JPH0497976A - 炭化珪素系複合体およびその製造方法 - Google Patents
炭化珪素系複合体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0497976A JPH0497976A JP2214066A JP21406690A JPH0497976A JP H0497976 A JPH0497976 A JP H0497976A JP 2214066 A JP2214066 A JP 2214066A JP 21406690 A JP21406690 A JP 21406690A JP H0497976 A JPH0497976 A JP H0497976A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sic
- silicon carbide
- alloy
- porous body
- based composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 20
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 49
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 229910000551 Silumin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910021364 Al-Si alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 229910018566 Al—Si—Mg Inorganic materials 0.000 claims abstract 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- LSMIOFMZNVEEBR-ICLSSMQGSA-N scilliroside Chemical compound C=1([C@@H]2[C@@]3(C)CC[C@H]4[C@@]([C@]3(CC2)O)(O)C[C@H](C2=C[C@@H](O[C@H]3[C@@H]([C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O3)O)CC[C@@]24C)OC(=O)C)C=CC(=O)OC=1 LSMIOFMZNVEEBR-ICLSSMQGSA-N 0.000 claims description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 abstract description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 4
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 4
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N N-[[(5S)-2-oxo-3-(2-oxo-3H-1,3-benzoxazol-6-yl)-1,3-oxazolidin-5-yl]methyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C1O[C@H](CN1C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N 0.000 description 1
- 229910007981 Si-Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008316 Si—Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000007849 furan resin Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は炭化珪素系複合体およびその製造方法に関し、
さらに詳しくは、高靭性を有する炭化珪素系複合体およ
びその製造方法に関する。
さらに詳しくは、高靭性を有する炭化珪素系複合体およ
びその製造方法に関する。
〔従来の技術]
メカニカルシール用摺動材として、炭化珪素は、高い硬
度、優れた耐食性、高い熱伝導性等の特性を有するため
、従来の金属材料、超硬合金、アルミナ等の材料にとっ
て替わり使用範囲が拡大しつつある。
度、優れた耐食性、高い熱伝導性等の特性を有するため
、従来の金属材料、超硬合金、アルミナ等の材料にとっ
て替わり使用範囲が拡大しつつある。
反応焼結したSiC製品は、熔融Siの存在下で、炭素
粉末とSIC粉末の凝集性混合物を反応焼成することに
よって作製される。混合物中の炭素は結合性SiCに転
換し、はぼ連続したSiCマトリックスが、フリーSi
相中に形成される。
粉末とSIC粉末の凝集性混合物を反応焼成することに
よって作製される。混合物中の炭素は結合性SiCに転
換し、はぼ連続したSiCマトリックスが、フリーSi
相中に形成される。
このようにして作製される従来のSiC製品は跪いため
に一度クランクが発生すると、クラックが簡単に成長し
て割れやすいという問題点があった。
に一度クランクが発生すると、クラックが簡単に成長し
て割れやすいという問題点があった。
この現象は、フリーSi相も極めて晩いためクランクの
進展に対しての障壁となり難いということも原因となっ
ている。
進展に対しての障壁となり難いということも原因となっ
ている。
本発明の目的は、高靭性を有し、クラックが発生しにに
く、かつクラックが発生してもクランクの成長を阻止で
きると共に、高耐食性を向上させることができる炭化珪
素系複合体とその製造方法を提供することにある。
く、かつクラックが発生してもクランクの成長を阻止で
きると共に、高耐食性を向上させることができる炭化珪
素系複合体とその製造方法を提供することにある。
上記した目的を達成するために、本発明の炭化珪素系複
合体は、SiCの骨格よりなる多孔体の空隙を、シルミ
ン(Aj!−Si合金)および/またはガンマ−シルミ
ン(、l−1−5i−合金)で充填したことを特徴とす
る。
合体は、SiCの骨格よりなる多孔体の空隙を、シルミ
ン(Aj!−Si合金)および/またはガンマ−シルミ
ン(、l−1−5i−合金)で充填したことを特徴とす
る。
また、本発明の炭化珪素系複合体の製造方法は、SiC
の多孔体を作製した後、この多孔体の空隙に、融点以上
に加熱されたシルミン(Alfi−Si合金)および/
またはガンマ−シルミン(Alfi−Si−Mg合金)
を含浸させることを特徴とする。
の多孔体を作製した後、この多孔体の空隙に、融点以上
に加熱されたシルミン(Alfi−Si合金)および/
またはガンマ−シルミン(Alfi−Si−Mg合金)
を含浸させることを特徴とする。
すなわち、本発明は、脆いSi0代わりに高靭性と高耐
蝕性を有するシルミン(Alfi−Si合金)、および
/またはガンマ−シルミン(AISi−Mg合金)をS
iC多孔体の空隙に充填したものである。
蝕性を有するシルミン(Alfi−Si合金)、および
/またはガンマ−シルミン(AISi−Mg合金)をS
iC多孔体の空隙に充填したものである。
SiC多孔体は、例えば、下記に示す3通りの方法で作
製することができる。
製することができる。
第1は、SiC粉末と炭素粉末との混合物を所定の形状
に成形後、Siと反応結合させて作製する方法である。
に成形後、Siと反応結合させて作製する方法である。
第2は、SiC粉末と炭化性樹脂との混合物を所定の形
状に成形し、樹脂を炭化させた後、Siと反応結合させ
て作製する方法である。
状に成形し、樹脂を炭化させた後、Siと反応結合させ
て作製する方法である。
第3は、SiC粉末に微量の焼結助剤を添加し、その混
合物を所定の形状に成形後、非酸化性雰囲気中で焼結す
る方法である。
合物を所定の形状に成形後、非酸化性雰囲気中で焼結す
る方法である。
これらの方法の何れかで作製したSIC多孔体に対して
、その空隙にシルミンおよび/またはガンマ−シルミン
が充填される。SiC多孔体は、反応焼結または常圧焼
結でつくられるが、反応焼結の場合におけるSiの供給
量は成形体中の残留炭素をSiCとするための当量のみ
でよい。
、その空隙にシルミンおよび/またはガンマ−シルミン
が充填される。SiC多孔体は、反応焼結または常圧焼
結でつくられるが、反応焼結の場合におけるSiの供給
量は成形体中の残留炭素をSiCとするための当量のみ
でよい。
SiC成形体中にSiが余分に残れば、SiC多孔体中
に含浸するシルミンおよび/またはガンマ−シルミンの
不純物として作用し、組成に変化を与え、シルミンおよ
び/またはガンマ−シルミンの特性が発揮できなくなる
。
に含浸するシルミンおよび/またはガンマ−シルミンの
不純物として作用し、組成に変化を与え、シルミンおよ
び/またはガンマ−シルミンの特性が発揮できなくなる
。
一方、SiC成形体中のSiが不足すれば、炭素を残留
させることになる。
させることになる。
シルミンは1〜20%5i−Aj!合金で、引っ張り強
度10−18kg/鰭、伸び10〜15%の機械的性質
があり、Siよりはるかに侵れた高靭性を持つため、そ
の複合体にもその性質を発揮させることができる。
度10−18kg/鰭、伸び10〜15%の機械的性質
があり、Siよりはるかに侵れた高靭性を持つため、そ
の複合体にもその性質を発揮させることができる。
また、ガンマ−シルミンは5〜9%SiO,3%Mg−
Al!合金で、引っ張り強度18〜22kg/閣、伸び
4〜10%の機械的性質があり、Siよりはるかに優れ
た高靭性を持つため、その複合体にもその性質を発揮さ
せることができる。
Al!合金で、引っ張り強度18〜22kg/閣、伸び
4〜10%の機械的性質があり、Siよりはるかに優れ
た高靭性を持つため、その複合体にもその性質を発揮さ
せることができる。
シルミンの融点は580〜680℃であり、ガンマ−シ
ルミンの融点は650℃前後であるため、溶融状態で高
い流動性を有し、SiCとの濡れ性が極めて高<溶融シ
ルミンおよび/またはガンマ−シルミンは、SiC多孔
体中に容品に含浸する。
ルミンの融点は650℃前後であるため、溶融状態で高
い流動性を有し、SiCとの濡れ性が極めて高<溶融シ
ルミンおよび/またはガンマ−シルミンは、SiC多孔
体中に容品に含浸する。
SiC多孔体中に充填されるシルミンおよび/またはガ
ンマ−シルミンの量は、SiC多孔体に対して、5〜4
0体積%、望ましくは、10〜25体積%が好ましい、
SiC多孔体中に充填されるシルミンおよび/またはガ
ンマ−シルミンの量が40体積%よりも多いと、SIC
の特長である高硬度、高熱伝導性等の特性が発揮できな
くなり、一方、SiC多孔体中に充填されるシルミンお
よび/またはガンマ−シルミンの量が5体積%よりも少
ないと、最終的に得られる複合体の靭性が十分でない。
ンマ−シルミンの量は、SiC多孔体に対して、5〜4
0体積%、望ましくは、10〜25体積%が好ましい、
SiC多孔体中に充填されるシルミンおよび/またはガ
ンマ−シルミンの量が40体積%よりも多いと、SIC
の特長である高硬度、高熱伝導性等の特性が発揮できな
くなり、一方、SiC多孔体中に充填されるシルミンお
よび/またはガンマ−シルミンの量が5体積%よりも少
ないと、最終的に得られる複合体の靭性が十分でない。
本発明の炭化珪素系複合体を製造するには、例えば、平
均粒径10〜20μmのSiC粉末とこれにフェノール
樹脂、フラン樹脂、ウレタン樹脂等の樹脂を5〜15重
量%の割合で配合し、また、ステアリン酸、パラフィン
、ワックス等の滑剤を1〜3重量%の割合で添加して湿
式混合する。
均粒径10〜20μmのSiC粉末とこれにフェノール
樹脂、フラン樹脂、ウレタン樹脂等の樹脂を5〜15重
量%の割合で配合し、また、ステアリン酸、パラフィン
、ワックス等の滑剤を1〜3重量%の割合で添加して湿
式混合する。
次いで乾燥後、所定の圧力で加圧成形し、真空または不
活性ガス雰囲気中、1400〜1500℃の温度で加熱
して前記樹脂を炭化する。そして、十分なSiと接触可
能な形態で再度1450〜1550°Cの温度で加熱す
る。
活性ガス雰囲気中、1400〜1500℃の温度で加熱
して前記樹脂を炭化する。そして、十分なSiと接触可
能な形態で再度1450〜1550°Cの温度で加熱す
る。
次いで降温後の材料に、所定の配合割合でシルミンおよ
び/またはガンマ−シルミンを接触させ、650〜50
0℃程度の温度範囲に維持する。
び/またはガンマ−シルミンを接触させ、650〜50
0℃程度の温度範囲に維持する。
実施例1
平均粒径10μmのSIC粉末に対しフェノール樹脂を
10重量%、ステアリン酸を1重量%加えて湿式混合し
た。乾燥後、金型に移して1.5ton/cdの圧力で
加圧成形した。非酸化性雰囲気で1500℃に加熱し樹
脂を炭化させた。
10重量%、ステアリン酸を1重量%加えて湿式混合し
た。乾燥後、金型に移して1.5ton/cdの圧力で
加圧成形した。非酸化性雰囲気で1500℃に加熱し樹
脂を炭化させた。
次いで炭化物を完全にSiCとするための最小必要限度
の51と接触させつつ再び1500℃まで加熱した。降
温後の材料に5115%A285%粉末を接触させ、再
び昇温させ750℃に1時間保持し、除冷した。
の51と接触させつつ再び1500℃まで加熱した。降
温後の材料に5115%A285%粉末を接触させ、再
び昇温させ750℃に1時間保持し、除冷した。
焼結体はシルミンおよび/またはガンマ−シルミンを1
5体積%含む複合体となった。シルミンおよび/または
ガンマ−シルミンの代わりにSiC多孔体の空隙にSi
を含浸させた場合との比較を第1表に示す。
5体積%含む複合体となった。シルミンおよび/または
ガンマ−シルミンの代わりにSiC多孔体の空隙にSi
を含浸させた場合との比較を第1表に示す。
実施例2
平均粒径10μmのSiC粉末に対しフェノール樹脂を
10重量%、ステアリン酸を1重量%加えて湿式混合し
た。乾燥後、金型に移して1、5 ton / c−の
圧力で加圧成形した。非酸化性雰囲気で1500℃に加
熱し樹脂を炭化させた。
10重量%、ステアリン酸を1重量%加えて湿式混合し
た。乾燥後、金型に移して1、5 ton / c−の
圧力で加圧成形した。非酸化性雰囲気で1500℃に加
熱し樹脂を炭化させた。
次いで炭化物を完全にSiCとするための最小必要限度
のSiと接触させつつ再び1500°Cまで加熱した。
のSiと接触させつつ再び1500°Cまで加熱した。
降温後の材料に5i18%−Mg0.3%−A1粉末を
接触させ、再び昇温させ700°Cに1時間保持し、除
冷した。
接触させ、再び昇温させ700°Cに1時間保持し、除
冷した。
焼結体はシルミンおよび/またはガンマ−シルミンを1
5体積%含む複合体となった。
5体積%含む複合体となった。
比較例
平均粒径10μmのSiC粉末に対しフェノール樹脂を
10重量%、ステアリン酸を1重量%加えて湿式混合し
た。乾燥後、金型に移して1、5 t o n / c
jの圧力で加圧成形した。非酸化性雰囲気で1500℃
に加熱し、樹脂を炭化させた0次いで炭化物を完全にS
iCとするためのSiと残留する気孔を完全に埋めるた
めのSiの合計量より過剰のSiを接触させつつ再び1
500°Cまで加熱した。降温後、焼結体の上に残った
Siを除去した。
10重量%、ステアリン酸を1重量%加えて湿式混合し
た。乾燥後、金型に移して1、5 t o n / c
jの圧力で加圧成形した。非酸化性雰囲気で1500℃
に加熱し、樹脂を炭化させた0次いで炭化物を完全にS
iCとするためのSiと残留する気孔を完全に埋めるた
めのSiの合計量より過剰のSiを接触させつつ再び1
500°Cまで加熱した。降温後、焼結体の上に残った
Siを除去した。
(以下、余白)
(以下、余白)
第1表から明らかなように、SiC多孔体の空隙にシル
ミンおよび/またはガンマ−シルミンを充填した複合体
は、比較例に比べて曲げ強度が高くなっており、破壊靭
性値は大幅に向上している。
ミンおよび/またはガンマ−シルミンを充填した複合体
は、比較例に比べて曲げ強度が高くなっており、破壊靭
性値は大幅に向上している。
本発明の材料は破壊靭性値が大きい利点を有しており、
クラックの発生が防止され、信鯨性の高い材料として用
いることができる。
クラックの発生が防止され、信鯨性の高い材料として用
いることができる。
Claims (5)
- (1)SiCの骨格よりなる多孔体の空隙を、シルミン
(Al−Si合金)および/またはガンマーシルミン(
Al−Si−Mg合金)で充填したことを特徴とする炭
化珪素系複合体。 - (2)SiCの多孔体を作製した後、この多孔体の空隙
に、融点以上に加熱されたシルミン (Al−Si合金)および/またはガンマーシルミン(
Al−Si−Mg合金)を含浸させることを特徴とする
炭化珪素系複合体の製造方法。 - (3)前記SiC多孔体を、SiC粉末と炭素粉末との
混合物を所定の形状に成形後、Siと反応結合させて作
製することを特徴とする請求項2記載の炭化珪素系複合
体の製造方法。 - (4)前記SiC多孔体を、SiC粉末と炭化性樹脂と
の混合物を所定の形状に成形し、前記樹脂を炭化させた
後、Siと反応結合させて作製することを特徴とする請
求項2記載の炭化珪素系複合体の製造方法。 - (5)SiC粉末に微量の焼結助剤を添加し、その混合
物を所定の形状に成形後、非酸化性雰囲気中で焼結する
ことを特徴とする請求項2記載の炭化珪素系複合体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2214066A JPH0497976A (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 炭化珪素系複合体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2214066A JPH0497976A (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 炭化珪素系複合体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497976A true JPH0497976A (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=16649691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2214066A Pending JPH0497976A (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 炭化珪素系複合体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0497976A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000281468A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-10-10 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 炭化珪素質複合体及びその製造方法とそれを用いた放熱部品 |
| JP2012144389A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Taiheiyo Cement Corp | SiC/Si複合材料 |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP2214066A patent/JPH0497976A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000281468A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-10-10 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 炭化珪素質複合体及びその製造方法とそれを用いた放熱部品 |
| JP2012144389A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Taiheiyo Cement Corp | SiC/Si複合材料 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4320204A (en) | Sintered high density boron carbide | |
| US4419161A (en) | Method of producing composite ceramic articles | |
| WO2014207776A1 (en) | Method for producing aluminum matrix composites through pressureless infiltration | |
| JP2535768B2 (ja) | 高耐熱性複合材料 | |
| JPS5918349B2 (ja) | 炭窒化チタン−ホウ化金属系セラミツクス材料 | |
| JPH01203261A (ja) | 自己支持体の製造方法 | |
| JPH0497976A (ja) | 炭化珪素系複合体およびその製造方法 | |
| KR101141263B1 (ko) | WC?Fe계 초경합금 접합재료 및 이의 제조방법 | |
| CA1125447A (en) | Ceramic cement and method of making composite ceramic articles | |
| JP2000288714A (ja) | 金属−セラミックス複合材料の製造方法 | |
| JPH0497975A (ja) | 炭化珪素系複合体およびその製造方法 | |
| JPS58125667A (ja) | 複合炭化珪素焼結成形体 | |
| JPS6357389B2 (ja) | ||
| JP7382105B1 (ja) | 高強度金属基複合体及び高強度金属基複合体の製造方法 | |
| JPH034514B2 (ja) | ||
| CN117684070A (zh) | 一种Ni3Ti/WC复合材料及其液态金属熔渗工艺制备方法 | |
| JPS6212191B2 (ja) | ||
| JPH11157965A (ja) | 金属−セラミックス複合材料及びその製造方法 | |
| JP4313442B2 (ja) | 金属−セラミックス複合材料及びその製造方法 | |
| JP4167318B2 (ja) | 金属−セラミックス複合材料の製造方法 | |
| JPH0571541B2 (ja) | ||
| JP4183361B2 (ja) | 金属−セラミックス複合材料の製造方法 | |
| JPH10219369A (ja) | セラミックスと金属の複合材料及びその製造方法 | |
| JP3358472B2 (ja) | 窒化珪素質セラミックス基複合材料の製造方法 | |
| JP4279370B2 (ja) | 金属−セラミックス複合材料の製造方法 |