JPH0485748U - - Google Patents
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- JPH0485748U JPH0485748U JP12783690U JP12783690U JPH0485748U JP H0485748 U JPH0485748 U JP H0485748U JP 12783690 U JP12783690 U JP 12783690U JP 12783690 U JP12783690 U JP 12783690U JP H0485748 U JPH0485748 U JP H0485748U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor
- ultraviolet
- sensor
- dimensional
- ultraviolet rays
- Prior art date
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- Pending
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- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000825 ultraviolet detection Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による素子構造の断
面図、第２図は第１図の電極構造を示す平面図、
第３は本考案の他の実施例を示す概略構成図であ
る。 １……基板、２……下側電極、３……アモルフ
アスシリコンＰＩＮ層（ホトダイオード）、４…
…上側透明電極、５……保護膜、６……蛍光体、
７……２次元紫外線センサ、８……ＵＶ透過フイ
ルタ。
面図、第２図は第１図の電極構造を示す平面図、
第３は本考案の他の実施例を示す概略構成図であ
る。 １……基板、２……下側電極、３……アモルフ
アスシリコンＰＩＮ層（ホトダイオード）、４…
…上側透明電極、５……保護膜、６……蛍光体、
７……２次元紫外線センサ、８……ＵＶ透過フイ
ルタ。
補正 平３．３．２２
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書の６頁１７行の「第３は」を「第３図は
」と補正する。
」と補正する。
Claims (1)
- 少なくとも、紫外線を可視光に変換する蛍光体
と、該蛍光体によつて変換される可視光を電気信
号に変換するアモルフアスシリコンホトダイオー
ドを２次元のアレイ状に配列して基板上に形成さ
れた２次元紫外線センサと、このセンサの前記蛍
光体上の受光面に配置されて入射する紫外線を選
択的に透過させる光学フイルタとを備え、前記２
次元紫外線センサによつて変換される紫外線強度
に応じた信号を取り出すようにしたことを特徴と
する紫外線検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12783690U JPH0485748U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12783690U JPH0485748U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485748U true JPH0485748U (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=31875321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12783690U Pending JPH0485748U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0485748U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016211970A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 日機装株式会社 | 光測定装置および光測定方法 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP12783690U patent/JPH0485748U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016211970A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 日機装株式会社 | 光測定装置および光測定方法 |
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