JPH0480941A - 基板の位置決め方法 - Google Patents
基板の位置決め方法Info
- Publication number
- JPH0480941A JPH0480941A JP2195235A JP19523590A JPH0480941A JP H0480941 A JPH0480941 A JP H0480941A JP 2195235 A JP2195235 A JP 2195235A JP 19523590 A JP19523590 A JP 19523590A JP H0480941 A JPH0480941 A JP H0480941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- piezoelectric element
- elements
- displace
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はフォトダイオードアレイ（以下、ＰＤＡと略す
）等の素子が形成された基板を位置決めする方法に関す
るものである。
）等の素子が形成された基板を位置決めする方法に関す
るものである。
〈従来の技術〉
光学式エンコーダでは、ＰＤＡが形成された基板の取付
は位置精度が検出信号のリップルに大きく影響する。
は位置精度が検出信号のリップルに大きく影響する。
従来は、ＰＤＡが形成された基板の位置決めはＸＹステ
ージ等のメカ的な装置を用いて行っていた。
ージ等のメカ的な装置を用いて行っていた。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかし、ＸＹステージでは、数μｍ程度の微調整は難し
いという問題点があった。また、ステージが大きいもの
であるため、扱いにくいという問照点もあった。
いという問題点があった。また、ステージが大きいもの
であるため、扱いにくいという問照点もあった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、コンパクトな装置で基板を高精度で位置決め
できる方法を実現することを目的とする。
のであり、コンパクトな装置で基板を高精度で位置決め
できる方法を実現することを目的とする。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、
長方形の基板を目標位置に位置決めする基板の位置決め
方法において、 印加電圧に比例して変位する圧電素子を長方形の基板の
各辺に当接させ、この圧電素子は、長方形の互いに向か
い合う一対の辺のうち、一方の辺には第１の圧電素子を
他方の辺には第２及び第３の圧電素子を配置し、互いに
向かい合う他の一対の辺のうち、一方の辺には第４の圧
電素子を、他方の辺には第５の圧電素子を配置し、次の
工程で基板を位置決めする基板の位置決め方法である。
方法において、 印加電圧に比例して変位する圧電素子を長方形の基板の
各辺に当接させ、この圧電素子は、長方形の互いに向か
い合う一対の辺のうち、一方の辺には第１の圧電素子を
他方の辺には第２及び第３の圧電素子を配置し、互いに
向かい合う他の一対の辺のうち、一方の辺には第４の圧
電素子を、他方の辺には第５の圧電素子を配置し、次の
工程で基板を位置決めする基板の位置決め方法である。
■前記第１の圧電素子を変位させず、前記第２の圧電素
子と第３の圧電素子を互いに逆方向に変位させて基板の
傾斜を調整する工程。
子と第３の圧電素子を互いに逆方向に変位させて基板の
傾斜を調整する工程。
■前記第２の圧電素子と第３の圧電素子を同方向に同量
変位させ、前記第１の圧電素子を第２の圧電素子及び第
３の圧電素子に対して逆方向に同量変位させて基板のＹ
軸方向の位置を調整する工程。
変位させ、前記第１の圧電素子を第２の圧電素子及び第
３の圧電素子に対して逆方向に同量変位させて基板のＹ
軸方向の位置を調整する工程。
■前記第４の圧電素子と第５の圧電素子を互いに逆方向
に同量だけ変位させて基板のＸ軸方向の位置を調整する
工程。
に同量だけ変位させて基板のＸ軸方向の位置を調整する
工程。
く作用〉
このような本発明では、長方形の基板の３辺には圧電素
子を１個ずつ当接させ、残りの１辺には２個の圧電素子
を当接させ、１辺に２個当接させた圧電素子を互いに逆
方向に変位させて基板の姿勢を調整する。また、互いに
向かい合う辺に配置された圧電素子どうしは逆方向に変
位させて、基板のＸ軸方向とＹ軸方向の位置を調整する
。これによって基板を位置決めする。
子を１個ずつ当接させ、残りの１辺には２個の圧電素子
を当接させ、１辺に２個当接させた圧電素子を互いに逆
方向に変位させて基板の姿勢を調整する。また、互いに
向かい合う辺に配置された圧電素子どうしは逆方向に変
位させて、基板のＸ軸方向とＹ軸方向の位置を調整する
。これによって基板を位置決めする。
〈実施例〉
以下、図面を用いて本発明を説明する。
第１図は本発明にかかる方法を実線するための装置の構
成例を示した図である。第１図で、＜ａ）は装置の平面
図、（ｂ）は（ａ）図のＡ−Ａ部分の断面図である。
成例を示した図である。第１図で、＜ａ）は装置の平面
図、（ｂ）は（ａ）図のＡ−Ａ部分の断面図である。
これらの図において、１は位置決め対象となる基板であ
り、ここでは長方形のものである。２は基板１上に形成
されたＰＤＡ、である。ＰＤＡ２の各辺には基板を位置
決めする際の目印となるマク２１〜２４が付いている０
位置決めするときにはこれらのマークを顕微鏡でモニタ
し、顕微鏡のモニタ画面につけられた士印のカーソルと
マークが重なるように基板を位置合わせする。
り、ここでは長方形のものである。２は基板１上に形成
されたＰＤＡ、である。ＰＤＡ２の各辺には基板を位置
決めする際の目印となるマク２１〜２４が付いている０
位置決めするときにはこれらのマークを顕微鏡でモニタ
し、顕微鏡のモニタ画面につけられた士印のカーソルと
マークが重なるように基板を位置合わせする。
３は基板１が位置決めして固定される固定部材である。
４は長方形の枠の形になった固定具であり、図示しない
別の固定手段によって位！が固定されている。
別の固定手段によって位！が固定されている。
５１〜５５は固定具４の内側に取付けられていて、先端
が枠の内側を向いている圧電素子である。
が枠の内側を向いている圧電素子である。
粋の内側の４辺のうち、３辺には圧電素子が１個ずつ取
付けられ、１辺には２個の圧電素子が取付けられている
。これらの圧電素子は、印加電圧に比例して変位するも
のであり、印加電圧を調整することにより任意に変位を
変えることができる。
付けられ、１辺には２個の圧電素子が取付けられている
。これらの圧電素子は、印加電圧に比例して変位するも
のであり、印加電圧を調整することにより任意に変位を
変えることができる。
このような装置を用いて次の手順で基板を位置決めする
。
。
第２図は動作説明図である。第２図で第１図と同一のも
のは同一符号を付ける。
のは同一符号を付ける。
まず、圧電素子５１に電圧を印加し、基板１を圧電素子
５２と５３に当たるまで動かす、当たつことは、圧電素
子の電圧は変位に比例しているため、圧電素子５２と５
３の電圧をモニタしておけば、電圧が変化したところで
当たったことを検知できる。
５２と５３に当たるまで動かす、当たつことは、圧電素
子の電圧は変位に比例しているため、圧電素子５２と５
３の電圧をモニタしておけば、電圧が変化したところで
当たったことを検知できる。
ここで、圧電素子５２と５３を互いに逆方向に変位させ
、基板１の傾斜すなわち角度θを調整する。
、基板１の傾斜すなわち角度θを調整する。
次に、圧電素子５２と５３を同方向に同量だけ変位させ
るとともに、圧電素子５１を圧電素子５２及び５３とは
逆方向に同量だけ変位させて基板のＹ軸方向の位置を調
整する。
るとともに、圧電素子５１を圧電素子５２及び５３とは
逆方向に同量だけ変位させて基板のＹ軸方向の位置を調
整する。
さらに、圧電素子５４と５５を変位させて基板１に当て
、当たったところで、圧電素子５４と５５を互いに逆方
向に同量だけ変化させて基板のＸ方向の位置を調整する
。
、当たったところで、圧電素子５４と５５を互いに逆方
向に同量だけ変化させて基板のＸ方向の位置を調整する
。
このような調整を行っている間は顕微鏡でマク２１〜２
４の位置をモニタし、マークと顕微鏡のカーソルが重な
ったところで調整を終了する。
４の位置をモニタし、マークと顕微鏡のカーソルが重な
ったところで調整を終了する。
く効果〉
本発明によれば、微少変位が可能な圧電素子を用いて基
板を位置決めしているため、高精度な位置決めが可能に
なる。また、位置決めは、基板のＸ軸方向の位置、Ｙ軸
方向の位置及び傾斜について行なわれるため、決め細か
な位置決めが可能になる。さらに、圧電素子自体は小さ
いものであるため、装置がコンパクトになる。
板を位置決めしているため、高精度な位置決めが可能に
なる。また、位置決めは、基板のＸ軸方向の位置、Ｙ軸
方向の位置及び傾斜について行なわれるため、決め細か
な位置決めが可能になる。さらに、圧電素子自体は小さ
いものであるため、装置がコンパクトになる。
光学式エンコーダでは符号板に形成されたスリットの寸
法は小さく、ＰＤＡの基板は高精度で位置決めされるこ
とが要求されているため、本発明にかかる方法はこのよ
うな用途に対して特に有効である。
法は小さく、ＰＤＡの基板は高精度で位置決めされるこ
とが要求されているため、本発明にかかる方法はこのよ
うな用途に対して特に有効である。
第１図は本発明を実施するための装置の構成例を示した
図、第２図は第１図の装置の動作説明図である。 １・・・基板、２・・・ＰＤＡ、３・・・固定部材、４
・・・固定具、５１〜５５・・・圧電素子。 ＼ミー／ ×
図、第２図は第１図の装置の動作説明図である。 １・・・基板、２・・・ＰＤＡ、３・・・固定部材、４
・・・固定具、５１〜５５・・・圧電素子。 ＼ミー／ ×
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 長方形の基板を目標位置に位置決めする基板の位置決
め方法において、 印加電圧に比例して変位する圧電素子を長方形の基板の
各辺に当接させ、この圧電素子は、長方形の互いに向か
い合う一対の辺のうち、一方の辺には第１の圧電素子を
他方の辺には第２及び第３の圧電素子を配置し、互いに
向かい合う他の一対の辺のうち、一方の辺には第４の圧
電素子を、他方の辺には第５の圧電素子を配置し、次の
工程で基板を位置決めする基板の位置決め方法。 （１）前記第１の圧電素子を変位させず、前記第２の圧
電素子と第３の圧電素子を互いに逆方向に変位させて基
板の傾斜を調整する工程。 （２）前記第２の圧電素子と第３の圧電素子を同方向に
同量変位させ、前記第１の圧電素子を第２の圧電素子及
び第３の圧電素子に対して逆方向に同量変位させて基板
のＹ軸方向の位置を調整する工程。 （３）前記第４の圧電素子と第５の圧電素子を互いに逆
方向に同量だけ変位させて基板のＸ軸方向の位置を調整
する工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2195235A JPH0480941A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 基板の位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2195235A JPH0480941A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 基板の位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480941A true JPH0480941A (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16337736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2195235A Pending JPH0480941A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 基板の位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0480941A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07248355A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Tokyo Inst Of Technol | Ｔａｂ方式リード自動検査装置に用いるリード位置決め方法および装置 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP2195235A patent/JPH0480941A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07248355A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Tokyo Inst Of Technol | Ｔａｂ方式リード自動検査装置に用いるリード位置決め方法および装置 |
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