JPH0482852U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0482852U JPH0482852U JP12524190U JP12524190U JPH0482852U JP H0482852 U JPH0482852 U JP H0482852U JP 12524190 U JP12524190 U JP 12524190U JP 12524190 U JP12524190 U JP 12524190U JP H0482852 U JPH0482852 U JP H0482852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- sample holder
- storage section
- silicon wafer
- reference surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の第１実施例を示す
もので、第１図はサンプルホルダーの正面図、第
２図は平面図、第３図及び第４図は第２実施例を
示し、第３図は正面図、第４図は右側面図、第５
図は第２実施例のホルダーに設けた押圧手段の部
分を示す図、第６図は同上押圧手段に用いられる
押え部材を示す図、第７図及び第８図は第３実施
例を示し、第７図は正面図、第８図は右側面図、
第９図は従来のサンプルホルダーを示す概念正面
図である。 １，２０……サンプルホルダー、２……ウエー
ハ収納部、３，３０……基準面、Ｗ……ウエーハ
。
もので、第１図はサンプルホルダーの正面図、第
２図は平面図、第３図及び第４図は第２実施例を
示し、第３図は正面図、第４図は右側面図、第５
図は第２実施例のホルダーに設けた押圧手段の部
分を示す図、第６図は同上押圧手段に用いられる
押え部材を示す図、第７図及び第８図は第３実施
例を示し、第７図は正面図、第８図は右側面図、
第９図は従来のサンプルホルダーを示す概念正面
図である。 １，２０……サンプルホルダー、２……ウエー
ハ収納部、３，３０……基準面、Ｗ……ウエーハ
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 予め定められたＸＹ座標軸にシリコンウエ
ーハを位置決めして、該ウエーハ表面のパーテイ
クルを検査する表面分析装置に供されるサンプル
ホルダーであつて、 ウエーハを収納保持するウエーハ収納部と、 前記ウエーハ収納部内に設けられ、ウエーハの
オリエンテーシヨンフラツトが当接する基準面と
、 を備えたことを特徴とするシリコンウエーハのサ
ンプルホルダー。 (2) 予め定められたＸＹ座標軸にシリコンウエ
ーハを位置決めして、該ウエーハ表面のパーテイ
クルを検査する表面分析装置に供されるサンプル
ホルダーであつて、 ウエーハを収納保持するウエーハ収納部と、 前記ウエーハ収納部内に設けられ、ウエーハの
オリエンテーシヨンフラツトが当接する基準面と
、 前記基準面に対し直交する方向に設けられ、ウ
エーハの周面が当接する基準面と、 前記両基準面に対しウエーハを弾性付勢する押
圧手段と、 を備えたことを特徴とするシリコンウエーハのサ
ンプルホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12524190U JPH0482852U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12524190U JPH0482852U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482852U true JPH0482852U (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=31872849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12524190U Pending JPH0482852U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0482852U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009272464A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Techno Fine:Kk | サンプル保持機構 |
| WO2011117953A1 (ja) * | 2010-03-24 | 2011-09-29 | 株式会社島津製作所 | 測定システム |
| JP2020080357A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-05-28 | 信越ポリマー株式会社 | 薄板収納容器 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP12524190U patent/JPH0482852U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009272464A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Techno Fine:Kk | サンプル保持機構 |
| WO2011117953A1 (ja) * | 2010-03-24 | 2011-09-29 | 株式会社島津製作所 | 測定システム |
| JP5298237B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2013-09-25 | 株式会社島津製作所 | 測定システム |
| JP2020080357A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-05-28 | 信越ポリマー株式会社 | 薄板収納容器 |