JPH05134113A - 固体撮像素子用光学カラーフイルター - Google Patents

固体撮像素子用光学カラーフイルター

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JPH05134113A
JPH05134113A JP29537191A JP29537191A JPH05134113A JP H05134113 A JPH05134113 A JP H05134113A JP 29537191 A JP29537191 A JP 29537191A JP 29537191 A JP29537191 A JP 29537191A JP H05134113 A JPH05134113 A JP H05134113A
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optical
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filter
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Kazuhisa Tajima
一久 田島
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    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/30—Coatings
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    • H—ELECTRICITY
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  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】固体撮像素子用光学カラーフィルターの劣化防
止。 【構成】従来の光学カラーフィルターに可視光領域外
（特に紫外側）の光を遮断するフィルター層を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体撮像素子の光学カラ
ーフィルターに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、固体撮像素子の光学カラーフィル
ターは、被染色材を任意のパターンにパターニング後、
可視光領域に特定の吸収波長を持つ染色液に浸漬し、規
定の分光特性を得ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光学フ
ィルターの構造は、図３に示す様に、固体撮像素子用光
学カラーフィルター１０として必要な３〜４種類の特定
な光学分光特性を持つ光学フィルター層４，５，６を層
間膜３を間に挾んだ積層構造にして製造している。この
他に、光学フィルター層４，５，６を同一平面上に形成
した単層の光学カラーフィルターもあるが、以下の説明
に擦して特に指定がない限り図３に示す積層構造タイプ
のものを例に上げて説明するものとする。
【０００４】この様な被染色材を染料で染色した光学フ
ィルター層４，５，６は、光の照射によりその透過率が
高くなる方向に変動する。
【０００５】要するに光エネルギーにより染料が分解さ
れて光学分光特性が劣化するわけである。特にこの傾向
は紫外光領域の光により顕著に見られる。このため、光
電変換素子上に光学カラーフィルター形成後、ビデオカ
メラに組込むまでの保管状態や保管時間により光学分光
特性が少なからず劣化していた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像素子用
光学カラーフィルターは、可視光領域外に吸収波長を持
つ光学フィルター層を設ける事により、光電変換素子上
に形成した可視光領域に光特性を有する光学フィルター
層の光学分光特性の劣化を改善する。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の固体撮像素子用光学カラ
ーフィルターの断面図である。構造としては、図３に示
す従来の光学カラーフィルター平坦化膜２の上にカゼイ
ンを塗布し、図５，図６，図７に各々示す分光特性
（Ａ）及び構造式（Ｂ）を有するナフタレン系・ベンゾ
フェノン系・フェニル系の可視光領域（４００ｎｍ〜７
００ｎｍ）よりも紫外側に吸収波長を持つ染料で染色
し、紫外線カットフィルター層１を従来の固体撮像素子
用光学カラーフィルター上に形成する。
【０００８】紫外線カットフィルター層１による光学分
光フィルター特性の劣化改善効果を図４に本発明の効果
として示す。サンプルは補色ＲＥＤの光学分光特性を持
つアゾ系染料を用いた時のものである。また、図４の効
果は一例であり、カゼイン膜厚や染料条件及び染料の吸
収ピークの違いにより更に改善効果が得られる。
【０００９】図２は、更なる光学分光フィルター特性改
善を求めて、各光学フィルター層４，５，６上に紫外線
カットフィルター層１をそれぞれ形成してフィルター製
造期間中の光学分光特性の劣化をも改善しようとした本
発明の実施例の断面図である。
【００１０】図２には光学フィルター層４，５，６の表
面を紫外カットフィルター化した例を示しているが、製
造精度から考えると光学フィルター層４，５，６と紫外
カットフィルター層とを別々に形成する方が良好な結果
を得る。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は可視光領域
外に吸収波長を持つ光学フィルター層（紫外線カットフ
ィルター層）を設けるたので、固体撮像素子の光学カラ
ーフィルターの光学分光特性の劣化を改善するという効
果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の断面図。
【図２】本発明の実施例２の断面図。
【図３】従来の断面図。
【図４】本発明の効果を示す図。
【図５】本発明に使用できる染料の分光特性の例を示す
図。
【図６】本発明に使用できる染料の例を示す図。
【図７】本発明に使用できる染料の例を示す図。
【符号の説明】
１ 紫外線カットフィルター層 ２ 平坦化膜 ３ 層間膜 ４ 光学フィルター層（補色レッド） ５ 光学フィルター層（補色ブルー） ６ 光学フィルター層（イエロー） ７ 光電変換素子

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 可視光領域に特定の吸収特性を有する光
    学フィルター層を１つまたは複数備えた固体撮像素子用
    光学カラーフィルターにおいて、前記光学フィルター層
    の光入射側に、可視光領域外に吸収特性を持つ光学フィ
    ルター層を設けた事を特徴とする固体撮像素子用光学カ
    ラーフィルター。
JP29537191A 1991-11-12 1991-11-12 固体撮像素子用光学カラーフィルター及びその製造方法並びに固体撮像素子 Expired - Fee Related JP3130601B2 (ja)

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