JPH0487699U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0487699U JPH0487699U JP13060490U JP13060490U JPH0487699U JP H0487699 U JPH0487699 U JP H0487699U JP 13060490 U JP13060490 U JP 13060490U JP 13060490 U JP13060490 U JP 13060490U JP H0487699 U JPH0487699 U JP H0487699U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide hole
- hole
- positioning block
- center
- correction table
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の実施例を示す斜視図。第２
図は、本考案の動作説明図。第３図は、他の実施
例の動作説明図。第４図は、他の実施例を示す斜
視図。第５図、第６図は、従来の方法を示す斜視
図。 １は修正テーブル、２はガイド穴、３は真空吸
着孔、４は位置決ブロツク、５はスライド軸、６
はアクチユエータ、７はデバイス、８は修正ブロ
ツク、９はステージ、１０は基準板、１１は修正
板。
図は、本考案の動作説明図。第３図は、他の実施
例の動作説明図。第４図は、他の実施例を示す斜
視図。第５図、第６図は、従来の方法を示す斜視
図。 １は修正テーブル、２はガイド穴、３は真空吸
着孔、４は位置決ブロツク、５はスライド軸、６
はアクチユエータ、７はデバイス、８は修正ブロ
ツク、９はステージ、１０は基準板、１１は修正
板。
Claims (1)
- デバイス７の外形寸法よりやや大きい入口寸法
を有するテーパ状のガイド穴２を有する修正テー
ブル１と該修正テーブル１に設けたスライド軸５
に沿つて、摺動自由に取り付けられ、前記ガイド
穴２の中央に配置された位置決ブロツク４を有し
、該位置決ブロツクには、デバイス７のパツケー
ジ寸法に合つた穴が掘り込まれており、また、そ
の中央には真空吸着孔３が設けられており、さら
に該位置決ブロツク４は、アクチユエータ６によ
り、ガイド穴２の内部を上下するように構成され
た半導体用位置修正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13060490U JPH0487699U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13060490U JPH0487699U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0487699U true JPH0487699U (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=31877925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13060490U Pending JPH0487699U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0487699U (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP13060490U patent/JPH0487699U/ja active Pending
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