JPH0489577A - 半導体加速度センサ及びその製造方法 - Google Patents
半導体加速度センサ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0489577A JPH0489577A JP20626490A JP20626490A JPH0489577A JP H0489577 A JPH0489577 A JP H0489577A JP 20626490 A JP20626490 A JP 20626490A JP 20626490 A JP20626490 A JP 20626490A JP H0489577 A JPH0489577 A JP H0489577A
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- Japan
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- weight
- cantilever
- pedestal
- acceleration sensor
- semiconductor acceleration
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、特に自動車用の加速度センサとして多く用い
られている半導体加速度センサ及びその製造方法に関す
る。
られている半導体加速度センサ及びその製造方法に関す
る。
半導体加速度センサは、極めて小型に構成できることか
ら、自動車用等、配設空間が限定される用途に広く用い
られている。
ら、自動車用等、配設空間が限定される用途に広く用い
られている。
第３図は従来の半導体加速度センサの構成を示す模式的
側面図である。図示の如〈従来の半導体加速度センサは
、シリコン等の半導体を板状に成形してなるカンチレバ
ー１と、共にシリコン製のブロックからなる台座２及び
重錘３とを備え、カンチレバー１の一端を台座２の一面
に、また他端に重錘３を、夫々接着剤４により接合し、
更に前記台座２の他面を基台５上に接着剤４により接合
して、台座２にその一端を支持されて基台５と略平行を
なして延設されたカンチレバー１の先端に重錘３を固定
した構成となっている。この半導体加速度センサは、前
記基台５を適宜の測定部位に固定し、この測定部位の加
速度を重錘３に作用せしめて用いられる。とれにより重
錘３を先端に有するカンチレバー１が撓み、このときカ
ンチレバー１に生じる歪が、該カンチレバー１中途の薄
肉部１８表面に複数の拡散抵抗により構成されたブリッ
ジ６の出力として得られ、この出力結果に基づいて前記
加速度の検出がなされる。
側面図である。図示の如〈従来の半導体加速度センサは
、シリコン等の半導体を板状に成形してなるカンチレバ
ー１と、共にシリコン製のブロックからなる台座２及び
重錘３とを備え、カンチレバー１の一端を台座２の一面
に、また他端に重錘３を、夫々接着剤４により接合し、
更に前記台座２の他面を基台５上に接着剤４により接合
して、台座２にその一端を支持されて基台５と略平行を
なして延設されたカンチレバー１の先端に重錘３を固定
した構成となっている。この半導体加速度センサは、前
記基台５を適宜の測定部位に固定し、この測定部位の加
速度を重錘３に作用せしめて用いられる。とれにより重
錘３を先端に有するカンチレバー１が撓み、このときカ
ンチレバー１に生じる歪が、該カンチレバー１中途の薄
肉部１８表面に複数の拡散抵抗により構成されたブリッ
ジ６の出力として得られ、この出力結果に基づいて前記
加速度の検出がなされる。
さて以上の如き構成の半導体加速度センサにおいて高精
度での加速度検出を行わせるためには、カンチレバー１
各部の寸法精度が重要であることは勿論、台座２と重錘
３との間の離隔距離が適正に保たれていることが重要で
ある。ところが従来においては、前述の如く、台座２と
重錘３とが接着剤４を用いてカンチレバー１に接合され
るため、この接合そのものに煩わしさを伴う上、夫々の
接合を両者の離隔距離の確保に留意しつつ行うという煩
雑な作業を強いられ、組立てに多大の手間を要する難点
があった。
度での加速度検出を行わせるためには、カンチレバー１
各部の寸法精度が重要であることは勿論、台座２と重錘
３との間の離隔距離が適正に保たれていることが重要で
ある。ところが従来においては、前述の如く、台座２と
重錘３とが接着剤４を用いてカンチレバー１に接合され
るため、この接合そのものに煩わしさを伴う上、夫々の
接合を両者の離隔距離の確保に留意しつつ行うという煩
雑な作業を強いられ、組立てに多大の手間を要する難点
があった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、台座
及び重錘のカンチレバーの適正位置への接合を容易化し
、組立て作業の簡素化を実現すると共に、高い検出精度
を保証し得る半導体加速度センサ及びその製造方法を提
供することを目的とする。
及び重錘のカンチレバーの適正位置への接合を容易化し
、組立て作業の簡素化を実現すると共に、高い検出精度
を保証し得る半導体加速度センサ及びその製造方法を提
供することを目的とする。
本発明に係る半導体加速度センサは、台座及び重錘を共
にガラス製としたものであり、またこの半導体加速度セ
ンサを得るための本発明に係る半導体加速度センサの製
造方法は、前記台座及び前記重錘を所定長離隔して連結
する連結部と共に一体成形してなるガラス成形体を用い
、台座及び重錘夫々の接合面をカンチレバーの所定位置
に密着させて陽極接合により接合し、その後連結部を切
り離すものである。
にガラス製としたものであり、またこの半導体加速度セ
ンサを得るための本発明に係る半導体加速度センサの製
造方法は、前記台座及び前記重錘を所定長離隔して連結
する連結部と共に一体成形してなるガラス成形体を用い
、台座及び重錘夫々の接合面をカンチレバーの所定位置
に密着させて陽極接合により接合し、その後連結部を切
り離すものである。
本発明においては、台座及び重錘をガラス製とし、これ
らの半導体製のカンチレバーへの陽極接合による接合を
可能とし、接着剤による接合に伴う手間を削減すると共
に、前記台座及び前記重錘を、これらのカンチレバーと
の接合面を面一に保ち、組立て後の両者の離隔距離に相
当する所定距離だけ隔てて連結する連結部と共に一体成
形してなるガラス成形体を用い、これの前記接合面を半
導体製のカンチレバーに密着させて陽極接合を実施し、
台座及び重錘を一括的にカンチレバーに接合した後連結
部を切り離す手順により、前記接合に際してのカンチレ
バーの長手方向への台座及び重錘の位置決めを容易化す
る。
らの半導体製のカンチレバーへの陽極接合による接合を
可能とし、接着剤による接合に伴う手間を削減すると共
に、前記台座及び前記重錘を、これらのカンチレバーと
の接合面を面一に保ち、組立て後の両者の離隔距離に相
当する所定距離だけ隔てて連結する連結部と共に一体成
形してなるガラス成形体を用い、これの前記接合面を半
導体製のカンチレバーに密着させて陽極接合を実施し、
台座及び重錘を一括的にカンチレバーに接合した後連結
部を切り離す手順により、前記接合に際してのカンチレ
バーの長手方向への台座及び重錘の位置決めを容易化す
る。
以下本発明をその実施例を示す図面に基づいて詳述する
。第１図は本発明に係る半導体加速度センサの構成を示
す模式的側面図、第２図は本発明に係る半導体加速度セ
ンサの製造方法（以下本発明方法という）の実施手順の
説明図である。
。第１図は本発明に係る半導体加速度センサの構成を示
す模式的側面図、第２図は本発明に係る半導体加速度セ
ンサの製造方法（以下本発明方法という）の実施手順の
説明図である。
第１図に示す如く、本発明方法に係る半導体加速度セン
サもまた、従来の半導体加速度センサと同様、シリコン
等の半導体を細幅の板状に成形してなり、長手方向中途
の薄肉部１ａの表面に複数の拡散抵抗によりブリッジ６
を構成しであるカンチレバー１と、ブロック状をなす台
座２及び重錘３とを備え、カンチレバー１の一端を台座
２の一面に、また他端に重錘３を接合し、更に前記台座
２の他面を基台５上に接合した構成となっており、基台
５を適宜の測定部位に固定して用いられ、重錘３に作用
する加速度によりカンチレバー１に生しる歪を、ブリッ
ジ６の出力として得て、この出力結果に基づいて前記加
速度の検出をなすものである。
サもまた、従来の半導体加速度センサと同様、シリコン
等の半導体を細幅の板状に成形してなり、長手方向中途
の薄肉部１ａの表面に複数の拡散抵抗によりブリッジ６
を構成しであるカンチレバー１と、ブロック状をなす台
座２及び重錘３とを備え、カンチレバー１の一端を台座
２の一面に、また他端に重錘３を接合し、更に前記台座
２の他面を基台５上に接合した構成となっており、基台
５を適宜の測定部位に固定して用いられ、重錘３に作用
する加速度によりカンチレバー１に生しる歪を、ブリッ
ジ６の出力として得て、この出力結果に基づいて前記加
速度の検出をなすものである。
但しこの半導体加速度センサは、従来のそれとは異なり
、台座２及び重錘３が共にガラス製であることを特徴と
しており、これらの台座２及び重錘３と半導体製のカン
チレバー１との接合が、従来の如き接着によらず、カン
チレバー１と台座２及び重錘３とを相互に密着せしめた
状態で所定の高温下に置き、両者間に電圧を印加するこ
とによりなされる接合方法、即ち陽極接合により一括的
になされていることを特徴とする。但し台座２の基台５
への接合は、従来と同様、接着剤４を用いての接着によ
りなされている。
、台座２及び重錘３が共にガラス製であることを特徴と
しており、これらの台座２及び重錘３と半導体製のカン
チレバー１との接合が、従来の如き接着によらず、カン
チレバー１と台座２及び重錘３とを相互に密着せしめた
状態で所定の高温下に置き、両者間に電圧を印加するこ
とによりなされる接合方法、即ち陽極接合により一括的
になされていることを特徴とする。但し台座２の基台５
への接合は、従来と同様、接着剤４を用いての接着によ
りなされている。
以上の如き半導体加速度センサを得るための本発明方法
の実施に際しては、第２図（ａ）に示す如く、半導体製
のカンチレバー１と共に、台座２となる第１の部分２ａ
と、重錘３となる第２の部分３ａとを、連結部１０にて
連結してなるガラス成形体１）を用いる。図示の如く、
前記第１．第２の部分２ａ 、 ３ａの連結部１０によ
る連結は、両者が組立て後の台座２と重錘３との適正な
離隔距離に相当する所定距離Ａだけ離れ、また、第１．
第２の部分２ａ、３ａにおけるカンチレバー１との接合
面２ｂ、３ｂを面一としてなされている。このような構
成のガラス成形体１）は、第２図（′ｂ）に示す如く、
第１の部分２ａ側の端縁をカンチレバー１の対応する側
の端縁に整合させ、該カンチレバー１の一面に前記整合
面２ｂ、３ｂを密着せしめ、所定の高温下での電圧印加
により陽極接合される。即ちこの過程により、台座２と
なる第１の部分２ａと重錘３となる第２の部分３ａとが
、カンチレバー１の一面に一括的に接合されたことにな
り、またこのとき、第１．第２の部分２ａ。
の実施に際しては、第２図（ａ）に示す如く、半導体製
のカンチレバー１と共に、台座２となる第１の部分２ａ
と、重錘３となる第２の部分３ａとを、連結部１０にて
連結してなるガラス成形体１）を用いる。図示の如く、
前記第１．第２の部分２ａ 、 ３ａの連結部１０によ
る連結は、両者が組立て後の台座２と重錘３との適正な
離隔距離に相当する所定距離Ａだけ離れ、また、第１．
第２の部分２ａ、３ａにおけるカンチレバー１との接合
面２ｂ、３ｂを面一としてなされている。このような構
成のガラス成形体１）は、第２図（′ｂ）に示す如く、
第１の部分２ａ側の端縁をカンチレバー１の対応する側
の端縁に整合させ、該カンチレバー１の一面に前記整合
面２ｂ、３ｂを密着せしめ、所定の高温下での電圧印加
により陽極接合される。即ちこの過程により、台座２と
なる第１の部分２ａと重錘３となる第２の部分３ａとが
、カンチレバー１の一面に一括的に接合されたことにな
り、またこのとき、第１．第２の部分２ａ。
３８間の離隔距離が連結部１０により前記所定距離λに
保たれていることから、前記接合に際し、ガラス成形体
１）の端縁とカンチレバー１の端縁とを整合させるだけ
の容易な作業により、第１．第２の部分２ａ、３ａの適
正な位置への接合が可能となる。
保たれていることから、前記接合に際し、ガラス成形体
１）の端縁とカンチレバー１の端縁とを整合させるだけ
の容易な作業により、第１．第２の部分２ａ、３ａの適
正な位置への接合が可能となる。
そして本発明においては、以上の如き接合を完了した後
、第２図（Ｃ）に示す如く、ガラス成形体１）から連結
部１０を切り離すことにより、カンチレバー１の長手方
向に適正距離だけ離隔して接合されたガラス製の台座２
と重錘３とが得られ、前述の如く、この台座２の他面を
基台５上に接着剤４にて接着することにより第１図に示
す本発明に係る半導体加速度センサが構成される。
、第２図（Ｃ）に示す如く、ガラス成形体１）から連結
部１０を切り離すことにより、カンチレバー１の長手方
向に適正距離だけ離隔して接合されたガラス製の台座２
と重錘３とが得られ、前述の如く、この台座２の他面を
基台５上に接着剤４にて接着することにより第１図に示
す本発明に係る半導体加速度センサが構成される。
以上詳述した如く本発明に係る半導体加速度センサにお
いては、台座及び重錘がガラス製であり、これらと半導
体製のカンチレバーとの接合を陽極接合によりなし得る
から、従来の接着剤による接合に比較して接合に要する
手間の削減が可能となり、また本発明方法においては、
前記台座及び前記重錘を所定長離隔して連結する連結部
と共に一体成形してなるガラス成形体を用い、これとカ
ンチレバーとを陽極接合により接合し、次いで連結部を
切り離して台座及び重錘を得るから、両者をカンチレバ
ーの長手方向に適正距離だけ離隔せしめて接合すること
が容易となり、この接合に際しての位置合わせの煩雑さ
が解消される上、離隔距離の適正化により高い検出精度
が保証される等、本発明は優れた効果を奏する。
いては、台座及び重錘がガラス製であり、これらと半導
体製のカンチレバーとの接合を陽極接合によりなし得る
から、従来の接着剤による接合に比較して接合に要する
手間の削減が可能となり、また本発明方法においては、
前記台座及び前記重錘を所定長離隔して連結する連結部
と共に一体成形してなるガラス成形体を用い、これとカ
ンチレバーとを陽極接合により接合し、次いで連結部を
切り離して台座及び重錘を得るから、両者をカンチレバ
ーの長手方向に適正距離だけ離隔せしめて接合すること
が容易となり、この接合に際しての位置合わせの煩雑さ
が解消される上、離隔距離の適正化により高い検出精度
が保証される等、本発明は優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る半導体加速度センサの模式的側面
図、第２図は本発明方法の実施手順の説明図、第３図は
従来の半導体加速度センサの模式的側面図である。 １・・・カンチレバー ２・・・台座 ３・・・重
錘１０・・・連結部 １）・・・ガラス成形体なお、
図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第 １ 図 １・・・カンチレバー ２・・・台座 ３・・重錘 代理人 大 岩 増 雄１０・・連結
部 第 図
図、第２図は本発明方法の実施手順の説明図、第３図は
従来の半導体加速度センサの模式的側面図である。 １・・・カンチレバー ２・・・台座 ３・・・重
錘１０・・・連結部 １）・・・ガラス成形体なお、
図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第 １ 図 １・・・カンチレバー ２・・・台座 ３・・重錘 代理人 大 岩 増 雄１０・・連結
部 第 図
Claims (2)
- （１）台座にその一端を接合された半導体製のカンチレ
バーの他端に重錘を接合してなり、この重錘に作用する
加速度を、前記カンチレバーに生じる歪として検出する
半導体加速度センサにおいて、 前記台座及び前記重錘は、共にガラス製で あることを特徴とする半導体加速度センサ。 - （２）前記カンチレバーへの夫々の接合面を面一に保ち
所定長離隔させて連結する連結部と共に、前記台座及び
前記重錘を一体的に成形してなるガラス成形体を用い、
前記接合面を前記カンチレバーの所定位置に夫々密着さ
せ、該カンチレバーに前記台座及び前記重錘を一括的に
陽極接合した後、前記連結部を切り離すことを特徴とす
る請求項１記載の半導体加速度センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20626490A JPH0489577A (ja) | 1990-08-01 | 1990-08-01 | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20626490A JPH0489577A (ja) | 1990-08-01 | 1990-08-01 | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489577A true JPH0489577A (ja) | 1992-03-23 |
Family
ID=16520453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20626490A Pending JPH0489577A (ja) | 1990-08-01 | 1990-08-01 | 半導体加速度センサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0489577A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999013343A1 (en) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and method of producing the same |
-
1990
- 1990-08-01 JP JP20626490A patent/JPH0489577A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999013343A1 (en) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and method of producing the same |
| US6263735B1 (en) | 1997-09-10 | 2001-07-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor |
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