JPH0480001A - Slurry supply method - Google Patents

Slurry supply method

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JPH0480001A
JPH0480001A JP19310890A JP19310890A JPH0480001A JP H0480001 A JPH0480001 A JP H0480001A JP 19310890 A JP19310890 A JP 19310890A JP 19310890 A JP19310890 A JP 19310890A JP H0480001 A JPH0480001 A JP H0480001A
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JP
Japan
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slurry
dam
supply pipe
green sheet
thickness
Prior art date
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Pending
Application number
JP19310890A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichiro Abe
健一郎 阿部
Shoichi Hattori
正一 服部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE:To keep the thickness of a green sheet constant by detecting the fluctuation of the liquid surface of the slurry in a slurry dam to simultaneously increase and decrease the feed pressure of the slurry and the thickness of a slurry supply pipe. CONSTITUTION:The slurry 2 received in a slurry tank 1 is pressurized by nitrogen gas 3 to be fed to a slurry dam 5 under pressure through a slurry supply pipe 11 and a definite amount of the slurry is accumulated to be molded into a green sheet through a doctor blade 6 and a back roll 7. At this time, a silicone tube is used as the slurry supply pipe 11 and an air actuator 12 is provided to the almost intermediate part of the pipe 11 and a partition member 13 is provided in the slurry dam 5. The liquid surface of the slurry in the slurry dam 5 is detected by a liquid surface sensor 10 and a valve controller 20 controls the air actuator 12 and the pressure of the nitrogen gas 3 and also controls the slurry supply pipe to prevent the fluctuation of the thickness of the green sheet.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要ニ スラリ−供給方法に係り、特にドクターブレード法によ
りフィルム上にグリーンシートを成形する際に用いるス
ラリーダムへのスラリーの供給方法に関し、 グリーンシートの望ましくない板厚変動を低減すること
を目的とし、 スラリーが収容されたスラリー容器内に圧力ガスを供給
して、該スラリーをドクターブレード近傍に配置された
スラリーダムに搬送するスラリー供給方法において、前
記スラリーダム内のスラリー液面を探知して、その信号
を用いて前記圧力ガスのスラリー容器内への供給をコン
トロールするとともに、前記スラリー容器とスラリーダ
ム間に配置されたスラリー供給管の少なくとも1箇所で
該スラリー供給管のサイズを増加あるいは減少せしめる
ことを構成とする。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a slurry supply method, particularly regarding a method of supplying slurry to a slurry dam used when forming a green sheet on a film by the doctor blade method, undesirable plate thickness of the green sheet In a slurry supply method for the purpose of reducing fluctuations, a pressure gas is supplied into a slurry container containing slurry to convey the slurry to a slurry dam disposed near a doctor blade. The slurry liquid level is detected and the signal is used to control the supply of the pressure gas into the slurry container, and the slurry is supplied at at least one point of the slurry supply pipe arranged between the slurry container and the slurry dam. The configuration includes increasing or decreasing the size of the tube.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明はスラリー供給方法に係り、特にドクターブレー
ド法によりフィルム上にグリーンシートを成形する際に
用いるスラリーダムへのスラIJ−の供給方法に関する
ものである。
The present invention relates to a slurry supply method, and particularly to a method for supplying slurry IJ- to a slurry dam used when forming a green sheet on a film by a doctor blade method.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ガラスセラミック等から多層セラミック基板を製造する
前段階で例えばアルミナとガラスをボールミルで整粒し
、混練した後、脱泡結論工程を経てグリーンシートに成
形する。
Before manufacturing a multilayer ceramic substrate from glass ceramic or the like, for example, alumina and glass are sized in a ball mill, kneaded, and then formed into a green sheet through a defoaming process.

上記グリーンシート成形工程は第2図に示す方法で行わ
れる。
The above-mentioned green sheet forming process is performed by the method shown in FIG.

すなわちスラリータンク1内に収容されたスラリー2を
窒素ガス3により圧してスラリー供給管4を介してスラ
リーダム5へ圧送し、スラリーを一定量を蓄積してドク
ターブレード6とバックロール7を介してフィルム(図
示せず)上に被着させグリーンシートを成形する。
That is, the slurry 2 contained in the slurry tank 1 is pressurized with nitrogen gas 3 and sent to the slurry dam 5 through the slurry supply pipe 4, and a certain amount of slurry is accumulated and then passed through the doctor blade 6 and back roll 7. A green sheet is formed by depositing it on a film (not shown).

ドクターブレードを介して形成されるグリーンシートは
厚さを一定にコントロールする必要がある。
The thickness of the green sheet formed using the doctor blade must be controlled to be constant.

従来その厚さをコントロールするため、スラリーダム5
内に蓄積されるスラリー2の液面レベルを液面センサー
10で探知し、その信号をスラリータンク1への窒素ガ
スの供給圧力にフィードバックしスラリーのスラリーダ
ムへの供給をコントロールしていた。
Conventionally, in order to control the thickness, slurry dam 5
The liquid level of the slurry 2 accumulated in the slurry dam was detected by a liquid level sensor 10, and the signal was fed back to the supply pressure of nitrogen gas to the slurry tank 1 to control the supply of slurry to the slurry dam.

〔発明が解決しようとする課題: 上記従来のスラリー液面コントロール方式では単にオン
−オフ制御のだと急激な供給停止信号の場合に、圧気メ
モリー(スラリータンク内で残存している圧力)効果に
よりスラリー供給のオーバーンニート (過剰供給)が
あり、グリーンシートの板厚に悪い影響を与えていた。
[Problem to be solved by the invention: If the conventional slurry level control method described above is simply on-off control, in the case of a sudden supply stop signal, the pressure memory (pressure remaining in the slurry tank) There was auburn neat (excess supply) in the slurry supply, which had a negative effect on the thickness of the green sheet.

本発明はグリーンシートの望ましくない板厚変動を低減
することを目的とする。
The present invention aims to reduce undesirable thickness variations of green sheets.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記課題は、本発明によればスラリーが収容されたスラ
リー容器内に圧力ガスを供給して、該スラリーをドクタ
ーブレード近傍に配置されたスラリーダムに搬送するス
ラリー供給方法において、前記スラリーダム内のスラリ
ー液面を探知して、その信号を用いて前記圧力ガスのス
ラリー容器内への供給をコントロールするとともに、前
記スラリー容器とスラリーダム間に配置されたスラリー
供給管の少なくとも1箇所で該スラリー供給管のサイズ
を増加あるいは減少せしめることを特徴とするスラリー
供給方法によって解決される。
According to the present invention, in a slurry supply method in which pressure gas is supplied into a slurry container containing slurry and the slurry is conveyed to a slurry dam disposed near a doctor blade, the slurry inside the slurry dam is The slurry liquid level is detected and the signal is used to control the supply of the pressure gas into the slurry container, and the slurry is supplied at at least one point of the slurry supply pipe arranged between the slurry container and the slurry dam. The problem is solved by a slurry supply method characterized by increasing or decreasing the size of the tube.

〔作 用〕[For production]

本発明によればスラリーダム内のスラリー液面の変動を
探知しスラリー圧送圧力と、スラリー容器(スラリータ
ンク)とスラリーダム間に配置されたスラリー供給管の
サイズ(太さ)を同時に増減できるのでスラリーダムか
らドクターブレードを介して得られるグリーンシートの
厚さを一定に保持することが出来る。
According to the present invention, fluctuations in the slurry liquid level in the slurry dam can be detected and the slurry pumping pressure and the size (thickness) of the slurry supply pipe placed between the slurry container (slurry tank) and the slurry dam can be increased or decreased at the same time. The thickness of the green sheet obtained from the slurry dam via the doctor blade can be kept constant.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.

第1図は、本発明の詳細な説明するための一実施例を示
す模式断面図であり、従来法の第2図に示した同一の要
素と同一のものは同一符号で示す。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment for explaining the present invention in detail, and the same elements as those shown in FIG. 2 of the conventional method are designated by the same reference numerals.

第1図において従来法の第2図と異なる点は、スラリー
供給管4の代わりにシリコンチューブ11になり、該チ
ューブ11のはソ゛中間にエアーアクチュエーター12
が設けられ、スラリーダム5内にアルミニウムあるいは
ステンレスからなる仕切り部材13が設けられている。
The difference in FIG. 1 from the conventional method shown in FIG. 2 is that a silicon tube 11 is used instead of the slurry supply pipe 4, and the tube 11 has an air actuator 12 in the middle.
A partition member 13 made of aluminum or stainless steel is provided inside the slurry dam 5.

゛この仕切り部材13によりスラリーダムが2段構造と
なる。
``This partition member 13 makes the slurry dam have a two-tiered structure.

本実施例ではグリーンシートの幅(スラリーダムの幅)
が450m+!lを用い、スラリーダムの一段目の長さ
を5Qmm、2段目の長さを150mmとし、スラリー
液面の高さを1段目50mm、2段目20mmとした。
In this example, the width of the green sheet (width of the slurry dam)
is 450m+! 1, the length of the first stage of the slurry dam was 5 Q mm, the length of the second stage was 150 mm, and the height of the slurry liquid level was 50 mm at the first stage and 20 mm at the second stage.

圧気(窒素ガス)3は作業中1kg/crlの圧力に保
持されスラリー(セラミック、樹脂、溶剤等からなる)
を圧送する。シリコンチューブ11の長さは約3mm太
さは内径8I!1mとした。従来と同じ液面センサー1
0で第1段目のスラリー液面を探知し、バルブコントロ
ーラー20を介してエアーアクチュエーター12と窒素
ガス3の圧力をコントロールしスラリー供給量をコント
ロールしてグリーンシ一ト成形における板厚変動を防止
した。
Pressurized air (nitrogen gas) 3 is maintained at a pressure of 1 kg/crl during work, and the slurry (consisting of ceramic, resin, solvent, etc.)
to be pumped. The length of the silicone tube 11 is approximately 3mm and the inner diameter is 8I! It was set to 1m. Same liquid level sensor 1 as before
0 to detect the slurry liquid level in the first stage and control the pressure of the air actuator 12 and nitrogen gas 3 via the valve controller 20 to control the slurry supply amount and prevent plate thickness fluctuation in green sheet forming. did.

なお、本実施例では仕切り部材13を好ましく用いてい
るが、用いなくとも可能である。
Note that although the partition member 13 is preferably used in this embodiment, it is also possible to omit it.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明した様に本発明によれば、スラリーダム内のス
ラリー液面をより精度よくコントロール出来るのでグリ
ーンシート成形時、グリーンシートの板厚の変動を低減
できる。
As explained above, according to the present invention, it is possible to control the slurry liquid level in the slurry dam with higher precision, so that fluctuations in the thickness of the green sheet can be reduced when forming the green sheet.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の詳細な説明するための一実施例を示
す概略断面図であり、 第2図は従来法を説明するための概略断面図である。 ■・・・スラリータンク、2・・・スラリー3・・・圧
気(窒素ガス)、 4・・・スラリー供給管、 5・・・スラリーダム、  6・・・ドクターブレード
、7・・・バックローノへ 10・・・液面センサー1
1・・・シリコンチューブ、 12・・・エアーアクチュエーター 13・・・仕切り部材、 20・・・バルブコントローラー
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment for explaining the present invention in detail, and FIG. 2 is a schematic sectional view showing a conventional method. ■...Slurry tank, 2...Slurry 3...Pressure air (nitrogen gas), 4...Slurry supply pipe, 5...Slurry dam, 6...Doctor blade, 7...To back rono 10...Liquid level sensor 1
1... Silicon tube, 12... Air actuator 13... Partition member, 20... Valve controller

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、スラリーが収容されたスラリー容器内に圧力ガスを
供給して、該スラリーをドクターブレード近傍に配置さ
れたスラリーダムに搬送するスラリー供給方法において
、 前記スラリーダム内のスラリー液面を探知して、その信
号を用いて前記圧力ガスのスラリー容器内への供給をコ
ントロールするとともに、前記スラリー容器とスラリー
ダム間に配置されたスラリー供給管の少なくとも1箇所
で該スラリー供給管のサイズを増加あるいは減少せしめ
ることを特徴とするスラリー供給方法。
[Scope of Claims] 1. A slurry supply method in which pressure gas is supplied into a slurry container containing slurry to convey the slurry to a slurry dam disposed near a doctor blade, comprising: The liquid level is detected and the signal is used to control the supply of the pressure gas into the slurry container, and at least one part of the slurry supply pipe arranged between the slurry container and the slurry dam is connected to the slurry supply pipe. A slurry supply method characterized by increasing or decreasing the size of a slurry.
JP19310890A 1990-07-23 1990-07-23 Slurry supply method Pending JPH0480001A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN120984155A (en) * 2025-10-23 2025-11-21 四川力信水处理设备有限公司 A multi-point positive pressure dosing system for chlorine dioxide

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JPS60168604A (en) * 1984-02-13 1985-09-02 富士通株式会社 Method of molding green sheet
JPS62161510A (en) * 1986-01-13 1987-07-17 三菱電機株式会社 Manufacture of ceramic green sheet

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