JPH048483A - ハニカム作業盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明はハニカム作業盤に関する。

さらに詳しくは、例えば、クリーンルームにおいて、各
種の計測用機器を所望の組合せ状態に取付け、光学機器
等精密機器の計測作業を実施するにあたって、特に、高
精度な計測作業をも、実施することが可能な防振装置を
内股しなハニカム作業盤に関する。

「従来の技術Ｊ このようなハニカム作業盤としては、一般に、本体部を
構成するアルミハニカム材の両面に鋼板製の表面部材か
接合されており、然して、上側の表面部材には、所定の
間隔を存して多数のねじ孔が貫通して設けられていた。

ところで、係るハニカム作業盤を用いて、特に、高精度
な計測作業を実施するにあたっては、例えば、ハニカム
作業盤に取付けられた精密機器、計測用機器等に外力が
加わり、これらに振動が生じた場合、作業の遂行が不可
能ななめ、振動を直ちに静止させる必要がある。ところ
が、従来のハニカム作業盤にあっては、それ自体に防振
機能を有していないので、係る作業を実施する際には、
通常、空気ばねシステムを利用した防振装置が組込まれ
た支持台上にハニカム作業盤をセットし、係る作業を実
施していた。

「発明が解決しようとする課題」 ところで、このような従来のハニカム作業盤にあっては
、軽量性に主眼が闇かれているため、上側の表面部材の
厚さは、平面精度を保持することができるとともに、計
測用機器等を強固に取付けることが可能な限り薄く、す
なわち、一般に、５鴎程度に設定されている。よって、
ハニカム作業盤の平面精度が損われることの防止、成形
容易等のため、殆どの場合、予め表面部材に多数のねじ
孔を貫通して設けた後、この表面部材を接着剤を介して
アルミハニカム材に接合することによって成形されてい
る。

また、計測用機器等を取付けるための取付ねじの首下長
さについては、例えば、アルミハニカム材のセルを形成
するセル壁とねじ孔とが対向して位置しているねじ孔に
計測用機器等を取付けた際にも、取付ねじによってセル
壁が破損されることがない長さ、すなわち、計測用機器
等を取付けた状態において、取付ねじの先端が表面部材
の下面より突出することがないようにその首下長さは、
短く設定されている。

ところで、表面部材とアルミハニカム材とは、表面部材
の下面とアルミハニカム材における各セルを形成するセ
ル壁の端部とが接着剤を介して接合されているので、用
いる接着剤の種類、例えば、二液性ｍ脂接着剤を用いる
か、或いはフィルム状接着剤を用いるか等により、また
、二液性樹脂接着剤を用いる場合であっても、表面部材
の下面側に塗布するか、或いはアルミハニカム材の各セ
ル壁の端部側に塗布するか等、その塗布手段により、さ
らにアルミハニカム材に対してねじ孔か存在する位置、
すなわち、セル壁と対向して位置するか、セルの中空部
と対向して位置しているかによっても、生ずる結果は異
なるが、殆どの場合、接合時の加熱、加圧により、−旦
融解した接着剤の一部が、少なくとも一部のねじ孔の下
端部内に流入し、この流入した接着剤がその後硬化し、
ねじ孔内に付着したままの状態で残存したり、また、時
として、ねじ孔における下端部のねじ山が可なりの高さ
に亘って接着剤により埋め尽されてしまうことがあった
。

したがって、係るねじ孔を利用して計測用機器等を取付
ける場合には、取付ねじの首下長さが、計測用機器等を
強固に取付けた状態において、そのねじ部の先端が表面
部材の下面より突出することがない長さに設定されてい
るにもかかわらず、取付ねじをねじ孔に課金せしめた際
、取付ねじの螺合に伴い、ねじ孔内に付着等していた接
着剤は削られる。そして、この削られ粉状となった接着
剤の大部分は、セル内に落下し、そのまま止まる。

ところで、クリーンルームは、通常室内の陽圧が略１，
４気圧にコントロールされているとともに、温度、湿度
等も常に所定の状態を維持すべくコントロールされてい
る。

よって、このようなりリーンルームにおいて、ハニカム
作業盤を用いて精密機器の各種の計測作業を実施する場
合、例えば、そのハニカム作業盤のセル内に粉状の接着
剤等が止まった状態で存在している場合には、クリーン
ルーム内の空気の対流により、また、ハニカム作業盤に
振動が発生した際等５今までセル内に止まった状態で存
在していた粉状の接着剤等は集土がり、そのセルに連通
して位置しているねじ孔を経てクリーンルーム内に飛散
する虞がある。粉状の接着剤等が飛散した場合、クリー
ンルームの清浄度が低下し、クリーンルームの機能が損
われるとともに、計測用機器、精密機器等が汚損される
ため、精密な計測作業が実施できないという問題が指摘
されていた。

故に、上述の問題点を解消すべく、計測用機器を強固に
取付けた際、例えば、その取付けに用いたねじ孔の下端
部に位置するねじ山が可なりの高さに亘って付着した接
着剤により埋められているような場合であっても、取付
ねじの先端と付着している接着剤とが接触するという事
態が生じることが全くない厚さを備えた表面部材を用い
、この表面部材にねじ孔を貫通して設けるか、或いは取
付ねじにより計測用機器等を取付けた際、その取付ねじ
の先端が当接することがない深さを有し、表面部材の上
面側にのみ開口するねじ孔を設けたハニカム作業盤が試
みられた。しかし、係るハニカム作業盤にあっては、ク
リーンルームにおいて用いた場合であっても、クリーン
ルームの機能を低下させるような事態は生じないが、何
れも表面部材の重量が著しく増加するため、ハニカム作
業盤の主眼である軽量性が損われるという難点を有し、
また、特に、後者にあっては、ねじ孔加工が面倒でコス
ト高となるという問題があった。

また、上述の従来の作業盤にあっては、何れのタイプの
ものも、防＠機能を有していないので、ハニカム作業盤
単独では、特に、高精度の計測作業を実施することは極
めて困難であり、もって、係る作業を実施するにあたっ
ては、空気ばねシステムを利用した防振装置が組込まれ
た構造複雑な支持台が必要なため、延いては、ハニカム
作業盤が高価となるとともに、重量も重くなるという間
瓶が指摘されていた。

本発明は上述の事情に鑑みなされたもので、その目的と
するところは、ハニカム作業盤の主眼である軽量性を殆
ど損うことなく、ハニカム作業盤自体に防振機能を付与
し、高価、かつ、重量の重い防＃ｉ機能が組込まれた支
持台を用いることなく、ハニカム作業盤単独で、特に、
高精度な計測作業を実施することが可能で、しかも、ク
リーンルームで用いた場合であっても、何らクリーンル
ームの機能を低下させるような事態が生ずることなく。

なおかつ、成形も容易なハニカム作業盤を提案すること
にある。

「課題を解決するための手段」 本発明は、上記目的を達成すべくなされたもので、その
技術的解決手段は、次のとおりである。

本発明に係るハニカム作業盤は、中空柱状のセルの平面
的集合体よりなるハニカム材と、このハニカム材の上下
のセル端面にそれぞれ接合された表面部材とを有してな
っており、そして、前記上側の表面部材は、所定の間隔
を存して多数のねじ孔が貫通して設けられた所定の厚さ
を有する金属製の表面板と、適宜の厚さを有するシリコ
ーンを素材としたゲル状物質からなる防振材層と、前記
表面板より軽量な板体よりなる支持板とが、上から順に
積層されてなっている。

「作用」 本発明は上記手段よりなるので、次の如く作用する。

すなわち、本発明に係るハニカム作業盤は、本体部を構
成するハニカム材の上側に接合されている表面部材が、
所定の間隔を存して多数のねじ孔が貫通して設けられた
所定の厚さを有する金属製の表面板と、適宜の厚さを有
するシリコーンを素材としたゲル状物質からなる防振材
層と、表面板より軽量な支持板とが、上から順に積層さ
れた構成よりなっている。

したがって、このハニカム作業盤にあっては、上側の表
面部材を構成する表面板と支持板間に、優れた振動防止
特性を有するシリコーンを素材としたゲル状物質からな
る適宜厚さの防振材層が設けられているので、例えば、
表面板や表面板に取付けられた計測用機器等に外力が加
わり、これらに振動が生じても、この振動は防振材層に
よって大きく減衰されるため、振動が支持板へ伝達され
るという事態が生じることは殆どないとともに、表面板
等に生じた振動も略瞬時に静止される。

もって、高価、かつ、重量の重い空気ばねシステムを利
用した防振装置が組込まれた支持台を用いることなく、
ハニカム作業盤のみを単独で用いた場合であっても、高
精度な計測作業を実施することができる。

また、上側の表面部材を形成するにあたって、シリコー
ンを素材としたゲル状物質からなる防振材層を、表面板
と支持板間に介装状態に積層させる際、係るゲル状物質
からなる防振材層は、それ事態が優れた粘着性を有する
ため、他の接着剤を用いずとも、殆どの場合加圧するの
みによって表面板と支持板に直接接着することができる
ので、表面板に、予めねじ孔が貫通して設けられている
場合であっても、従来、多数のねじ孔が貫通して設けら
れた表面部材を接着剤を介してハニカム材に接合してい
た際に生じていた一部のねじ孔における下端部のねじ山
が接着剤によって埋められるという事態が生ずることは
ない。

よって、所定の厚さを有する表面板、すなわち、表面板
の厚さは、計測用機器等を強固に取付けることが可能な
限り首下長さが短く設定されている従来の取付ねじと、
その首下長さが同一の取付ねじを用いた場合、従来の一
般のハニカム作業盤における上側の表面部材の厚さと、
同じ厚さに設定することができる。

したがって、このハニカム作業盤は、従来の一般のハニ
カム作業盤に比し、防振材層と支持板に略相当する分、
重量は増加するものの、支持板は表面板より軽量な板体
よりなっており、かつ、防振材層は金属材等と異なりそ
の重量が軽量なため、重量が増加する分は僅かである。

また、従来の改良型のハニカム作業盤と比べた場合には
、その重量は極めて軽量である。

また、表面板に設けられるねじ孔は、予め、貫通して設
けることができるので、上側の表面部材の形成は容易で
ある。

さらに、このハニカム作業盤は、表面板におけるねじ孔
の下面が防振材層によって閉鎖されているとともに、こ
の防振材層は、それ自体が有する粘着性を利用して表面
板に接着されているので、ねじ孔に取付ねじを螺合せし
めた際、取付ねじによって接着剤が削られる等の事態が
生ずる虞は全くない、もって、このハニカム作業盤をク
リーンルームで用いても、クリーンルームの機能が損わ
れることはない。

「実施例ｊ 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。

第１図は、ハニカム作業盤の要部の縦断面図、第２図は
、ハニカム作業盤の一部切欠き全体斜視図である。

先ず、その構成等について説明する。

１はハニカム作業盤であり、このハニカム作業盤１は、
中空柱状のセル３の平面的集合体よりなるアルミハニカ
ム材２と、このアルミハニカム材２の上下のセル３の端
面にそれぞれ接着剤１５を介して接合された表面部材５
と６とを有してなっている。

これらについて詳述すると、先ず、本体部を構成するア
ルミハニカム材２は、箔状のアルミ材を基材とし、これ
ら所定枚数の基材を互いに所定の位置関係に接着するこ
とにより重着し、これを重着方向に展張することによっ
て成形されており、セル壁４により形成された所定のセ
ルサイズ、高さを備えな略正六角形の中空柱状のセル３
の平面的集合体よりなり、軽量性に優れているとともに
、重量比強度にも優れ、かつ、平面精度にも優れている
。

５はアルミハニカム材２におけるセル３の上側の端面に
接合された表面部材であり、この上側の表面部材５は、
表面板７と、防振材層９と、支持板１０とが上から順に
積層されてなっている。そして、この表面部材５におけ
る表面板７は、アルミハニカム材２よりその周囲が若干
延出する大きさを備え、かつ、略その全面に亘り所定の
間隔を存して多数のねじ孔８が貫通して設けられている
とともに、所定の厚さ、すなわち、計測用機器１２の取
付縁部１３に穿設された取付孔、１４に、計測用機器１
２を強固に取付けることが可能な限り、その首下長さ１
が短く設定されている取付ねじ１１を挿通するとともに
、ねじ孔８に螺合せしめ、計測用機器１２を表面板７に
強固に取付けた際、取付ねじ１１のねじ部先端が、表面
板７の下面より突出することなく、若干表面板７の内側
に位置することができる厚さを備えたステンレス鋼板に
より形成されている。また、支持板１０は、その大きさ
がアルミハニカム材２と同じ大きさを備え、アルミ板等
、表面板７より可なり軽量で、かつ、その厚さも可なり
薄く設定された金属板によって形成されており、これら
表面板７と支持板１０との間には介装状態に、例えば、
αＧＥＬ（株式会社シーゲルの登録面１１）等のシリコ
ーンを素材としたゲル状物質からなる適宜の厚さを有す
る防振材層９が積層されている。

ところで、表面板７と支持板１０間に介装状態に積層さ
れるシリコーンを素材としたゲル状物質からなる防振材
層９を形成するにあたっては、主剤と硬化剤とからなる
二液性の原料を適宜割合で混合し、型材等に注入し、加
圧する（必要に応じ加熱もする）ことによって形成する
ことができ、優れた振動防止特性を有しているとともに
、優れた粘着性を有している。

したがって、上側の表面部材５を形成するにあたっては
、予め、表面板７と同一の大きさで、かつ、適宜厚さを
有する防振材層９を形成し、この防振材層９を表面板７
と支持板１０間に介装状態にセットし、加圧することに
よって、他の接着剤を用いることなく、表面板７と支持
板１０は防振材層９を介して積層され、表面部材５は形
成される。

なお、予め、防振材層９を形成することなく、例えば、
適宜の高さで回りを囲い、がっ、各ねじ孔８の下面部を
テープ等で閉鎖した表面板７における下面上に、適宜割
合で混合した適宜量の原料を注入した後、支持板１０を
被せ、加圧することにより防振材層９を形成するととも
に、同時に、各部材を積層することによって、表面部材
５を形成するようにしてもよい。

また、表面板７と支持板１０間に介装状態に積層される
防振材層９の厚さについては、ハニカム作業盤１の大き
さ、用途等によって異なるが、例えば、表面板７や表面
板７に取付けられた計測用機器１２等に外力が加わり、
これらに振動か生じた場合、この振動が防振材層９によ
って大きく減衰され、支持板１０への振動の伝達を殆ど
阻止するとともに、表面板７等に生じた振動も略瞬時に
静止させることができる厚さに設定すればよい。

なお、６はアルミハニカム材２の下側のセル３の端面に
接合されたアルミハニカム材２と同一の大きさを有する
金属板製の表面部材である。また、１６はハニカム作業
盤１の側面部に設けられた金属板製の側枠であり、この
側枠１６は、表面板７の周囲に垂下して設けられた上部
側枠１６ａと、この上部側枠１６ａの内側に位置すべく
、アルミハニカム材２、下側の表面部材６の側部に接合
された下部側枠１６ｂとからなっている。よって、この
ハニカム作業盤１は、例えば、表面板７に振動が生じた
際、防振材層９の上面に積層された表面板７のみが揺動
可能となっている。

ハニカム作業盤１はこのようになっている。

次に、その作動等について説明する。

このハニカム作業盤１は、本体部を構成するアルミハニ
カム材２の上側に接合された表面部材５が、所定の間隔
を存して多数のねじ孔８が貫通して設けられた所定の厚
さを有するステンレス鋼板製の表面板７と、適宜の厚さ
を有する例えばαＧＥＬ等のシリコーンを素材としたゲ
ル状物質からなる防振材層９と、表面板７よりその厚さ
が可なり薄く、かつ、可なり軽量なアルミ板等の金属薄
板により形成された支持板１０とが、上から順に積層さ
れた構成よりなっている。

したがって、このハニカム作業盤１にあっては、上側の
表面部材５を構成する表面板７と支持板１０間に、優れ
た振動防止特性を有する防振材層９が設けられているの
で、例えば、表面板７や表面板７に取付けられた計測用
機器１２等に外力が加わり、これらに振動が生じても、
この振動は、防振材層９によって大きく減衰されるため
、支持板１０へ振動が伝達されるという事態が生じるこ
とは殆どなく、また、表面板７等に生じた振動も略瞬時
に静止される。

もって、高価、かつ、重量の重い空気ばねシステムを利
用した防振装置が組込まれた支持台を用いることなく、
ハニカム作業盤１のみを単独で用いた場合であっても、
高精度な計測作業を実施することができる。

また、上側の表面部材５を形成するにあたって、防振材
層９を、表面板７と支持板１０間に介装状態に積層させ
る際、係るゲル状物質からなる防振材層９は、それ自体
が優れた粘着性を有し、別に他の接着剤を用いずとも、
直接接着することができるので、表面板７に、予めねじ
孔が貫通して設けられている場合であっても、従来、多
数のねじ孔が貫通して設けられた表面部材を接着剤を介
してアルミハニカム材に接合していた際に生じていた一
部のねじ孔における下端部のねじ山が、接着剤によって
埋められる等の事態が生ずることは全くない。

よって、表面板７の厚さは、計測用機器１２等を強固に
取付けることが可能な限り首下長さが短く設定されてい
る従来の取付けねじと、その首下長さ１が同一の取付け
ねじ１１を用いた場合、従来の一般のハニカム作業盤に
おける上側の表面部材の厚さと、同じ厚さに設定するこ
とができる。

したがって、このハニカム作業盤１は、従来の一般のハ
ニカム作業盤に比し、防振材層９と支持板１０に略相当
する分、重量は増加するものの、支持板１０は表面板７
より可なり軽量な金属板よりなり、しかも、その厚さも
表面板７より可なり薄く設定されており、また、防振材
層９は金属材等と異なり、その重量が軽量なため、重量
が増加する分は僅かである。また、従来の改良型のハニ
カム作業盤と比べた場合には、その重量は極めて軽量で
ある。

また、表面板７に設けられているねじ孔８は、予め、貫
通して設けることができるので、表面部材５の形成は容
易である。

さらに、このハニカム作業盤１は、表面板７におけるね
じ孔８の下面が防振材層９によって閉鎖されているとと
もに、この防振材層９は、それ自体が有する粘着性を利
用して表面板７に接着されているので、ねじ孔８に取付
ねじ１１を螺合せしめた際、ねじ孔８内に付着していた
接着剤が削られる等の事態が生ずる虞は全くない、もっ
て、係るハニカム作業盤１をクリーンルームで用いても
、クリーンルームの機能が損なわれることはない。

以上が作動等の説明である。

「発明の効果」 本発明に係るハニカム作業盤は、以上詳述した如く、ハ
ニカム材の上側に接合された表面部材が、所定の間隔を
存して多数のねじ孔が貫通して設けられた所定の厚さを
有する金属製の表面板と、適宜の厚さを有するシリコー
ンを素材としたゲル状物質からなる防振材層と、前記表
面板より軽量な板体により形成された支持板とが、上か
ら順に積層されてなっていることにより、次の効果を発
揮する。

すなわち、このハニカム作業盤は、ハニカム作業盤自体
が優れた防振機能を有しているので、高価、かつ重量が
重い防振装置が組込まれた支持台を用いることなく、ハ
ニカム作業盤のみによっても、特に、高精度な計測作業
を実施することができ、かつ、このハニカム作業盤は、
クリーンルームで用いた場合、クリーンルームの機能等
を損う虞があった従来の一般のハニカム作業盤に比し、
その重量が僅かに重くなることは否めないが、クリーン
ルームで用いた場合にも、クリーンルームの機能等を損
う虞の全くない従来の改良型のハニカム作業盤に比し、
極めて軽量であり、もって、ハニカム作業盤の主眼であ
る軽量性が損われることは殆どなく、なおかつ、クリー
ンルームで用いた場合であっても、何らクリーンルーム
の機能等を低下させることがなく、しかも、その成形も
容易である。

このように、この種従来例に存した問題点が一掃される
等、本発明の発揮する効果は顎著にして大なるものがあ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は、ハニカ
ム作業盤の要部の縦断面図、第２図は、ハニカム作業盤
の一部切欠き全体斜視図である。 １・・・・ハニカム作業盤、２・・・・アルミハニカム
材、３・・・・セル、４・・・・セル壁、５・・・・表
面部材（上側）、６・・・・表面部材（下側）、７・・
・・表面板、８・・・・ねじ孔、９・・・・防振材層、
１０・・・・支持板、１１・・・・取付ねじ、１２・・
・・計測用機器、１３・・・・取付縁部、１４・・・・
取付孔、１５・・・・接着剤、１６・・・・側枠、１６
ａ・・・・上部側枠、１６ｂ・・・・下部側枠、１・・
・・首下長さ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 中空柱状のセルの平面的集合体よりなるハニカム材と、
   その上下のセルの端面にそれぞれ接合された表面部材と
   を有してなるハニカム作業盤であつて、上側の前記表面
   部材が、所定の間隔を存して多数のねじ孔が貫通して設
   けられた所定の厚さを有する金属製の表面板と、適宜の
   厚さを有するシリコーンを素材としたゲル状物質からな
   る防振材層と、前記表面板より軽量な板体により形成さ
   れた支持板とが、上から順に積層されてなっていること
   を特徴とするハニカム作業盤。