JPH0481022U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0481022U JPH0481022U JP12568490U JP12568490U JPH0481022U JP H0481022 U JPH0481022 U JP H0481022U JP 12568490 U JP12568490 U JP 12568490U JP 12568490 U JP12568490 U JP 12568490U JP H0481022 U JPH0481022 U JP H0481022U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- metal thin
- linear metal
- platinum
- aluminum nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
第１図は本考案の薄膜測温抵抗体の構成を示す
図で、第１図ａは平面図、第１図ｂは側面図。第
２図は本考案の多層薄膜測温抵抗体の構成を示す
断面図。第３図は本考案の薄膜測温抵抗体の使用
状態を示す断面図である。 １……窒化アルミニウム基板、２……金属薄膜
、３……電極パツド、４……厚さ、５……チタン
金属薄膜層、６……絶縁層、７……リード線、８
……封止材。
図で、第１図ａは平面図、第１図ｂは側面図。第
２図は本考案の多層薄膜測温抵抗体の構成を示す
断面図。第３図は本考案の薄膜測温抵抗体の使用
状態を示す断面図である。 １……窒化アルミニウム基板、２……金属薄膜
、３……電極パツド、４……厚さ、５……チタン
金属薄膜層、６……絶縁層、７……リード線、８
……封止材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 窒化アルミニウムからなる基板上に、温度変
化に対する電気抵抗の温度係数の大きな金属を線
状の金属薄膜に形成し構成したことを特徴とする
薄膜測温抵抗体。 ２ 線状の金属薄膜に白金またはニツケル、また
は白金−コバルト合金を用いたことを特徴とする
請求項１記載の薄膜測温抵抗体。 ３ 線状の金属薄膜の厚さを特定周波数に対する
表皮効果厚さ以下としたとこを特徴とする請求項
１または請求項２記載の薄膜測温抵抗体。 ４ 窒化アルミニウム基板と線状の金属薄膜との
間に、チタン金属薄膜層またはチタン金属薄膜層
と絶縁層とを介在させたことを特徴とする請求項
１または請求項２記載の薄膜測温抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12568490U JPH0481022U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12568490U JPH0481022U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481022U true JPH0481022U (ja) | 1992-07-15 |
Family
ID=31873274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12568490U Pending JPH0481022U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0481022U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006527378A (ja) * | 2003-06-13 | 2006-11-30 | セラマスピード・リミテッド | 電熱装置用の温度検出装置 |
| JP2016164527A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 有限会社日本テクモ | 温度検出体、及びそれを備えたケーブル、コイル及び温度検出装置 |
| JP2018004314A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 日立金属株式会社 | 電流センサ |
| JP2018151406A (ja) * | 2018-06-01 | 2018-09-27 | 日立金属株式会社 | 電流検出構造 |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP12568490U patent/JPH0481022U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006527378A (ja) * | 2003-06-13 | 2006-11-30 | セラマスピード・リミテッド | 電熱装置用の温度検出装置 |
| JP2016164527A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 有限会社日本テクモ | 温度検出体、及びそれを備えたケーブル、コイル及び温度検出装置 |
| JP2018004314A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 日立金属株式会社 | 電流センサ |
| JP2018151406A (ja) * | 2018-06-01 | 2018-09-27 | 日立金属株式会社 | 電流検出構造 |