JPH0513794B2 - - Google Patents

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JPH0513794B2
JPH0513794B2 JP61061636A JP6163686A JPH0513794B2 JP H0513794 B2 JPH0513794 B2 JP H0513794B2 JP 61061636 A JP61061636 A JP 61061636A JP 6163686 A JP6163686 A JP 6163686A JP H0513794 B2 JPH0513794 B2 JP H0513794B2
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JP
Japan
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reduction
gear
stage
transmission means
shaft member
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Kazuyuki Matsumoto
Masataka Hashimoto
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Nabtesco Corp
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Teijin Seiki Co Ltd
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries

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  • Manipulator (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は産業ロボツトの関節駆動用減速装置に
関する。
(従来の技術) 産業ロボツトにおいては、一般に、作業に適し
た出力トルクを得るため、アーム等の駆動系(あ
るいは制御系という)には電動サーボモータまた
は電動パルスモータとこの出力を低速高トルクに
変換する減速装置とを用いている。
また、産業ロボツトに用いる減速装置は、例え
ば、減速比1/120程度の大減速比を有している
こと、また、歯車間のガタ、すなわち、いわゆる
バツクラツシユが小さいこと、さらに、慣性を小
さくするため軽量であること等が要求される。
これらの要求を満たすために、従来の産業ロボ
ツトは1段の減速で大減速比が得られ、また、累
積バツクラツシユが小さく、さらに、小型軽量の
減速装置が使用されている。このような、従来の
減速装置としては、例えば、特開昭59−190541号
公報に開示されているような調和歯車装置言わ
ば、撓み噛合式の遊星歯車装置および特開昭59−
106744号公報に開示されているような偏心揺動型
の遊星歯車装置がある。
従来、ロボツトの制御系においては、前記電動
モータと前記減速装置との組合せが用いられてい
るが、例えば、ロボツトの本体の第1アームに前
記電動サーボモータが取付けられ、電動サーボモ
ータの出力が、前記偏心揺動型の遊星歯車装置を
介してロボツトの第2アームに連結される。
電動サーボモータの回転数は減速装置で大幅に
減速され、得られた低速高トルクの回転力を有す
る出力が第2アームを回動し、作業する。一般
に、ロボツトアーム自体は剛性が高いためその固
有振動数は高い。しかしながら、ロボツト全体と
して見たとき、回動部近辺のロボツトの固有振動
数は一般に剛性の低い減速装置で決まり、減速装
置と同程度に低い。したがつて、制御系全体の固
有ねじり振動数f0は一般に数ヘルツの低くなり減
速装置に入力する電動モータの回転数が低い領域
でロボツトに最も大きな共振現象が生じる。その
結果、ロボツトのハンド部に振動を生じ、ロボツ
トによる作業のうち溶接、シーリング、組立等、
一般に電動モータの低回転数領域で行われる作業
において、正確な作業軌跡を得られない等の問題
が起こる。
このような問題点に対し、特開昭58−211881号
公報には、発生した振動を打ち消すように電動モ
ータの速度指令信号を変化させる電気的制御方式
が提案されている。しかしながら、このような方
式においてはフイードバツクゲインを大きくする
と系が不安定となり、特に剛性の低いロボツト駆
動系においては、逆に発振し易くなるという問題
点を生じるため、ゲインを大きくできず、したが
つて、充分な振動打ち消し効果を得られない。ま
た、特開昭59−175986号公報には高張力を与えた
タイミングベルトで減速機を駆動し、該ベルトで
振動を吸収する方式のものが提案されている。し
かしながら、この方式においてはタイミングベル
トが破断するという危険がある。
また、特開昭59−115189号公報には減速機の主
軸にねばりとおもりから成る吸振器を取り付ける
方式が提案されている。しかし、この方式におい
ては遠心力により吸振器が破損したり、ロボツト
の負荷荷重に対応しておもり等を調整しなければ
ならないという問題点がある。
(発明の目的) そこで、本発明は、単一の遊星歯車装置により
必要な減速比を満足できる産業ロボツトの関節駆
動用減速装置において、最も大きな振動がロボツ
トに生じる時のポイントを、ロボツトによる作業
のうち溶接作業等のように正確な作業軌跡を要す
る作業の領域外にシフトさせることができる産業
ロボツトの関節駆動用減速装置を提供することを
目的とする。
(発明の構成) 本発明は、人力軸部材および出力軸部材と、内
歯歯車、該内歯歯車に噛み合う外歯歯車および該
外歯歯車に係合して外歯歯車を駆動するカム軸を
有する型式で、前記入力軸部材と出力軸部材の間
に介在する遊星歯車装置を備えた産業ロボツトの
関節駆動用減速装置において、前記入力軸部材か
ら出力軸部材までの総減速比を、遊星歯車装置単
体の実在する減速比の範囲内に設定するととも
に、前記型式の遊星歯車装置の入力側に前記型式
とは異なる型式の前段回転伝導手段を設け、該前
段回転伝導手段の出力軸を後段回転伝導手段とし
ての前記遊星歯車装置の入力軸に結合し、前段回
転伝導手段と後段回転伝導手段とにより前記総減
速比を満足するようにしたことを特徴とするもの
である。
(実施例) 以下、本発明に係る産業ロボツトの関節駆動用
減速装置を図面に基づいて説明する。第1図ない
し第3図は、特許請求の範囲第1項および第2項
の本発明の一実施例を示す図である。
まず、構成について説明する。第1図は本発明
に係る産業ロボツトの関節駆動用減速装置を用い
たロボツトの制御系の全体概略説明図である。1
は産業ロボツトの駆動源である電動モータであ
り、電動モータ1のフランジ2は本発明に係る減
速装置3の筒体4に固定されている。筒体4はロ
ボツトの第1アーム5の先端部5aに固定されて
いる。電動モータ1の出力の回転軸7は減速装置
3の入力回転軸(入力軸部材)8に連結され、減
速装置3の出力は軸(出力軸部材)10に伝達さ
れ軸10の先端は円筒体11の中心を貫通し、ロ
ボツトの被駆動部12、すなわち、第2アームに
固定されている。第2アーム12の基部の筒状体
13と第1アーム5の先端部5aの下面から下方
に突出する円筒型の突出体15との間には一対の
ベアリング16は介装されている。突出体15の
内周面の円筒体11の中央部の外周面との間には
一対のベアリング17が介装されている。円筒体
11の上部および下部の内面と軸10との間には
それぞれ一対のベアリング18が介装されてい
る。したがつて、減速装置3は駆動部1の回転数
を減速してロボツトの被駆動部すなわち第2アー
ム12を回動させる。
減速装置3は第2図および第3図に示すよう
に、前段回転伝導手段としての第1段減速部20
と後段回転伝導手段としてと第2段減速部21と
から構成され、電動モータ1の回転数を減速する
第1段減速部20と、第1段減速部20の出力軸
に結合した第2段減速部の入力軸であるカム軸2
4を有し、第1段減速部の出力回転数をさらに減
速する第2段減速部21と、を備えている。第2
段減速部21は固定している内歯歯車22と、内
歯歯車22に噛み合う外歯歯車23と、外歯歯車
23に嵌合して外歯歯車23を揺動させながら駆
動回転させるカム軸24と、を有する偏心揺動型
の遊星歯車装置によつて構成されている。また、
内歯歯車22はピン歯26を用いたピン歯車27
で構成され、かつ外歯歯車23の歯数より1つだ
け多い歯数を有している。また、第1段減速部2
0は第2段減速部21の入力側に設けられ、第2
段減速部21の型式とはわざわざ異なる型式の平
行軸歯車装置である通常の平歯歯車により構成さ
れ、駆動源の回転出力が入力されている。
第1段減速部20の減速比と第2段減速部21
の減速比は電動モータ1の通常制御回転数、この
実施例においては、ロボツトの通常作業時、例え
ば、溶接ロボツトに主作業たる溶接作業を行わし
める時のモータ回転数の範囲内でロボツトすなわ
ち、第1アーム5および第2アーム12と、第2
段減速部21との共振が起きないように選択して
いる。一般に、ロボツトの必要減速比は1/50〜
1/300であり、この実施例においては、電動モ
ータ1の通常制御回転数が0〜1000rpmで、第1
段(前段)減速部20の減速比が1/2〜1/
5、また、第2段(後段)減速部21の減速比が
1/25〜1/60で、減速装置3の全体の減速比は
必要減速比の1/120になるように選択されてい
る。一方、遊星歯車装置単体が現実にとり得る減
速比は当該歯車の歯の許容応力等から自ずとその
上限、下限が定まるものであり、本願の「外歯歯
車に係合して外歯歯車を駆動するカム軸を有する
型式の遊星歯車装置」においては、実在物として
の上限は1/320程度で、下限は1/10程度であ
る。したがつて、本実施例における総減速比1/
120は、第2段減速部21としての遊星歯車装置
単体の実在する減速比の範囲1/10程度〜1/
320程度内に設定されている。
ここに、総減速比を本実施例のように1/120
程度に設定する場合、前段減速機20の減速比i1
が1/5未満(分母が大きくなることを意味す
る。以下同じ)または後段減速機21の減速比i2
が1/25を超える(分母が小さくなることを意味
する。以下同じ)と、構造の簡単な平行軸減速機
を前段減速機20に採用することによつては総減
速比を1/120程度よりも大きくすることは困難
となるので、設計的に不利となる。また、同様の
場合、後段減速機21の減速比i2が1/60未満ま
たは前段減速機20の減速比i1が1/2を超える
と、共振を防止できるロボツトの作業速度範囲が
狭くなる。
第2アーム12の軸10を中心としたねじりの
バネ定数は約37.5Kg・m/分である(ここに、分
とは1度の1/60の角度のことである。) 次に作用について説明する。
ロボツトの第2アーム12を回動する場合、電
動モータ1の回転軸7は制御回転数0〜1000rpm
の範囲で変化する。電動モータ1の回転数は減速
装置3でほぼ1/120に減速され、出力軸10は
第2アーム12の出力軸10を中心軸として回動
を始める。
本発明に係る減速装置は、第2図に示すよう
に、第1段(前段)減速部20と第2段(後段)
減速部21とを構成しており、かつ、第1段減速
部(平行軸歯車装置)20の減速比は1/3およ
び第2段減速部21(遊星歯車装置)の減速比は
1/40として、第1段減速部20を設けることに
より、第2段減速部21自体による加振周波数と
第2アーム12の回動部近辺の固有振動数が一致
するときの電動モータ回転数を高くし、かつ、電
動モータ1の通常制御回転数の範囲外としてい
る。したがつて、第2段減速部21と第2アーム
との間で実質的に有害となるような共振は通常回
転数の範囲(0〜1000rpm)では起きない。
第1段減速部20を設けることにより、減速装
置3は部品数および重量は増加すると考えられる
が、第1段減速部20を設けることにより、第2
段減速部21が小型となり、また、第1段減速部
20は減速比は小さく、簡単でよい。したがつ
て、減速装置3の全体の部品数および重量はそれ
ほど増加しない。また、第1段減速部20を設け
ることによりバツクラツシユが大きくなるが、部
品数は少なく、バツクラツシユの増加量は最小限
に留めることができる。また、第1段減速部20
のバツクラツシユは第2段減速部21によつて第
2段減速部21の減速比と同じ比率で縮小され実
用上は殆ど問題とならない。
実施例 次に、減速装置の種類を変えた場合、減速装置
とロボツトとの共振の発生状態について実験し
た。
別表において、比較した減速装置は前述の実施
例の減速装置のほかに比較例1〜3に示す減速装
置である。ただし、前述の実施例を含め偏心揺動
型の遊星歯車装置は、クランク軸および外歯歯車
の揺動によるアンバランスを防ぐため、実開昭59
−127951号公報に開示されているように外歯歯車
を2枚とし、これらを180度の位相差をもつて組
付けたもので、かつ、内歯歯車が外歯歯車の歯数
より1つ多い歯数を有するものを用いた。また、
調和歯車装置は内歯歯車が外歯歯車の歯数より2
つ多い歯数を有するものを用いた。それぞれの減
速装置の減速段数、減速比i1、i2、ねじりばね定
数K1、および慣性モーメントJは別表に示して
ある。
実験は第5図に示す全体構成図によつて実施し
た。すなわち、電動サーボモータ31の出力軸3
1bに減速装置32を取付け、減速装置32の出
力軸32aにロボツトの被駆動部(第2アーム)
の慣性モーメントに相当する慣性負荷としてフラ
イホイール33が取付けられた。ロボツトの第2
アームの長さに相当するフライホイール側面33
aの半径上の位置に、円周方向の加速度および振
幅を測定できる圧電素子を利用した加速度ピツク
アツプ34を取り付ける。この加速度ピツクアツ
プ34の出力はインジケータ36に連結されてい
る。電動モータの回転数を変化させて、その時の
フライホイールの加速度の大きさ、および振幅を
測定した。測定はフライホイール33が定速度で
約1回転する範囲で行つた。測定結果は第4図に
示す。横軸は電動サーボモータ31の回転数(す
なわち、減速装置32の入力軸の回転数)であ
り、縦軸はフライホイール33の加速度ピツクア
ツプ34に表れる円周方向の加速度(すなわち、
振動)の大きさ(単位、G)を示す。
比較例1、比較例2および比較例3において
は、共振のピークはそれぞれ、電動モータ31の
回転数において、700rpm、500rpmおよび
250rpmのときであり、電動モータ31の通常制
御回転数0〜100rpmの範囲で最も大きな振動が
生じている。しかしながら、本発明に係る減速装
置を用いた実施例の場合には、前述の説明のよう
に、共振ピークが生じる時の電動モータ回転数は
極めて高く、1500rpmとなつており、このポイン
トで最も大きな振動が生じる。
別表の実施例と比較例1において、慣性モーメ
ントJおよびねじりばね定数K1は殆ど同じであ
るが、負荷に共振現象が生じるときの電動モータ
の回転数に大きな差異があり、その差は第1段減
速比の反比例している。この理由は、そのような
共振現象の主因となる加振力が第1段減速部では
なく第2段減速部に生じ、その加振周波数と負荷
の固有ねじり振動数が一致したときに共振が起き
るためと考えられる。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、本来な
ら、撓み噛合い型遊星歯車装置(調和歯車装置)
や偏心揺動型遊星歯車装置のように内歯歯車、内
歯歯車に噛み合う外歯歯車および該外歯歯車に係
合してこれを駆動するカム軸を有する型式の単一
の遊星歯車装置(以下、「カム軸入力型遊星歯車
装置」と言う。)により、総減速比を満足できる
産業ロボツトの関節駆動用減速装置において、後
段回転伝導手段としてのカム軸入力型遊星歯車装
置の入力側にわざわざカム軸入力型遊星歯車装置
とは異なる型式の前段回転伝導手段を設け、前段
回転伝導手段と後段回転伝導手段とにより上記総
減速比を得るようにしているので、本発明に係る
減速装置をロボツトの関節駆動に用いてロボツト
に共振が生じるとしても最大共振現象の生じるポ
イント若しくは最も大きな振動の生じるポイント
を従来に比し格段に高い駆動源(電動モータ)の
回転数領域あるいは所望の駆動源回転数領域にシ
フトさせることができる。従つて、最も大きな振
動の生じる時のポイントをロボツトによる作業の
うち溶接作業等のように正確な作業軌跡を要する
作業の領域外に、すなわち、使用する回転領域の
上または下の領域にシフトさせることができ、ロ
ボツトの作業効率の向上に寄与することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図は本発明の係る産業ロボツト
の関節駆動用減速装置の一実施例を説明する図で
あり、第1図はその全体概略説明図、第2図はそ
の要部断面図、第3図は第2図の−矢視断面
図、第4図は本発明に係る産業ロボツトの関節駆
動用減速装置の実施例および比較例の性能を説明
するグラフ、第5図は第4図に係る実験例の全体
構成図である。 1……電動モータ(駆動源)、3……減速装置、
8……入力回転軸(入力軸部材)、10……軸
(出力軸部材)、20……第1段減速部(前段回転
伝導手段)、21……第2段減速部(後段回転伝
導手段)、22……内歯歯車、23……外歯歯車、
24……カム軸(入力軸)、27……ピン歯車。
【表】
【表】 車装置を、平歯歯車減速は平行軸型の
平歯歯車列装置を表す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 人力軸部材および出力軸部材と、内歯歯車、
    該内歯歯車に噛み合う外歯歯車および該外歯歯車
    に係合して外歯歯車を駆動するカム軸を有する型
    式で、前記入力軸部材と出力軸部材の間に介在す
    る遊星歯車装置を備えた産業ロボツトの関節駆動
    用減速装置において、 前記入力軸部材から出力軸部材までの総減速比
    を、遊星歯車装置単体の実在する減速比の範囲内
    に設定するとともに、 前記型式の遊星歯車装置の入力側に前記型式と
    は異なる型式の前段回転伝導手段を設け、該前段
    回転伝導手段の出力軸を後段回転伝導手段として
    の前記遊星歯車装置の入力軸に結合し、前段回転
    伝導手段と後段回転伝導手段とにより前記総減速
    比を満足するようにしたことを特徴とする産業ロ
    ボツトの関節駆動用減速装置。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1798444A4 (en) * 2004-08-11 2010-12-15 Nabtesco Corp IN THE JOINT OF AN INDUSTRIAL ROBOT INSTALLED REDUCTION GEAR
JP4913045B2 (ja) 2005-04-25 2012-04-11 ナブテスコ株式会社 偏心揺動型減速機および偏心揺動型減速機を用いた産業用ロボットの旋回部構造
DE602007014320D1 (de) 2006-01-26 2011-06-16 Nabtesco Corp Untersetzungsgetriebe
US8435149B2 (en) 2006-02-07 2013-05-07 Nabtesco Corporation Reduction gear device
US20090118050A1 (en) 2006-04-28 2009-05-07 Nabtesco Corporation Reduction Gear Transmission and Manufacturing Method Thereof
JP4820310B2 (ja) * 2007-02-02 2011-11-24 ナブテスコ株式会社 減速装置
JP5348182B2 (ja) * 2011-06-07 2013-11-20 株式会社安川電機 減速機付きモータ

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3129611A (en) * 1960-10-14 1964-04-21 Lee Engineering Company Speed reducers
GB927684A (en) * 1960-10-20 1963-06-06 Merritt & Company Engineering Epicyclic gearing
JPS591895B2 (ja) * 1979-08-31 1984-01-14 帝人製機株式会社 減速機
JPS56152594A (en) * 1980-04-25 1981-11-26 Meidensha Electric Mfg Co Ltd Reduction gear for manipulator
DE3048067C2 (de) * 1980-12-19 1984-08-09 Kuka Schweissanlagen + Roboter Gmbh, 8900 Augsburg Getriebeanordnung für den Gelenkkopf eines Manipulators
JPS607856Y2 (ja) * 1981-03-31 1985-03-18 日立造船株式会社 薄板の精密打抜き装置
JPS58211881A (ja) * 1982-06-02 1983-12-09 松下電器産業株式会社 産業用ロボツト
JPS59124093U (ja) * 1983-02-04 1984-08-21 株式会社神戸製鋼所 工業用ロボツト等の手首機構
JPS59106744A (ja) * 1982-12-07 1984-06-20 Sumitomo Heavy Ind Ltd 遊星歯車装置
JPS59115189A (ja) * 1982-12-20 1984-07-03 松下電器産業株式会社 ロボツトの関節装置
JPS607856A (ja) * 1983-06-27 1985-01-16 株式会社クラレ 陰イオン性体液処理膜
JPS618760A (ja) * 1984-06-20 1986-01-16 Mitsubishi Electric Corp トラツキング誤差検出方法

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