JPH0512075U - デイスク研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ディスクの表面を部分研磨するに当って、研
磨加工域と非加工域との間の境界部分を連続的に研磨量
が減少するようになし、その境界線が無い状態に加工で
きるようにする。 【構成】 加圧ローラ３により研磨テープ４をディスク
１の表面に押し付けて研磨する。加圧ローラ３の弾性部
材８の端面部分に、所定の深さと幅を有する溝１３を同
心円状に形成する。また、この円環状突条部１４の先端
部は円弧状部１４ａとして、エッジが無い状態とする。
加工時は、両円環状突条部１４，１４の間の部分は均一
で大きな加圧力を作用し、円環状突条部１４の根元部分
から先端部に向けては連続的に加圧力を減少しつ、円弧
非加工領域に移行する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば磁気ディスクの表面にテクスチャ加工等の表面研磨を行うた めのディスク研磨装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、磁気ディスクの表面にテクスチャ加工を施すに当っては、ディスクを スピンドルに装着して、このディスクを回転させる間に、その表面に加圧ローラ により研磨テープを押し当て、この研磨テープを送りながら、研磨テープ自体に 研磨剤を含浸させるか、または研磨剤供給ノズルにより研磨剤を供給して、この 研磨剤によってディスクの表面に微小な傷を付けるように加工する。

【０００３】 ここで、ディスクの表面全体を均一に加工する場合には、例えばディスクの半 径方向の全体を覆う幅を有する研磨テープと、この研磨テープを加圧する加圧ロ ーラを用いて、ディスク全体に加圧力を作用させて、加工を行うようにすればよ い。しかしながら、磁気ディスクを回転させたときには、その内周側と外周側と では周速が異なること等の理由から、ディスクの内周側と外周側とでは、その加 工密度を変える必要がある。このために、従来は研磨テープをディスクに押し付 ける加圧ローラの回転軸を傾斜させることによって、ディスクの内周側と外周側 とで加圧力に変化を持たせるようにしていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、加圧ローラの回転軸を傾けるだけでは、必ずしも目的とする程 度に加工密度の差を持たせることができない場合がある。このために、ディスク の表面を部分的に研磨加工することが好ましい。そこで、ディスクの半径方向に おける一部分をカバーする幅を有する加圧ローラを用い、この加圧ローラによっ て、ディスクの半径方向の一部、例えばその内周側の部分に対して部分研磨する ことは可能である。

【０００５】 しかしながら、前述したような部分研磨を行うと、加圧ローラが当接して研磨 を施した部分と、それ以外の研磨加工を施さない部分との間に明確な境界線が生 じることになり好ましくはない。このような境界線ができるのを防止するために 、加圧ローラを円弧状に形成してエッジ部分を無くすことも考えられる。このよ うな構成とすれば、境界部分の研磨量をある程度連続的に変化させることができ るが、ディスクへの加圧力がこの加圧ローラの全体にわたって一定であることか ら、なお境界部分における研磨量に明白な差が生じる。

【０００６】 本考案は以上のような従来技術の欠点や問題点を解消するためになされたもの であって、その目的とするところは、部分研磨を行うに当って、研磨加工域と非 加工域との間の境界部分において連続的に研磨量が減少して、その境界線が無い 状態に加工できるようにしたディスク研磨装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

前述した目的を達成するために、本考案は、研磨テープをディスクに押し付け るための加圧ローラの少なくとも一方側の端部には円環状に形成した加圧力漸減 部を設け、かつこの加圧力漸減部の先端部分を円弧状に形成する構成としたこと をその特徴とするものである。

【０００８】

【作用】

このような構成を採用することによって、加圧ローラにより研磨テープをディ スク表面に押し付けると、その加圧力漸減部以外の部分は大きな加圧力を発揮し て、ディスク面に圧接し、加圧力漸減部は、その根元側から先端側に向けて連続 的に加圧力が弱くなり、しかもその先端部は円弧状となっているので、この円環 状突条部のディスクに対する加圧力は側部に向かって連続的に減少して、やがて 加圧力が０の状態となる。この結果、研磨加工領域と非加工領域との間の境界線 が無い状態に加工することができる。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。 この実施例においては、磁気ディスクの製造工程において、ディスク表面に磁 気記録膜を形成した後に、その表面を研磨してテクスチャ加工を行うためのスピ ンドルとして構成したものを示すが、本考案のスピンドルはこの種の加工を行う ためのものに限定されるものではないことは言うまでもない。

【００１０】 而して、図１に研磨装置の全体構成を示す。図中において、１は被加工物とし て、アルミニウム円板からなるディスクを示し、このディスク１はスピンドル２ に装着されて回転駆動される間に、加圧ローラ３によって研磨テープ４を表裏両 面に摺接させて、表裏両面を同時に研磨加工することができるようになっている 。ここで、研磨テープ４は、供給リール５から巻き取りリール６に向けて送るよ うになし、かつこの研磨テープ４にダイヤモンドパウダ等からなる研磨剤を含浸 させるか、または別途研磨剤供給ノズルから研磨剤を供給することにより、研磨 テープ４を加圧ローラ３によって所定の加圧力でディスク１の表面に摺接させる 間に、研磨剤によりこのディスク１の表面を研磨加工される。

【００１１】 ここで、加圧ローラ３は、図２に示したように、金属等で形成したリング７の 外周面に所定厚みのゴムその他の部材からなる弾性部材８を装着してなるもので あって、この加圧ローラ３は軸受９により軸１０に回転自在に支承されている。 また、この軸１０は加圧ブロック１１に装着されており、この加圧ブロック１１ は平行板ばね１２に連結されて、この平行板ばね１２のばね力によって加圧ロー ラ３に所定の加圧力をもってディスク１に研磨テープ４を押し付けることができ るようになっている。加圧ローラ３の軸線方向の長さはディスク１の内周縁部と 外周縁部との間の間隔、即ちディスク１の半径方向の幅の一部分をカバーする寸 法となっており、これによってディスク１の半径方向の一部のみの部分研磨加工 を行うことができるようになっている。

【００１２】 前述したように、ディスク１を部分研磨加工する際に、加圧ローラ３により研 磨テープ４がディスク１の表面に押し付けられている部分と、それ以外の部分と の間に境界線が出ないようにするために、加圧ローラ３における弾性部材８の端 面部分には、所定の深さと幅を有する溝１３が、この加圧ローラ３の外周面と同 心円状に形成されている。これによって、溝１３により区画形成される外周側の 部分は加圧力漸減部として機能する円環状突条部１４となっている。また、この 円環状突条部１４の先端部は円弧状部１４ａとなって、エッジが無い状態となっ ている。

【００１３】 このような構成を採用することによって、ディスク１をスピンドル２に装着し て回転駆動すると共に、加圧ローラ３により研磨テープ４をこのディスク１の表 面に押し付けて、この研磨テープ４を供給リール５側から巻き取りリール６側に 送ることによって、ディスク１の表面における一部の領域の部分研磨加工を行う ことができる。而して、加圧ローラ３の弾性部材８の両端部には溝１３を設ける ことにより円環状突条部１４が形成されていることから、図３に示したように、 加圧ローラ３における両円環状突条部１４，１４の間の部分は均一で大きな加圧 力を作用させることができる。しかしながら、円環状突条部１４はその根元部分 から先端部に向けて連続的に加圧力が減少することになる。しかも、この円環状 突条部１４の先端部分には円弧状部１４ａが形成されていることから、その円弧 状部１４ａのカーブの途中位置で加圧力が０になるが、この加圧力が０になり、 非加工領域に移行するまでは加圧力は連続的に減少することになり、境界線が出 ない状態に研磨加工することができることになる。

【００１４】 なお、ここで、加圧ローラ３に設けられる溝としては、図２に示した溝１３の ように、角溝で形成してもよいが、図４に示したように、Ｖ字状の溝１３′とす ることもできる。また、図５に示したように、加圧ローラ２０の端部に円環状突 条２１を延在させて設けることによっても加圧力漸減部を形成することができ、 この円環状突条２１の先端部分に円弧状部２１ａを設けるようにしてもよい。そ して、例えばディスク１の内周側または外周側の端部から所定の範囲の研磨加工 を行うには、片側のみに円環状突条部を形成し、他側にはこのような円環状突条 部を設ける必要はない。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案は、加圧ローラの少なくとも一方側の端部には円 環状に形成した加圧力漸減部を設けて、この加圧ローラによる研磨テープのディ スク表面への加圧力を連続的に減少させるようになし、かつこの加圧力漸減部の 先端部分を円弧状に形成する構成としたので、ディスクの部分研磨加工を行うに 当って、研磨加工領域と非加工領域との間に境界線が出るのを防止することがで きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ディスクの研磨装置の全体構成図である。

【図２】本考案の第１の実施例を示す加圧ローラの断面
図である。

【図３】図２の加圧ローラの圧力分布を示す説明図であ
る。

【図４】本考案の第２の実施例を示す加圧ローラの要部
断面図である。

【図５】本考案の第３の実施例を示す加圧ローラの断面
図である。

【符号の説明】

１ ディスク ２ スピンドル ３，２０ 加圧ローラ ４ 研磨テープ ７ リング ８ 弾性部材 １３，１３′ 溝 １４ 円環状突条部 １４ａ 円弧部 ２１ 円環状突条

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 スピンドルに装着して、このスピンドル
   によって回転駆動されるディスクの表面に、弾性部材か
   らなり、このディスクの半径方向における一部分をカバ
   ーする長さを有する加圧ローラによって研磨テープを所
   定の加圧力で押し当てて、このディスクの表面を研磨す
   るものにおいて、前記加圧ローラの少なくとも一方側の
   端部には円環状に形成した加圧力漸減部を設け、かつこ
   の加圧力漸減部の先端部分を円弧状に形成する構成とし
   たことを特徴とするディスクの研磨装置。
2. 【請求項２】 前記加圧ローラの端面部に所定の幅と深
   さとを有する溝を加圧ローラの外周面と同心円状に形成
   することによって、所定厚みの加圧力漸減部を設ける構
   成としたことを特徴とする請求項１記載のディスク研磨
   装置。