JPH0485730U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0485730U JPH0485730U JP12875490U JP12875490U JPH0485730U JP H0485730 U JPH0485730 U JP H0485730U JP 12875490 U JP12875490 U JP 12875490U JP 12875490 U JP12875490 U JP 12875490U JP H0485730 U JPH0485730 U JP H0485730U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- outputs
- wafer
- power supplies
- detection device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例１の概略図（ブロツク
図）、第２図は実施例１における干渉性膜の膜厚
とセンサヘツドの受光するウエハーより反射した
光の反射強度との関係のグラフ、第３図および第
４図は実施例２における概略図および膜厚と反射
強度の関係のグラフ、第５図はウエハーの裏面に
まわり込み成膜をした干渉性膜の図、第６図は単
一の反射型センサを用いた場合の膜厚に対する反
射強度の関係図で、第７図は検知装置の概略図、
第８図は第７図のウエハー検知装置部のセンサヘ
ツド部分の拡大図である。 １……ウエハー、２，３，４……センサヘツド
、５，６，７……センサ電源、８……ＯＲ論理回
路、９……ＣＰＵ Ｉ／Ｏボード、１０……第１
センサヘツドの受光した干渉波形、１１……第２
センサヘツドの受光した干渉波形、１２，１３…
…センサ不感膜厚領域、１４……センサ不感領域
、１５……第３センサヘツドの受光した干渉波形
、１０１……発光路、１０２……反射光路。
図）、第２図は実施例１における干渉性膜の膜厚
とセンサヘツドの受光するウエハーより反射した
光の反射強度との関係のグラフ、第３図および第
４図は実施例２における概略図および膜厚と反射
強度の関係のグラフ、第５図はウエハーの裏面に
まわり込み成膜をした干渉性膜の図、第６図は単
一の反射型センサを用いた場合の膜厚に対する反
射強度の関係図で、第７図は検知装置の概略図、
第８図は第７図のウエハー検知装置部のセンサヘ
ツド部分の拡大図である。 １……ウエハー、２，３，４……センサヘツド
、５，６，７……センサ電源、８……ＯＲ論理回
路、９……ＣＰＵ Ｉ／Ｏボード、１０……第１
センサヘツドの受光した干渉波形、１１……第２
センサヘツドの受光した干渉波形、１２，１３…
…センサ不感膜厚領域、１４……センサ不感領域
、１５……第３センサヘツドの受光した干渉波形
、１０１……発光路、１０２……反射光路。
Claims (1)
- 異なる波長で発光する複数のセンサヘツドと、
該複数のセンサヘツドの出力をそれぞれ入力して
ウエハーの有無信号を出力する複数のセンサ電源
と、該複数のセンサ電源の出力を入力して、それ
らの論理和を出力する論理回路を有するウエハー
検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12875490U JPH0485730U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12875490U JPH0485730U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485730U true JPH0485730U (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=31876198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12875490U Pending JPH0485730U (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0485730U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014529888A (ja) * | 2011-08-16 | 2014-11-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チャンバ内の基板を感知するための方法および装置 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP12875490U patent/JPH0485730U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014529888A (ja) * | 2011-08-16 | 2014-11-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チャンバ内の基板を感知するための方法および装置 |
| JP2017038071A (ja) * | 2011-08-16 | 2017-02-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チャンバ内の基板を感知するための方法および装置 |