JPH0481965U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第７図はこの考案の第１実施例を示し
、第１図はゲート装置の縦断側面図、第２図は第
１図における−線断面図、第３図は第１図に
おける−線断面図、第４図及び第５図はそれ
ぞれゲート弁が閉じた状態を示す縦断側面図、第
６図及び第７図はそれぞれゲート弁が開いた状態
を示す縦断側面図である。第８図〜第１０図はこ
の考案の第２実施例を示し、第８図はゲート装置
の縦断正面図、第９図は平行リンク部を示す横断
底面図、第１０図はばね部を示す横断底面図であ
る。第１１図は従来のゲート装置の縦断側面図で
ある。 １……真空槽、３……弁箱、４……通口、５…
…ケート弁、６……操作シリンダ、７……ピスト
ンロツド、８……バツクプレート、９……平行リ
ンク、１０……弁板、１１……ばね、１８……シ
ールリング、２１……ローラ、２３……レール、
２５，２６……弁板ローラ、２７……規制レール
、２８……ストツパー、２９，３０……シフト凹
部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽に隣接して設けられる弁箱と、該弁
   箱の内部に配置され、真空槽への通口を開閉する
   ゲート弁と、該ゲート弁を開閉操作する操作シリ
   ンダとを備えているゲート装置であつて、 ゲート弁は、操作シリンダのピストンロツドに
   連結されるバツクプレートと、バツクプレートに
   平行リンクを介して支持された弁板とを有し、 弁板と通口との接合面壁のいずれか一方に通口
   の周囲を囲むシールシリングが設けられており、 弁箱の内部に弁板の閉じストローク限界を規定
   するストツパーが設けられており、 弁板とバツクプレートとの間に、弁板をこれの
   重量に抗してバツクプレートに接近付勢するばね
   が設けてあることを特徴とする真空装置用のゲー
   ト装置。 (2) ゲート弁の往復移動軌跡に沿つて、バツク
   プレートに設けられたローラを案内するレールと
   、弁板に設けられた弁板ローラを案内する規制レ
   ールとが、ゲート弁を挟んで対向状に配置されて
   おり、弁板がストツパーに当接するときの弁板ロ
   ーラの位置に対応して、弁板ローラを落ち込み案
   内するシフト凹部が規制レールに形成されている
   請求項(1)記載の真空装置用のゲート装置。