JPH048973U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH048973U JPH048973U JP4994790U JP4994790U JPH048973U JP H048973 U JPH048973 U JP H048973U JP 4994790 U JP4994790 U JP 4994790U JP 4994790 U JP4994790 U JP 4994790U JP H048973 U JPH048973 U JP H048973U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip group
- insulating holder
- electrodes
- probes
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るプローブカー
ドの概略的断面図、第２図はプリント基板の開口
に嵌合された絶縁保持体を通して測定すべきチツ
プを覗いた状態の平面図、第３図ａ，ｂ，ｃは第
１図のａ部、ｂ部、ｃ部の拡大図、第４図は各探
針のビーム長を説明する説明図、第５図はチツプ
に形成された電極を説明する説明図、第６図は従
来のプローブカードの概略的断面図である。 １０……基板、１１……開口、２０……絶縁性
保持体、２１……外枠、２２ａ〜２２ｄ……橋部
、３０……探針、３０１……外側探針、３０２〜
３０４……内側探針、４０……チツプ群、４０１
〜４０４……チツプ、４１……外側電極群、４２
……内側電極群、Ｌ１……内側探針３０４のビー
ム長、Ｌ２……内側探針３０３のビーム長、Ｌ３
……内側探針３０２のビーム長、Ｌ４……外側探
針３０１のビーム長。
ドの概略的断面図、第２図はプリント基板の開口
に嵌合された絶縁保持体を通して測定すべきチツ
プを覗いた状態の平面図、第３図ａ，ｂ，ｃは第
１図のａ部、ｂ部、ｃ部の拡大図、第４図は各探
針のビーム長を説明する説明図、第５図はチツプ
に形成された電極を説明する説明図、第６図は従
来のプローブカードの概略的断面図である。 １０……基板、１１……開口、２０……絶縁性
保持体、２１……外枠、２２ａ〜２２ｄ……橋部
、３０……探針、３０１……外側探針、３０２〜
３０４……内側探針、４０……チツプ群、４０１
〜４０４……チツプ、４１……外側電極群、４２
……内側電極群、Ｌ１……内側探針３０４のビー
ム長、Ｌ２……内側探針３０３のビーム長、Ｌ３
……内側探針３０２のビーム長、Ｌ４……外側探
針３０１のビーム長。
Claims (1)
- 複数のチツプが横一列に並んでなるチツプ群の
電気的諸特性を測定する際に用いられるプローブ
カードにおいて、前記チツプ群より大きい開口が
設けられた基板と、前記開口に嵌合する絶縁性保
持体と、この絶縁性保持体に固定され、前記チツ
プ群の電極に接触する複数の探針とを具備してお
り、前記絶縁性保持体は前記開口に対応した外枠
と、前記チツプ群の電極の配列に対応して前記外
枠に架け渡される複数本の橋部とを有し、前記探
針は前記外枠にのみ固定され、前記チツプ群の外
周縁に沿つて形成された外側電極群に接触する外
側探針と、前記外枠及び橋部に固定され、前記チ
ツプ群の内側に形成された内側電極群に接触する
内側探針とからなり、外側及び内側探針のビーム
長は略等しく設定されていることを特徴とするプ
ローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4994790U JPH048973U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4994790U JPH048973U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048973U true JPH048973U (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=31568075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4994790U Pending JPH048973U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048973U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008170441A (ja) * | 2007-01-08 | 2008-07-24 | Mjc Probe Inc | 高周波プローブ及びプローブカード |
| JP2020159923A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 京セラ株式会社 | 回路基板、プローブカードおよび検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5717143A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-28 | Nippon Denshi Zairyo Kk | Probe for test of semiconductor wafer |
| JPH0237378B2 (ja) * | 1980-02-27 | 1990-08-23 | Sekisui Chemical Co Ltd | Enkabinirujushiraininguyosetsuchakuzai |
-
1990
- 1990-05-14 JP JP4994790U patent/JPH048973U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0237378B2 (ja) * | 1980-02-27 | 1990-08-23 | Sekisui Chemical Co Ltd | Enkabinirujushiraininguyosetsuchakuzai |
| JPS5717143A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-28 | Nippon Denshi Zairyo Kk | Probe for test of semiconductor wafer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008170441A (ja) * | 2007-01-08 | 2008-07-24 | Mjc Probe Inc | 高周波プローブ及びプローブカード |
| JP2020159923A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 京セラ株式会社 | 回路基板、プローブカードおよび検査装置 |