるが、広く利用されている粒子測定装置
の一つである。従来から精密粒子分析の分野で
は、この装置の検出歪に対する対策が問題とさ
れ、種々の研究が続けられてきた。 ベルヌーイの原理を応用して粒子の細孔流通通
路を中心部の狭い範囲に絞る「ハイドロダイナミ
ツクフオーカシング」あるいは「シースフロー」
と呼ばれる、特開昭53−119086号公報その他に見
られる流体力学面での改良法がその一つである。 また、検出粒子信号波形を分析し、細孔の中心
付近を通過する歪のない信号以外のい、歪を持つ
た信号をすべて無視する波形選択によるものも一
つの改良法である。 その他にも種々あるが、これら2つが代表的な
ものである。
い電解質液中に測定用粒子を浮遊させたところの
懸濁液に一対の電極を浸漬し、両電極間を微細孔
を有する絶縁壁で隔絶し、両電極間に電位差を与
えて前記細孔を通じてのみ電極間に電流が流れる
ように構成したものである。 すなわち、両側の液間に水圧差を加え細孔を通
じて液とともに粒子を流過させると、粒子径に対
する細孔径を適切に選べば粒子の通過に対応して
粒子体積に比例した電流変化が電極間に生ずると
いう特性を利用した装置である。 粒子検出波形を詳細に検討すると、細孔の中心
付近を通過したときのみ粒子体積に比例したパル
ス波高値を示し、細孔の外周近くを通過する波形
は部分的に高目の波高値を示すこととなつて、粒
度情報に誤差を生じることが確められている。 第7図の細孔11における粒子12の通過の様
子イ,ロ,ハ,ニの模式図と、第8図の波形図と
が示すように細孔11の入口周囲は電流線密度が
高く感度が高い。ただし、図はまとめて表現した
もので、一般的には各状態が別個に起こる程度に
懸濁液を希釈している。 イは、細孔11の内周面のごく近くを粒子12
が通過する場合で、入口および出口で高い波高値
を示しその間はほぼ平坦になつている。 ロは、細孔11の中心近くを通る場合で、同時
刻に2つの粒子12が存在することがあるような
通過の仕方であり、その波形はピークが2つあ
り、その間は比較的に深い谷となつている。 ハは、細孔11の丁度中心を粒子12が通過す
る場合で、ピークが一点の対称形のきれいな山形
の波形を示す。 ニは、入口では細孔11の内周面近くを、出口
では中心近くを通るうに斜めに通過した場合で、
その波形は入口での高い波高部と、これに続く平
坦部とを有するものとなつている。 導電式粒子検出装置は構造が簡単で、しかも感
度が高いため、懸濁液中を走査する上で細孔の閉
塞トラブルと、粒子通過経路による粒子信号歪の
欠点はあるが、広く利用されている粒子測定装置
の一つである。従来から精密粒子分析の分野で
は、この装置の検出歪に対する対策が問題とさ
れ、種々の研究が続けられてきた。 ベルヌーイの原理を応用して粒子の細孔流通通
路を中心部の狭い範囲に絞る「ハイドロダイナミ
ツクフオーカシング」あるいは「シースフロー」
と呼ばれる、特開昭53−119086号公報その他に見
られる流体力学面での改良法がその一つである。 また、検出粒子信号波形を分析し、細孔の中心
付近を通過する歪のない信号以外のい、歪を持つ
た信号をすべて無視する波形選択によるものも一
つの改良法である。 その他にも種々あるが、これら2つが代表的な
ものである。
前記の流れを絞る流体装置によるものは理想的
ではあるが、複雑な流体機構を必要をするため装
置が高価になり、また保守が難しいという欠点が
ある。 前記波形選択の判別回路として例えば、特公昭
54−26919号公報、特公昭55−12980号公報に示さ
れたものがある。これらは、何れも、粒子波形を
ピークホールドして得る電圧を所定の割合に分割
した各電圧レベルをスレツシユホールド電圧と
し、各スレツシユホールド電圧と、遅延させた前
記粒子波形とを比較して各レベルでの波形持続時
間を積分回路で相対測定し、正常基準値と比較す
ることによつて波形を取捨選択している。 しかし、この波形選択によるものは無視した信
号の数がかなりにのぼるため、サンプリング数を
多くして精度を保つ必要があり、能率面、精度面
で問題を残している。 特願昭59−115331号(昭和59年6月4日出願)
の特許出願は同一出願人の出願に係るものである
が、この出願の発明粒子分析装置は、前記の問題
を改善したものである。 しかしながら、その粒子分析装置では、なお、
条件設定がむずかしくて分析精度が十分には高く
はなく、回路が複雑になるという問題があつた。 この発明の目的は、回路構成がより簡単でかつ
分折精度がより高い粒子分析装置を提供すること
である。
ではあるが、複雑な流体機構を必要をするため装
置が高価になり、また保守が難しいという欠点が
ある。 前記波形選択の判別回路として例えば、特公昭
54−26919号公報、特公昭55−12980号公報に示さ
れたものがある。これらは、何れも、粒子波形を
ピークホールドして得る電圧を所定の割合に分割
した各電圧レベルをスレツシユホールド電圧と
し、各スレツシユホールド電圧と、遅延させた前
記粒子波形とを比較して各レベルでの波形持続時
間を積分回路で相対測定し、正常基準値と比較す
ることによつて波形を取捨選択している。 しかし、この波形選択によるものは無視した信
号の数がかなりにのぼるため、サンプリング数を
多くして精度を保つ必要があり、能率面、精度面
で問題を残している。 特願昭59−115331号(昭和59年6月4日出願)
の特許出願は同一出願人の出願に係るものである
が、この出願の発明粒子分析装置は、前記の問題
を改善したものである。 しかしながら、その粒子分析装置では、なお、
条件設定がむずかしくて分析精度が十分には高く
はなく、回路が複雑になるという問題があつた。 この発明の目的は、回路構成がより簡単でかつ
分折精度がより高い粒子分析装置を提供すること
である。
この発明が前記問題点を解決するために講じた
技術的手段(発明の構成)は、つぎのとおりであ
る。 すなわち、この発明の粒子分析装置は、細孔に
おける粒子通過に伴う電気量発生手段と、この発
生電気量の微分手段と、前記微分手段の出力波形
が0レベル近くの正、負両レベル間の所定閾外に
あるときパルスを発生する弁別手段と、前記所定
閾を入力信号の大・小変化に応じて大・小変化す
る所定閾可変手段と、前記微分手段の出力波形が
0レベルにある時点を検出する0レベル検出手段
と、前記弁別手段の出力信号およ前記0レベル検
出手段の出力信号によつて前記発生電気量の信号
レベルをホールドする信号レベルホールド手段
と、前記弁別手段の出力信号により前記信号レベ
ルホールド手段の出力信号をA/D変換するA/
D変換手段とを備えたものである。
技術的手段(発明の構成)は、つぎのとおりであ
る。 すなわち、この発明の粒子分析装置は、細孔に
おける粒子通過に伴う電気量発生手段と、この発
生電気量の微分手段と、前記微分手段の出力波形
が0レベル近くの正、負両レベル間の所定閾外に
あるときパルスを発生する弁別手段と、前記所定
閾を入力信号の大・小変化に応じて大・小変化す
る所定閾可変手段と、前記微分手段の出力波形が
0レベルにある時点を検出する0レベル検出手段
と、前記弁別手段の出力信号およ前記0レベル検
出手段の出力信号によつて前記発生電気量の信号
レベルをホールドする信号レベルホールド手段
と、前記弁別手段の出力信号により前記信号レベ
ルホールド手段の出力信号をA/D変換するA/
D変換手段とを備えたものである。
この発明の構成による作用は、以下の実施例に
おける動作説明によつて明らかとなろう。
おける動作説明によつて明らかとなろう。
この発明の一実施例を第1図ないし第3図に基
づいて説明する。第1図は粒子分析装置の主要部
である波形処理装置のブロツクを、第2図はそれ
の動作を示す各部の波形を、第3図は粒子分析装
置の全体構成を概念図である。 第3図において、導電式粒子検出装置7は、試
料容器1、粒子懸濁試料2、細孔3を有する検出
器(絶縁壁)4と電極5,6を備え、試料2を流
動定量する流体制御部と、電極5,6に電位差を
与え、検出パルスを発生させ増幅する検出部から
なる。 波形処理装置8はこの発明の主要部をなすもの
であり、第1図がそのブロツク構成図を示す。波
形処理装置8は、微分回路31、ACl回路
(Automatic Comparater Level回路)32、絶
縁コンパレータ33、後縁コンパレータ34、ゼ
ロクロスコンパレータ35、アンド回路36、ワ
ンシヨツト回路37、コンバートスタートパルス
回路38、移相補正回路39、サンプルホールド
回路40、波高値A/D変換回路41ならびに
Tnセンターパルス回路42からなる。 aは導電式粒子検出装置7から微分回路31お
よび移相補正回路39に入力される入力端子線で
ある。 微分回路31が、発明の構成にいう「微分手
段」の一例である。 前縁コンパレータ33、後縁コンパレータ34
およびTnセンターパルス回路42が、発明の構
成にいう「弁別手段」の一例である。 ゼロクロスコンパレータ35が、発明の構成に
いう「0レベル検出手段」の一例である。 ACL回路32が、発明の構成にいう「所定閾
可変手段」の一例である。 サンプルホールド回路40が、発明の構成にい
う「信号レベルホールド手段」の一例である。 波高値A/D変換回路41が、発明の構成にい
う「A/D変換手段」の一例である。 微分回路31の出力端子は、前縁コンパレータ
33、後縁コンパレータ34およびゼロクロスコ
ンパレータ35の入力端子に接続されている。前
縁コンパレータ33と後縁コンパレータ34の出
力端間にTnセンターパルス回路42が接続され、
Tnセンターパルス回路42の出力端子とゼロク
ロスコンパレータ35の出力端子とがアンド回路
36の入力端子に接続されている。 そして、アンド回路36の出力端子がワンシヨ
ツト回路37の入力端子に接続され、ワンシヨツ
ト回路37の出力端子が、サンプルホールド回路
40のトリガ端子に接続されている。ワンシヨツ
ト回路37は、サンプルホールド回路40に対す
るトリガパルスを発生させるものである。 移相補正回路39の出力端子はサンプルホール
ド回路40の入力端子に接続され、サンプルホー
ルド回路40の出力端子は波高値A/D変換回路
41の入力端子に接続されている。サンプルホー
ルド回路40の出力端子は波高値A/D変換回路
41の入力端子に接続されている。サンプルホー
ルド回路40は、ワンシヨツト回路37の出力に
よつてトリガされたとき、波高値A/D変換回路
41に出力する。波高値A/D変換回路41から
は第3図の粒度記録装置9に出力される。 後縁コンパレータ34の出力端子はコンバート
スタートパルス回路38の入力端子に接続され、
コンバートスタートパルス回路38の出力端子は
波高値A/D変換回路41のトリガ端子に接続さ
れている。コンバートスタートパルス回路38が
発生したトリガパルスは、波高値A/D変換回路
41に入力される。 つぎに、波形処理装置8の動作を第2図に基づ
いて説明する。 導電式粒子検出装置7から増幅された種々の
波形の粒子パルスが入力端子aを介して微分回
路31および移相補正回路39に入力される。 その入力信号の波形が第2図のaに例示され
ている。すなわち、第7図のロ,イ,ハに相当
する波形がこの順に示されている。 微分回路31は、適正な時定数を持つ信号の
変化率に比例する信号を得るための回路であ
り、第2図の入力波形aの勾配係数値に対応す
る出力が信号線bに得られ微分波形bが得られ
る。 ACL回路32は、前縁コンパレータ33、
後縁コンパレータ34の比較電圧を供給する回
路であつて、入力信号の大・小変化に応じて比
較電圧が大・小に変化する。 なお、無信号時は、バイアス直流電圧が供給
されるようになつている。 前縁コンパレータ33にACL回路32の出
力電圧を正電圧で印加する(第2図bのE1参
照)のに対し、後縁コンパレータ34には反転
させて負電圧を印加し(第2図bのE2参照)、
微分回路31の出力を同様に印加する。 前縁コンパレータ33は、微分回路31の出
力波形がレベル電圧を正側に越える時に出力パ
ルスを発生する(第2図c参照)。 後縁コンパレータ34は、微分回路31の出
力波形がレベル電圧を負側に越える時に出力パ
ルスを発生する(第2d参照)。 Tnセンターパルス回路42は、前縁コンパ
レータ33の出力の立ち下がりで立ち上がり、
後縁コンパレータ34の出力立ち上がりで立ち
下がるパルスを発生する(第2図e参照)。 ゼロクロスコンパレータ35は、比較電圧を
ほぼゼロ電圧として、僅かに0を越えると出力
パルスを発生する(第2図f参照)。 ゼロクロスコンパレータ35の出力とTnセ
ンターパルス回路42の出力をアンド回路36
に入力すると、アンド回路36がワンシヨツト
回路37にパルスを出力する(第2図g参照)。 このパルスによつてワンシヨツト回路37
は、サンプルホールド回路40のトリガ端子に
対してホールドスタートトリガ信号を出力する
(第2図h参照)。 サンプルホールド回路40は、ホールドスタ
ートトリガ信号の入力によつて、移相補正回路
39からの入力信号を、その時点でホールドす
る(第2図j参照)。 一方、後縁コンパレータ34の出力がコンバ
ートスタートパルス回路38に入力され、コン
バートスタートパルス回路38は、後縁パルス
の立ち上がりによつてコンバートスタートパル
スを波高値A/D変換回路41に出力する(第
2図i参照)。 波高値A/D変換回路41は、コンバートス
タートパルスによつて、でホールドしていた
信号波高値をA/D変換し、粒度記録装置9に
出力する。 つぎに、微分信号をコンパレータで電圧比較し
た場合、波形歪み、信号レベル変動に影響される
ことなく、安定したパルス出力を得るための手段
を検討する。第4図に前縁パルスと後縁パルスの
特性を示す。図の左側は正常波形、右側は異常波
形を示す。Aは入力波形、Bは微分波形、Cは前
縁パルス、Dは後縁パルスを示す。血球信号を微
分すると、歪み部分が強調される。そのため、図
Bのように一定のコンパレータ電圧にすると、歪
み部分にかかるとともに、入力信号の大小によ
り、パルス幅が変動してしまう。 この2つの問題を解決するために、つぎの2つ
の方法が考えられる。 (1) 微分信号の半値幅を自動的にピツクアツプす
る。 (2) コンパレータの比較電圧を入力レベルに応じ
て動かす。 第5図の回路は、の方法を採用したものであ
る。 第5図において、33は前縁コンパレータ、
C1はコンデンサ、R1,R2,R3は抵抗、VCは直流
電源である。コンデンサC1と抵抗R1とが微分回
路31を構成してる。32aはACL回路32の
正側部分である。 無信号時には前縁コンパレータ33の入力端子
に比較電圧VCが印加されている。入力信号があ
ると、R3/(R2+R3)に低減されて比較電圧VC
に加算さ、前縁コンパレータ33の(−)入力端
子に印加される。この時(+)入力端子には、
C1,R1の時定数で微分された図Cの微分信号が
印加され、コンパレータ比較電圧が入力信号(破
線)に同期している。 この回路の波形を第6図に示す。Aは入力波
形、Bは微分波形で破線はコンパレータ電圧を示
す。Cはコンパレータ出力波形である。 この回路の特徴は、微分波形中間部の影響を受
けにくいこと、および信号レベル変動に伴つて比
較電圧も追従的に変化するため、パルス幅の変動
を抑制することができるということである。 以上の構成により、微分回路31の出力の中間
部の低いレベルの歪みの影響が、ゼロクロスコン
パレータ35、前縁コンパレータ33および後縁
コンパレータ34に対して派及することが抑制さ
れ、粒子分析の精度が向上するとともに、回路構
成が特願昭59−115331号に開示の発明に比べて簡
単になる。 また、後縁パルス出力の確実性が増大し、コン
バートスタートパルスとして現実に使用すること
ができるようになり、正規パルスレベル以外のパ
ルスでもサンプルホールドが可能となる。このた
め、より簡素な論理を使用することができ、回路
構成を一層簡素化でき、精度も向上する。 したがつて、シース機構を使用しないで、従来
の検出機構に処理回路を付加するだけで、正確な
粒度分布信号を得ることも可能となる。
づいて説明する。第1図は粒子分析装置の主要部
である波形処理装置のブロツクを、第2図はそれ
の動作を示す各部の波形を、第3図は粒子分析装
置の全体構成を概念図である。 第3図において、導電式粒子検出装置7は、試
料容器1、粒子懸濁試料2、細孔3を有する検出
器(絶縁壁)4と電極5,6を備え、試料2を流
動定量する流体制御部と、電極5,6に電位差を
与え、検出パルスを発生させ増幅する検出部から
なる。 波形処理装置8はこの発明の主要部をなすもの
であり、第1図がそのブロツク構成図を示す。波
形処理装置8は、微分回路31、ACl回路
(Automatic Comparater Level回路)32、絶
縁コンパレータ33、後縁コンパレータ34、ゼ
ロクロスコンパレータ35、アンド回路36、ワ
ンシヨツト回路37、コンバートスタートパルス
回路38、移相補正回路39、サンプルホールド
回路40、波高値A/D変換回路41ならびに
Tnセンターパルス回路42からなる。 aは導電式粒子検出装置7から微分回路31お
よび移相補正回路39に入力される入力端子線で
ある。 微分回路31が、発明の構成にいう「微分手
段」の一例である。 前縁コンパレータ33、後縁コンパレータ34
およびTnセンターパルス回路42が、発明の構
成にいう「弁別手段」の一例である。 ゼロクロスコンパレータ35が、発明の構成に
いう「0レベル検出手段」の一例である。 ACL回路32が、発明の構成にいう「所定閾
可変手段」の一例である。 サンプルホールド回路40が、発明の構成にい
う「信号レベルホールド手段」の一例である。 波高値A/D変換回路41が、発明の構成にい
う「A/D変換手段」の一例である。 微分回路31の出力端子は、前縁コンパレータ
33、後縁コンパレータ34およびゼロクロスコ
ンパレータ35の入力端子に接続されている。前
縁コンパレータ33と後縁コンパレータ34の出
力端間にTnセンターパルス回路42が接続され、
Tnセンターパルス回路42の出力端子とゼロク
ロスコンパレータ35の出力端子とがアンド回路
36の入力端子に接続されている。 そして、アンド回路36の出力端子がワンシヨ
ツト回路37の入力端子に接続され、ワンシヨツ
ト回路37の出力端子が、サンプルホールド回路
40のトリガ端子に接続されている。ワンシヨツ
ト回路37は、サンプルホールド回路40に対す
るトリガパルスを発生させるものである。 移相補正回路39の出力端子はサンプルホール
ド回路40の入力端子に接続され、サンプルホー
ルド回路40の出力端子は波高値A/D変換回路
41の入力端子に接続されている。サンプルホー
ルド回路40の出力端子は波高値A/D変換回路
41の入力端子に接続されている。サンプルホー
ルド回路40は、ワンシヨツト回路37の出力に
よつてトリガされたとき、波高値A/D変換回路
41に出力する。波高値A/D変換回路41から
は第3図の粒度記録装置9に出力される。 後縁コンパレータ34の出力端子はコンバート
スタートパルス回路38の入力端子に接続され、
コンバートスタートパルス回路38の出力端子は
波高値A/D変換回路41のトリガ端子に接続さ
れている。コンバートスタートパルス回路38が
発生したトリガパルスは、波高値A/D変換回路
41に入力される。 つぎに、波形処理装置8の動作を第2図に基づ
いて説明する。 導電式粒子検出装置7から増幅された種々の
波形の粒子パルスが入力端子aを介して微分回
路31および移相補正回路39に入力される。 その入力信号の波形が第2図のaに例示され
ている。すなわち、第7図のロ,イ,ハに相当
する波形がこの順に示されている。 微分回路31は、適正な時定数を持つ信号の
変化率に比例する信号を得るための回路であ
り、第2図の入力波形aの勾配係数値に対応す
る出力が信号線bに得られ微分波形bが得られ
る。 ACL回路32は、前縁コンパレータ33、
後縁コンパレータ34の比較電圧を供給する回
路であつて、入力信号の大・小変化に応じて比
較電圧が大・小に変化する。 なお、無信号時は、バイアス直流電圧が供給
されるようになつている。 前縁コンパレータ33にACL回路32の出
力電圧を正電圧で印加する(第2図bのE1参
照)のに対し、後縁コンパレータ34には反転
させて負電圧を印加し(第2図bのE2参照)、
微分回路31の出力を同様に印加する。 前縁コンパレータ33は、微分回路31の出
力波形がレベル電圧を正側に越える時に出力パ
ルスを発生する(第2図c参照)。 後縁コンパレータ34は、微分回路31の出
力波形がレベル電圧を負側に越える時に出力パ
ルスを発生する(第2d参照)。 Tnセンターパルス回路42は、前縁コンパ
レータ33の出力の立ち下がりで立ち上がり、
後縁コンパレータ34の出力立ち上がりで立ち
下がるパルスを発生する(第2図e参照)。 ゼロクロスコンパレータ35は、比較電圧を
ほぼゼロ電圧として、僅かに0を越えると出力
パルスを発生する(第2図f参照)。 ゼロクロスコンパレータ35の出力とTnセ
ンターパルス回路42の出力をアンド回路36
に入力すると、アンド回路36がワンシヨツト
回路37にパルスを出力する(第2図g参照)。 このパルスによつてワンシヨツト回路37
は、サンプルホールド回路40のトリガ端子に
対してホールドスタートトリガ信号を出力する
(第2図h参照)。 サンプルホールド回路40は、ホールドスタ
ートトリガ信号の入力によつて、移相補正回路
39からの入力信号を、その時点でホールドす
る(第2図j参照)。 一方、後縁コンパレータ34の出力がコンバ
ートスタートパルス回路38に入力され、コン
バートスタートパルス回路38は、後縁パルス
の立ち上がりによつてコンバートスタートパル
スを波高値A/D変換回路41に出力する(第
2図i参照)。 波高値A/D変換回路41は、コンバートス
タートパルスによつて、でホールドしていた
信号波高値をA/D変換し、粒度記録装置9に
出力する。 つぎに、微分信号をコンパレータで電圧比較し
た場合、波形歪み、信号レベル変動に影響される
ことなく、安定したパルス出力を得るための手段
を検討する。第4図に前縁パルスと後縁パルスの
特性を示す。図の左側は正常波形、右側は異常波
形を示す。Aは入力波形、Bは微分波形、Cは前
縁パルス、Dは後縁パルスを示す。血球信号を微
分すると、歪み部分が強調される。そのため、図
Bのように一定のコンパレータ電圧にすると、歪
み部分にかかるとともに、入力信号の大小によ
り、パルス幅が変動してしまう。 この2つの問題を解決するために、つぎの2つ
の方法が考えられる。 (1) 微分信号の半値幅を自動的にピツクアツプす
る。 (2) コンパレータの比較電圧を入力レベルに応じ
て動かす。 第5図の回路は、の方法を採用したものであ
る。 第5図において、33は前縁コンパレータ、
C1はコンデンサ、R1,R2,R3は抵抗、VCは直流
電源である。コンデンサC1と抵抗R1とが微分回
路31を構成してる。32aはACL回路32の
正側部分である。 無信号時には前縁コンパレータ33の入力端子
に比較電圧VCが印加されている。入力信号があ
ると、R3/(R2+R3)に低減されて比較電圧VC
に加算さ、前縁コンパレータ33の(−)入力端
子に印加される。この時(+)入力端子には、
C1,R1の時定数で微分された図Cの微分信号が
印加され、コンパレータ比較電圧が入力信号(破
線)に同期している。 この回路の波形を第6図に示す。Aは入力波
形、Bは微分波形で破線はコンパレータ電圧を示
す。Cはコンパレータ出力波形である。 この回路の特徴は、微分波形中間部の影響を受
けにくいこと、および信号レベル変動に伴つて比
較電圧も追従的に変化するため、パルス幅の変動
を抑制することができるということである。 以上の構成により、微分回路31の出力の中間
部の低いレベルの歪みの影響が、ゼロクロスコン
パレータ35、前縁コンパレータ33および後縁
コンパレータ34に対して派及することが抑制さ
れ、粒子分析の精度が向上するとともに、回路構
成が特願昭59−115331号に開示の発明に比べて簡
単になる。 また、後縁パルス出力の確実性が増大し、コン
バートスタートパルスとして現実に使用すること
ができるようになり、正規パルスレベル以外のパ
ルスでもサンプルホールドが可能となる。このた
め、より簡素な論理を使用することができ、回路
構成を一層簡素化でき、精度も向上する。 したがつて、シース機構を使用しないで、従来
の検出機構に処理回路を付加するだけで、正確な
粒度分布信号を得ることも可能となる。
この発明によれば、特願昭59−115331号に開示
のものに比べて、回路構成をより簡単化すること
ができるとともに、分析精度をより向上すること
ができるという効果がある。
のものに比べて、回路構成をより簡単化すること
ができるとともに、分析精度をより向上すること
ができるという効果がある。
第1図はこの発明の一実施例の粒子分析装置の
主要部である波形処理装置のブロツクを、第2図
はそれの動作を示す各部の波形を、第3図は粒子
分析装置の全体構成の概念図、第4図に前縁パル
スと後縁パルスの特性を示す特性図、第5図は前
縁コンパレータ回路まわりの回路図、第6図は改
善された特性図、第7図は従来例の主要部の断面
図、第8図はその波形図である。 31……微分回路(微分手段)、32……ACL
回路(所定閾可変手段)、33……前縁コンパレ
ータ、34……後縁コンパレータ、42……Tn
センターパルス回路、33,34,42……弁別
手段、35……ゼロクロスコンパレータ(0レベ
ル検出手段)、40……サンプルホールド回路
(信号レベルホールド手段)、41……波高値A/
D変換回路(A/D変換手段)。
主要部である波形処理装置のブロツクを、第2図
はそれの動作を示す各部の波形を、第3図は粒子
分析装置の全体構成の概念図、第4図に前縁パル
スと後縁パルスの特性を示す特性図、第5図は前
縁コンパレータ回路まわりの回路図、第6図は改
善された特性図、第7図は従来例の主要部の断面
図、第8図はその波形図である。 31……微分回路(微分手段)、32……ACL
回路(所定閾可変手段)、33……前縁コンパレ
ータ、34……後縁コンパレータ、42……Tn
センターパルス回路、33,34,42……弁別
手段、35……ゼロクロスコンパレータ(0レベ
ル検出手段)、40……サンプルホールド回路
(信号レベルホールド手段)、41……波高値A/
D変換回路(A/D変換手段)。
Claims (1)
- 1 細孔における粒子通過に伴う電気量発生手段
と、この発生電気量の微分手段と、前記微分手段
の出力波形が0レベル近くの正、負レベル間の所
定閾外にあるときパルスを発生する弁別手段と、
前記所定閾を入力信号の大・小変化に応じて大・
小変化する所定閾可変手段と、前記微分手段の出
力波形が0レベルにある時点を検出する0レベル
検出手段と、前記弁別手段の出力信号および前記
0レベル検出手段の出力信号によつて前記発生電
気量の信号レベルをホールドする信号レベルホー
ルド手段と、前記弁別手段の出力信号により前記
信号レベルホールド手段の出力信号をA/D変換
するA/D変換手段とを備えた粒子分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015974A JPS61173133A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 粒子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015974A JPS61173133A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 粒子分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61173133A JPS61173133A (ja) | 1986-08-04 |
| JPH0479531B2 true JPH0479531B2 (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=11903674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60015974A Granted JPS61173133A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 粒子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61173133A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0408216A3 (en) * | 1989-07-11 | 1991-09-18 | Hitachi, Ltd. | Method for processing wafers and producing semiconductor devices and apparatus for producing the same |
| JP2845773B2 (ja) * | 1995-04-27 | 1999-01-13 | 山形日本電気株式会社 | 常圧cvd装置 |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP60015974A patent/JPS61173133A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61173133A (ja) | 1986-08-04 |
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