JPH05112864A - 真空蒸着用水冷坩堝 - Google Patents
真空蒸着用水冷坩堝Info
- Publication number
- JPH05112864A JPH05112864A JP29766291A JP29766291A JPH05112864A JP H05112864 A JPH05112864 A JP H05112864A JP 29766291 A JP29766291 A JP 29766291A JP 29766291 A JP29766291 A JP 29766291A JP H05112864 A JPH05112864 A JP H05112864A
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- crucible
- water
- vacuum chamber
- cooling mechanism
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来の真空蒸着用水冷坩堝においては坩堝部
と水冷機構部が一体として形成され真空チャンバ内に固
定されるものであったので、坩堝部を清掃するときには
真空チャンバ内で行われ、その間は真空チャンバが使用
不可能となり生産効率が低下するなどの問題点を生じて
いた。 【構成】 水冷機構部３と坩堝部２とを別体に形成し、
熱伝導性が良好で且つ軟質な金属部材によるガスケット
６を挟持した真空蒸着用水冷坩堝１としたことで、狭着
時には変形して密着度を改善するガスケット６により性
能に劣化を来すことなく水冷機構部３と坩堝部２とを分
離可能とし、坩堝部２の清掃を真空チャンバ８０外で行
えるものとして、坩堝部２の清掃のために真空チャンバ
８０が使用不能となることをなくして生産性の向上を可
能とする。
と水冷機構部が一体として形成され真空チャンバ内に固
定されるものであったので、坩堝部を清掃するときには
真空チャンバ内で行われ、その間は真空チャンバが使用
不可能となり生産効率が低下するなどの問題点を生じて
いた。 【構成】 水冷機構部３と坩堝部２とを別体に形成し、
熱伝導性が良好で且つ軟質な金属部材によるガスケット
６を挟持した真空蒸着用水冷坩堝１としたことで、狭着
時には変形して密着度を改善するガスケット６により性
能に劣化を来すことなく水冷機構部３と坩堝部２とを分
離可能とし、坩堝部２の清掃を真空チャンバ８０外で行
えるものとして、坩堝部２の清掃のために真空チャンバ
８０が使用不能となることをなくして生産性の向上を可
能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空蒸着を行うときに真
空チャンバ内で蒸着部材を蒸発させるために用いられる
坩堝に関するものであり、詳細には冷却のための水冷機
構が一体に設けられた坩堝に係るものである。
空チャンバ内で蒸着部材を蒸発させるために用いられる
坩堝に関するものであり、詳細には冷却のための水冷機
構が一体に設けられた坩堝に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の真空蒸着用水冷坩堝９０
の例を示すものが図４、図５であり、銅など熱伝導性と
導電性に優れる円筒状部材の上方から皿状に凹部を形成
することで蒸着材料２０を載置する坩堝部９１を形成
し、同時に前記坩堝９０の内部に空洞９２ａを形成し、
この空洞９２ａに液体循環用パイプ９２ｂを接続するこ
とで冷却水の注入、排出を可能とする水冷機構部９２と
するものであり、実際の形成時には前記空洞９２ａには
溶接などで底板９２ｃを取付けることで前記した冷却水
の漏出が生じない密封状態とされている。また、前記真
空蒸着用水冷坩堝９０には前記坩堝部９１、水冷機構部
９２と同時に支持台部９３が設けられ、この支持台部９
３で真空チャンバ８０内に固定されている。
の例を示すものが図４、図５であり、銅など熱伝導性と
導電性に優れる円筒状部材の上方から皿状に凹部を形成
することで蒸着材料２０を載置する坩堝部９１を形成
し、同時に前記坩堝９０の内部に空洞９２ａを形成し、
この空洞９２ａに液体循環用パイプ９２ｂを接続するこ
とで冷却水の注入、排出を可能とする水冷機構部９２と
するものであり、実際の形成時には前記空洞９２ａには
溶接などで底板９２ｃを取付けることで前記した冷却水
の漏出が生じない密封状態とされている。また、前記真
空蒸着用水冷坩堝９０には前記坩堝部９１、水冷機構部
９２と同時に支持台部９３が設けられ、この支持台部９
３で真空チャンバ８０内に固定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ここで、真空蒸着用水
冷坩堝９０の使用状況について説明を行えば、蒸着工程
が繰り返されるに従って蒸着材料２０中の不純物などが
坩堝部９１に残余し、この残余物が蒸着の仕上がりに悪
影響を及ぼすものとなるので、蒸着作業中にはかなりの
頻度で前記坩堝部９１の清掃を行わなければ成らないも
のとなる。
冷坩堝９０の使用状況について説明を行えば、蒸着工程
が繰り返されるに従って蒸着材料２０中の不純物などが
坩堝部９１に残余し、この残余物が蒸着の仕上がりに悪
影響を及ぼすものとなるので、蒸着作業中にはかなりの
頻度で前記坩堝部９１の清掃を行わなければ成らないも
のとなる。
【０００４】しかしながら、前記した従来の真空蒸着用
水冷坩堝９０においては真空チャンバ８０内に固定され
ているものとなっているので、坩堝部９１の清掃も真空
チャンバ８０内で行わざるを得ないものとなり、この間
は真空チャンバ８０が使用不能となって生産効率を低下
させる問題点を生ずると共に、この清掃時に前記した残
余物を真空チャンバ８０内に飛散させて以後の蒸着に悪
影響を与え、清掃効果も充分でない問題点を生ずるもの
となり、これらの点の解決が課題とされるものとなって
いた。
水冷坩堝９０においては真空チャンバ８０内に固定され
ているものとなっているので、坩堝部９１の清掃も真空
チャンバ８０内で行わざるを得ないものとなり、この間
は真空チャンバ８０が使用不能となって生産効率を低下
させる問題点を生ずると共に、この清掃時に前記した残
余物を真空チャンバ８０内に飛散させて以後の蒸着に悪
影響を与え、清掃効果も充分でない問題点を生ずるもの
となり、これらの点の解決が課題とされるものとなって
いた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記した従来の
課題を解決するための具体的な手段として、水冷機構を
備え且つ真空チャンバへの取付部となる水冷機構部の上
方に蒸着材料を載置する坩堝部が一体化されて成る真空
蒸着用水冷坩堝において、前記水冷機構部と前記坩堝部
とは別体に形成され、熱伝導性が良好で且つ比較的に軟
質な部材により形成されたガスケットを挟持させ係止手
段にて着脱を自在として一体化されていることを特徴と
する真空蒸着用水冷坩堝を提供することで、前記した従
来の課題を解決するものである。
課題を解決するための具体的な手段として、水冷機構を
備え且つ真空チャンバへの取付部となる水冷機構部の上
方に蒸着材料を載置する坩堝部が一体化されて成る真空
蒸着用水冷坩堝において、前記水冷機構部と前記坩堝部
とは別体に形成され、熱伝導性が良好で且つ比較的に軟
質な部材により形成されたガスケットを挟持させ係止手
段にて着脱を自在として一体化されていることを特徴と
する真空蒸着用水冷坩堝を提供することで、前記した従
来の課題を解決するものである。
【０００６】
【実施例】つぎに、本発明を図に示す一実施例に基づい
て詳細に説明する。尚、理解を容易とするために従来例
と同じ部分には同じ符号を付して説明し、重複する部分
については一部その説明を省略する。図１、図２に符号
１で示すものは本発明に係る真空蒸着用水冷坩堝（以下
に蒸着用坩堝１と略称する）であり、この蒸着用坩堝１
は蒸着材料２０を載置し加熱して蒸発させるための坩堝
部２と、空洞部３ａと液体循環用パイプ３ｂとが設けら
れた水冷機構部３と、この蒸着用坩堝１を真空チャンバ
８０に固定するための支持台部４とで構成されるもので
ある点は従来例のものと同様である。
て詳細に説明する。尚、理解を容易とするために従来例
と同じ部分には同じ符号を付して説明し、重複する部分
については一部その説明を省略する。図１、図２に符号
１で示すものは本発明に係る真空蒸着用水冷坩堝（以下
に蒸着用坩堝１と略称する）であり、この蒸着用坩堝１
は蒸着材料２０を載置し加熱して蒸発させるための坩堝
部２と、空洞部３ａと液体循環用パイプ３ｂとが設けら
れた水冷機構部３と、この蒸着用坩堝１を真空チャンバ
８０に固定するための支持台部４とで構成されるもので
ある点は従来例のものと同様である。
【０００７】しかしながら、本発明により前記蒸着用坩
堝１は坩堝部２と水冷機構部３との夫々が別体に形成さ
れ、両者、即ち坩堝部２と水冷機構部３とは適宜数の螺
子５による螺着により一体化が行われるものとされ、こ
れにより前記螺子５の取付、取外しを行うことで前記坩
堝部２と水冷機構部３とは着脱を自在なものとされてい
る。
堝１は坩堝部２と水冷機構部３との夫々が別体に形成さ
れ、両者、即ち坩堝部２と水冷機構部３とは適宜数の螺
子５による螺着により一体化が行われるものとされ、こ
れにより前記螺子５の取付、取外しを行うことで前記坩
堝部２と水冷機構部３とは着脱を自在なものとされてい
る。
【０００８】ここで、前記坩堝部２と水冷機構部３との
着脱を自在とするときの構成について更に詳細に説明を
行えば、両者２、３は熱伝導性が良好で且つ比較的に軟
質な金属部材であるインジュウムを用いて形成されたガ
スケット６を挟持して係着されるものであり、これによ
り前記坩堝部２と水冷機構部３との熱伝導性を両者を直
接に係着したときに比して格段に向上させるものとして
いる。
着脱を自在とするときの構成について更に詳細に説明を
行えば、両者２、３は熱伝導性が良好で且つ比較的に軟
質な金属部材であるインジュウムを用いて形成されたガ
スケット６を挟持して係着されるものであり、これによ
り前記坩堝部２と水冷機構部３との熱伝導性を両者を直
接に係着したときに比して格段に向上させるものとして
いる。
【０００９】図３に示すものは上記したガスケット６の
作用を示すもので、坩堝部２及び水冷機構部３を形成す
るときの旋盤などによる機械加工時においては、高精度
と称される研削方法で加工したときにも、その加工面に
２０〜５０ミクロンの凹凸を生じているのが通常であ
り、よって、坩堝部２と水冷機構部３とを直接に係着さ
せたときには複数位置での点接触の状態となり、両者
２、３間の熱伝導性は大きく阻害されるものとなる。
作用を示すもので、坩堝部２及び水冷機構部３を形成す
るときの旋盤などによる機械加工時においては、高精度
と称される研削方法で加工したときにも、その加工面に
２０〜５０ミクロンの凹凸を生じているのが通常であ
り、よって、坩堝部２と水冷機構部３とを直接に係着さ
せたときには複数位置での点接触の状態となり、両者
２、３間の熱伝導性は大きく阻害されるものとなる。
【００１０】上記の状態を解決するために採用されるも
のが前記ガスケット６であり、ガスケット６を坩堝部２
と水冷機構部３との間に挟持し、前記螺子５により螺着
を行うことで、形成された部材の硬度（柔らかさ）によ
りガスケット６は図示のように前記した凹凸間に変形し
て侵入し、これにより坩堝部２と水冷機構部３と間の接
触面積を飛躍的に増大させ、以て、両者２、３間に良好
な熱伝導性が得られるものとする。尚、図３においては
理解を容易とするために坩堝部２と水冷機構部３との夫
々の接合面は著しく誇張した状態で記載してある。
のが前記ガスケット６であり、ガスケット６を坩堝部２
と水冷機構部３との間に挟持し、前記螺子５により螺着
を行うことで、形成された部材の硬度（柔らかさ）によ
りガスケット６は図示のように前記した凹凸間に変形し
て侵入し、これにより坩堝部２と水冷機構部３と間の接
触面積を飛躍的に増大させ、以て、両者２、３間に良好
な熱伝導性が得られるものとする。尚、図３においては
理解を容易とするために坩堝部２と水冷機構部３との夫
々の接合面は著しく誇張した状態で記載してある。
【００１１】次いで、上記の構成とした本発明の蒸着用
坩堝１の作用、効果について説明を行えば、前記坩堝部
２と水冷機構部３とが螺子５による螺着と云う簡便な手
段で着脱を可能とされたことで、蒸着工程時において前
記坩堝部２に清掃の必要を生じたときには、この坩堝部
２のみを取外し清掃済みの坩堝部２と交換することによ
り真空チャンバ８０の使用不能となる時間は著しく短縮
されるものとなる。
坩堝１の作用、効果について説明を行えば、前記坩堝部
２と水冷機構部３とが螺子５による螺着と云う簡便な手
段で着脱を可能とされたことで、蒸着工程時において前
記坩堝部２に清掃の必要を生じたときには、この坩堝部
２のみを取外し清掃済みの坩堝部２と交換することによ
り真空チャンバ８０の使用不能となる時間は著しく短縮
されるものとなる。
【００１２】また、前記坩堝部２が取外し可能とされた
ことで、この坩堝部２の清掃が真空チャンバ８０の外部
で行えるものとなり、清掃作業により残余物が真空チャ
ンバ８０内に飛散する事態をなくして、真空チャンバ８
０内の清浄度が一層に高められるものとなる。
ことで、この坩堝部２の清掃が真空チャンバ８０の外部
で行えるものとなり、清掃作業により残余物が真空チャ
ンバ８０内に飛散する事態をなくして、真空チャンバ８
０内の清浄度が一層に高められるものとなる。
【００１３】尚、図３の実施例において、ガスケット６
としては金属部材を使用した例で説明したが、これは、
熱伝導性が良く且つ比較的に軟質な部材であれば、例え
ば、ボロンナイトライト（ＢＮ）など非金属部材を選択
することも自在である。
としては金属部材を使用した例で説明したが、これは、
熱伝導性が良く且つ比較的に軟質な部材であれば、例え
ば、ボロンナイトライト（ＢＮ）など非金属部材を選択
することも自在である。
【００１４】このようにすることで、前記ガスケット６
は一層に坩堝部２、水冷機構部３の加工面の凹凸間に嵌
入するものとなり、坩堝部２とガスケット６と水冷機構
部３との夫々の間は完全な密着状態となるので、坩堝部
２と水冷機構部３とは実質的に一体で形成されたのとほ
ぼ同等の熱伝導性が得られるものとなり、一層の性能向
上が期待できるものとなる。
は一層に坩堝部２、水冷機構部３の加工面の凹凸間に嵌
入するものとなり、坩堝部２とガスケット６と水冷機構
部３との夫々の間は完全な密着状態となるので、坩堝部
２と水冷機構部３とは実質的に一体で形成されたのとほ
ぼ同等の熱伝導性が得られるものとなり、一層の性能向
上が期待できるものとなる。
【００１５】以上の説明で明らかなように、前記ガスケ
ット６を形成するための部材は上記の条件、即ち、熱伝
導性、硬度などを満足するものであれば、具体例として
記載したインジュウム以外のどのような部材を選択して
も良いものであることは云うまでもない。
ット６を形成するための部材は上記の条件、即ち、熱伝
導性、硬度などを満足するものであれば、具体例として
記載したインジュウム以外のどのような部材を選択して
も良いものであることは云うまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上に説明したように本発明により、水
冷機構部と坩堝部とは別体に形成され、熱伝導性が良好
で且つ比較的に軟質な部材により形成されたガスケット
を挟持させることで着脱を自在として一体化されている
真空蒸着用水冷坩堝としたことで、狭着時には変形して
密着度を改善するガスケットにより性能に劣化を来すこ
となく水冷機構部と坩堝部との着脱を自在とし、この着
脱自在としたことで坩堝部の清掃を真空チャンバ外で行
えるものとして、坩堝部の清掃のために真空チャンバが
使用不能となる事態をなくして生産性の向上に優れた効
果を奏するものとする。
冷機構部と坩堝部とは別体に形成され、熱伝導性が良好
で且つ比較的に軟質な部材により形成されたガスケット
を挟持させることで着脱を自在として一体化されている
真空蒸着用水冷坩堝としたことで、狭着時には変形して
密着度を改善するガスケットにより性能に劣化を来すこ
となく水冷機構部と坩堝部との着脱を自在とし、この着
脱自在としたことで坩堝部の清掃を真空チャンバ外で行
えるものとして、坩堝部の清掃のために真空チャンバが
使用不能となる事態をなくして生産性の向上に優れた効
果を奏するものとする。
【００１７】また、坩堝部の清掃を真空チャンバ外で行
えるものとしたことで、この清掃に伴い残余物が真空チ
ャンバ内に飛産することをなくして、真空チャンバ内を
清浄に保ち、得られる製品の品質向上にも優れた効果を
奏するものとする。
えるものとしたことで、この清掃に伴い残余物が真空チ
ャンバ内に飛産することをなくして、真空チャンバ内を
清浄に保ち、得られる製品の品質向上にも優れた効果を
奏するものとする。
【図１】 本発明に係る真空蒸着用水冷坩堝の一実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】 図１のＡ―Ａ線に沿う断面図である。
【図３】 同じ実施例を一部を拡大した状態で示す断面
図である。
図である。
【図４】 従来例を示す斜視図である。
【図５】 図４のＢ―Ｂ線に沿う断面図である。
１……真空蒸着用水冷坩堝 ２……坩堝部 ３……水冷機構部 ３ａ……空洞部、３ｂ……液体循環用パイプ ４……支持台部 ５……螺子 ６……ガスケット
Claims (1)
- 【請求項１】 水冷機構を備え且つ真空チャンバへの取
付部となる水冷機構部の上方に蒸着材料を載置する坩堝
部が一体化されて成る真空蒸着用水冷坩堝において、前
記水冷機構部と前記坩堝部とは別体に形成され、熱伝導
性が良好で且つ比較的に軟質な部材により形成されたガ
スケットを挟持させ係止手段にて着脱を自在として一体
化されていることを特徴とする真空蒸着用水冷坩堝。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29766291A JPH05112864A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 真空蒸着用水冷坩堝 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29766291A JPH05112864A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 真空蒸着用水冷坩堝 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05112864A true JPH05112864A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17849504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29766291A Pending JPH05112864A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 真空蒸着用水冷坩堝 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05112864A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009299115A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
| CN107328234A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-11-07 | 核工业理化工程研究院 | 套管水道式水冷坩埚及真空电子束熔炼装置 |
| KR20190079472A (ko) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 증발원 및 증착 장치 |
| CN116697753A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-09-05 | 四川杉杉新材料有限公司 | 一种坩埚转移装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200794A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-11 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 永久磁石型同期電動機の過負荷検出保護装置 |
| JPH0320464A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-29 | Stanley Electric Co Ltd | 真空蒸着装置 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP29766291A patent/JPH05112864A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200794A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-11 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 永久磁石型同期電動機の過負荷検出保護装置 |
| JPH0320464A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-29 | Stanley Electric Co Ltd | 真空蒸着装置 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107328234B (zh) * | 2017-08-14 | 2023-11-28 | 核工业理化工程研究院 | 套管水道式水冷坩埚及真空电子束熔炼装置 |
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| JP2019116663A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸発源及び蒸着装置 |
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| CN116697753B (zh) * | 2023-08-10 | 2023-10-10 | 四川杉杉新材料有限公司 | 一种坩埚转移装置 |
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