JPH05152405A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
- Publication number
- JPH05152405A JPH05152405A JP31484191A JP31484191A JPH05152405A JP H05152405 A JPH05152405 A JP H05152405A JP 31484191 A JP31484191 A JP 31484191A JP 31484191 A JP31484191 A JP 31484191A JP H05152405 A JPH05152405 A JP H05152405A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- focus position
- inspection apparatus
- slit
- optical filter
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は外観検査装置に関し、微細リードの
検査を高速に行うことができる自動外観検査装置を実現
することを目的とする。 【構成】 撮像手段２０と、複数の照明手段２２，２４
と画像メモリ３８とを具備して成るリード外観検査装置
において、撮像手段２０と検査対象２６との間に焦点位
置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明切替
手段２３を設けるように構成する。
検査を高速に行うことができる自動外観検査装置を実現
することを目的とする。 【構成】 撮像手段２０と、複数の照明手段２２，２４
と画像メモリ３８とを具備して成るリード外観検査装置
において、撮像手段２０と検査対象２６との間に焦点位
置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明切替
手段２３を設けるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は外観検査装置に関する。
詳しくは、ＩＣ，ＬＳＩの実装後、またはＴＡＢ(Tape
Automated Bonding)ボンディング後のリード部の外観検
査装置に関する。
詳しくは、ＩＣ，ＬＳＩの実装後、またはＴＡＢ(Tape
Automated Bonding)ボンディング後のリード部の外観検
査装置に関する。
【０００２】近年、ＬＳＩの大規模化により、信号線の
取り出し口であるリードの多ピン化、およびリードの小
ピッチ化が進みつつある。このため、例えばリード幅約
３０μｍ、間隔約１００μｍで数百本ボンディングされ
ているＩＣもあるため、作業者は顕微鏡下でリードの形
状検査を行なわねばならない。このため作業者の単純作
業に起因する疲労、微細作業の繰り返しなどにより、欠
陥見逃しのおそれが高くなっている。このような状況か
ら、外観検査を作業者の目視から、自動化しようと試み
られている。
取り出し口であるリードの多ピン化、およびリードの小
ピッチ化が進みつつある。このため、例えばリード幅約
３０μｍ、間隔約１００μｍで数百本ボンディングされ
ているＩＣもあるため、作業者は顕微鏡下でリードの形
状検査を行なわねばならない。このため作業者の単純作
業に起因する疲労、微細作業の繰り返しなどにより、欠
陥見逃しのおそれが高くなっている。このような状況か
ら、外観検査を作業者の目視から、自動化しようと試み
られている。
【０００３】欠陥例としては図５に示すようなものがあ
る。同図において（ａ）はＴＡＢ、（ｂ）は（ａ）図の
Ｂ部拡大図であり、符号１はＴＡＢ、２はリード、３は
集積回路チップ、４はパッド、５は接合部材である。欠
陥は同図（ｂ）に示すようにリードのずれ６、部材の溶
け不足等による接合不良７等である。
る。同図において（ａ）はＴＡＢ、（ｂ）は（ａ）図の
Ｂ部拡大図であり、符号１はＴＡＢ、２はリード、３は
集積回路チップ、４はパッド、５は接合部材である。欠
陥は同図（ｂ）に示すようにリードのずれ６、部材の溶
け不足等による接合不良７等である。
【０００４】
【従来の技術】従来、このような微細リードの外観検査
には、顕微鏡等を撮像系にして検査していた。すなわ
ち、図６に示すように、先ず明視野照明８に切り換え
て、鏡筒または検査対象９を上下して焦点を撮像面１０
に合わせてリード２の位置を検出し、次いで鏡筒または
検査対象９を上下して焦点を撮像面１１に合わせてパッ
ド４の位置を検出し、リード位置ずれ欠陥を検査する。
には、顕微鏡等を撮像系にして検査していた。すなわ
ち、図６に示すように、先ず明視野照明８に切り換え
て、鏡筒または検査対象９を上下して焦点を撮像面１０
に合わせてリード２の位置を検出し、次いで鏡筒または
検査対象９を上下して焦点を撮像面１１に合わせてパッ
ド４の位置を検出し、リード位置ずれ欠陥を検査する。
【０００５】次に照明を暗視野照明１２に切換えて鏡筒
または検査対象９を上下して焦点を撮像面１１に合わせ
接合部材５のリード２の周囲へのはみ出しの有無から接
合不良を検査する。
または検査対象９を上下して焦点を撮像面１１に合わせ
接合部材５のリード２の周囲へのはみ出しの有無から接
合不良を検査する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の微細リード
の外観検査では、上記一連の動作を行うために、照明の
切り換えと、鏡筒又は検査対象を上下に移動しての焦点
合わせ等を行って画像入力を行っているため、その動作
に時間を要し高速検査作業の可能な自動化は困難であっ
た。
の外観検査では、上記一連の動作を行うために、照明の
切り換えと、鏡筒又は検査対象を上下に移動しての焦点
合わせ等を行って画像入力を行っているため、その動作
に時間を要し高速検査作業の可能な自動化は困難であっ
た。
【０００７】本発明は、微細リードの検査を高速に行う
ことができる自動外観検査装置を実現しようとする。
ことができる自動外観検査装置を実現しようとする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の外観検査装置に
依れば、撮像手段２０と、複数の照明手段２２，２４
と、画像メモリ３８とを具備して成るリード外観検査装
置において、撮像手段２０と検査対象２６との間に、焦
点位置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明
切替手段２３を設けたことを特徴とする。
依れば、撮像手段２０と、複数の照明手段２２，２４
と、画像メモリ３８とを具備して成るリード外観検査装
置において、撮像手段２０と検査対象２６との間に、焦
点位置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明
切替手段２３を設けたことを特徴とする。
【０００９】また、それに加えて、上記複数の照明手段
２２，２４は、それぞれ照明の波長を異にし、上記焦点
位置・照明切替手段２３は各照明２２，２４に対応する
波長を透過する光学フィルタ３０〜３２により照明２
２，２４を切替え、且つ該光学フィルタ３０〜３２の厚
さを変えることにより焦点位置を切替えることを特徴と
する。また、それに加えて、上記焦点位置・照明切替手
段２３は、各照明２２，２４に対応し且つ厚さを変えた
光学フィルタ３０〜３２を回転板３３に取付け、該回転
板３３を回転させることにより、照明・焦点位置の切替
えを行うことを特徴とする。
２２，２４は、それぞれ照明の波長を異にし、上記焦点
位置・照明切替手段２３は各照明２２，２４に対応する
波長を透過する光学フィルタ３０〜３２により照明２
２，２４を切替え、且つ該光学フィルタ３０〜３２の厚
さを変えることにより焦点位置を切替えることを特徴と
する。また、それに加えて、上記焦点位置・照明切替手
段２３は、各照明２２，２４に対応し且つ厚さを変えた
光学フィルタ３０〜３２を回転板３３に取付け、該回転
板３３を回転させることにより、照明・焦点位置の切替
えを行うことを特徴とする。
【００１０】また、それに加えて、上記回転板３３の光
学フィルタ３０〜３２間にスリット３４を設け、さらに
該スリット３４を検知するスリット検知センサ３５を設
け、光学フィルタ３０〜３２が回転により切り替わるご
とに、該スリット検知センサ３５の出力を画像入力トリ
ガとすることを特徴とする。
学フィルタ３０〜３２間にスリット３４を設け、さらに
該スリット３４を検知するスリット検知センサ３５を設
け、光学フィルタ３０〜３２が回転により切り替わるご
とに、該スリット検知センサ３５の出力を画像入力トリ
ガとすることを特徴とする。
【００１１】また、それに加えて、上記回転板３３の光
学フィルタ３０〜３２間に反射帯４２を設け、さらに該
反射帯４２を検知する反射帯検知センサ４３を設け、光
学フィルタ３０〜３２が回転により切り替わるごとに該
反射帯検知センサ４３の出力を画像入力トリガとするこ
とを特徴とする。この構成を採ることにより、微細リー
ドの検査を高速に行うことができる自動外観検査装置が
得られる。
学フィルタ３０〜３２間に反射帯４２を設け、さらに該
反射帯４２を検知する反射帯検知センサ４３を設け、光
学フィルタ３０〜３２が回転により切り替わるごとに該
反射帯検知センサ４３の出力を画像入力トリガとするこ
とを特徴とする。この構成を採ることにより、微細リー
ドの検査を高速に行うことができる自動外観検査装置が
得られる。
【００１２】
【作用】図１は本発明の原理説明図である。同図におい
て、２０は、結像レンズ２１と明視野照明２２を有する
カメラ（撮像手段）であり、該カメラ２０の下方に焦点
位置切替えと照明光切替えと画像入力トリガ発生を連続
的かつ同時に行う焦点位置・照明切替手段２３と、暗視
野照明２４とが設けられており、該焦点位置・照明切替
手段２３とカメラ２０は画像メモリを含む検査装置に接
続されている。
て、２０は、結像レンズ２１と明視野照明２２を有する
カメラ（撮像手段）であり、該カメラ２０の下方に焦点
位置切替えと照明光切替えと画像入力トリガ発生を連続
的かつ同時に行う焦点位置・照明切替手段２３と、暗視
野照明２４とが設けられており、該焦点位置・照明切替
手段２３とカメラ２０は画像メモリを含む検査装置に接
続されている。
【００１３】そして、搬送装置２９でカメラ２０及び焦
点位置・照明切替手段２３の真下に搬送される検査対象
２６（チップ２７上のリード２８）に対し、焦点位置・
照明切替手段２３により焦点位置をリード上面又はパッ
ドに切替え、同時に照明を明視野又は暗視野に切替える
ことにより、リードのずれ、接合不良等の欠陥を高速で
且つ自動で検査することができる。
点位置・照明切替手段２３の真下に搬送される検査対象
２６（チップ２７上のリード２８）に対し、焦点位置・
照明切替手段２３により焦点位置をリード上面又はパッ
ドに切替え、同時に照明を明視野又は暗視野に切替える
ことにより、リードのずれ、接合不良等の欠陥を高速で
且つ自動で検査することができる。
【００１４】
【実施例】図２は本発明の実施例を示す図である。同図
において、２０はカメラであり、結像レンズ２１と赤色
の明視野照明２２を有する。そして該結像レンズ２１の
下方には検査対象２６と該検査対象２６を斜め方向から
照明する緑色の暗視野照明２４が配置されている。また
結像レンズ２１と検査対象２６の中間に焦点位置・照明
切替手段２３が配設されている。
において、２０はカメラであり、結像レンズ２１と赤色
の明視野照明２２を有する。そして該結像レンズ２１の
下方には検査対象２６と該検査対象２６を斜め方向から
照明する緑色の暗視野照明２４が配置されている。また
結像レンズ２１と検査対象２６の中間に焦点位置・照明
切替手段２３が配設されている。
【００１５】この焦点位置・照明切替手段２３は、第１
〜第３の３枚の扇形の光学フィルタ３０〜３２と、各光
学フィルタの間にそれぞれ配置されたスリット３４とに
より円板３３が構成され、モータ３６で回転されるよう
になっている。第１〜第３の光学フィルタ３０〜３２は
それぞれ表１に示すような特性を有し、且つ光学的に密
（屈折率が空気の１より大）な材料で形成されている。
〜第３の３枚の扇形の光学フィルタ３０〜３２と、各光
学フィルタの間にそれぞれ配置されたスリット３４とに
より円板３３が構成され、モータ３６で回転されるよう
になっている。第１〜第３の光学フィルタ３０〜３２は
それぞれ表１に示すような特性を有し、且つ光学的に密
（屈折率が空気の１より大）な材料で形成されている。
【００１６】
【表１】
【００１７】また、３５は回転板３３のスリット３４を
検知するスリット検知センサであり、カメラ２０と共に
画像入力回路３７に接続されている。さらに該画像入力
回路３７には画像メモリ３８、検査回路３９が順次接続
されている。
検知するスリット検知センサであり、カメラ２０と共に
画像入力回路３７に接続されている。さらに該画像入力
回路３７には画像メモリ３８、検査回路３９が順次接続
されている。
【００１８】このように構成された本実施例の作用を図
２及び図３により説明する。図２において、第１の光学
フィルタ３０が結像レンズ２１の真下に来たとする。こ
の時、トリガ発生用のスリット検知センサ３５がスリッ
ト３４を検知して発生した画像入力トリガ信号が画像入
力回路３７に送られ、第１の光学フィルタ３０を透過し
た画像が画像メモリ３８に格納される。第１の光学フィ
ルタ３０は赤色を透過するので、図３（ａ）に示すよう
に検査対象２６に当った照明は赤色の明視野照明２２だ
けが透過される。また第１の光学フィルタ３０の厚さは
ｄ１であり、焦点位置がｆ１、つまりリード２８の上面
に焦点が合うようになっている。なお図３において２２
ａは光源、２２ｂは集光レンズ、２２ｃはハーフミラー
である。
２及び図３により説明する。図２において、第１の光学
フィルタ３０が結像レンズ２１の真下に来たとする。こ
の時、トリガ発生用のスリット検知センサ３５がスリッ
ト３４を検知して発生した画像入力トリガ信号が画像入
力回路３７に送られ、第１の光学フィルタ３０を透過し
た画像が画像メモリ３８に格納される。第１の光学フィ
ルタ３０は赤色を透過するので、図３（ａ）に示すよう
に検査対象２６に当った照明は赤色の明視野照明２２だ
けが透過される。また第１の光学フィルタ３０の厚さは
ｄ１であり、焦点位置がｆ１、つまりリード２８の上面
に焦点が合うようになっている。なお図３において２２
ａは光源、２２ｂは集光レンズ、２２ｃはハーフミラー
である。
【００１９】次に第２の光学フィルタ３１が結像レンズ
２１の真下に来たとする。このときトリガ発生用のスリ
ット検知センサ３５がスリット３４を検知して発生した
画像入力トリガ信号が画像入力回路３７に送られ、第２
の光学フィルタ３１を透過した画像が画像メモリ３８に
格納される。第２の光学フィルタ３１は赤色を透過する
ので図３（ｂ）に示すように検査対象２６に当った照明
は赤色の明視野照明だけが透過される。また第２の光学
フィルタ３１の厚さがｄ２であるため、焦点位置が
ｆ2 、つまりチップ上のパッド４０に焦点が合ってい
る。
２１の真下に来たとする。このときトリガ発生用のスリ
ット検知センサ３５がスリット３４を検知して発生した
画像入力トリガ信号が画像入力回路３７に送られ、第２
の光学フィルタ３１を透過した画像が画像メモリ３８に
格納される。第２の光学フィルタ３１は赤色を透過する
ので図３（ｂ）に示すように検査対象２６に当った照明
は赤色の明視野照明だけが透過される。また第２の光学
フィルタ３１の厚さがｄ２であるため、焦点位置が
ｆ2 、つまりチップ上のパッド４０に焦点が合ってい
る。
【００２０】最後に第３の光学フィルタ３２が結像レン
ズ２１の真下に来たとする。この時、トリガ発生用のス
リット検知センサ３５がスリット３４を検知して発生し
た画像入力トリガ信号が画像入力回路３７に送られ、第
３の光学フィルタ３２を透過した画像が画像メモリ３８
に格納される。第３の光学フィルタ３２は緑色を透過す
るので図３（ｃ）に示すように検査対象２６に当った照
明は緑色の暗視野照明だけが透過される。また第３の光
学フィルタ３２は厚さがｄ２であるため、焦点位置がｆ
２、つまりチップ上のパッド４０に焦点が合っていて接
合部材４１を明るくする。
ズ２１の真下に来たとする。この時、トリガ発生用のス
リット検知センサ３５がスリット３４を検知して発生し
た画像入力トリガ信号が画像入力回路３７に送られ、第
３の光学フィルタ３２を透過した画像が画像メモリ３８
に格納される。第３の光学フィルタ３２は緑色を透過す
るので図３（ｃ）に示すように検査対象２６に当った照
明は緑色の暗視野照明だけが透過される。また第３の光
学フィルタ３２は厚さがｄ２であるため、焦点位置がｆ
２、つまりチップ上のパッド４０に焦点が合っていて接
合部材４１を明るくする。
【００２１】このようにして、図３（ａ）で撮像された
画像でリード２８の位置を、図３（ｂ）で撮像された画
像でパッド４０の位置を、図３（ｃ）で撮像された画像
で接合部材４１の有無を検知して、これらより微細リー
ド２８のずれ、接合不良等の欠陥検査を検査回路３９に
より行うのである。以上のように本実施例によれば、３
枚の光学フィルタを回転させるのみで、撮像カメラ又は
検査対象を動かす必要がないため高速且つ自動で微細リ
ードの欠陥を検査することができる。
画像でリード２８の位置を、図３（ｂ）で撮像された画
像でパッド４０の位置を、図３（ｃ）で撮像された画像
で接合部材４１の有無を検知して、これらより微細リー
ド２８のずれ、接合不良等の欠陥検査を検査回路３９に
より行うのである。以上のように本実施例によれば、３
枚の光学フィルタを回転させるのみで、撮像カメラ又は
検査対象を動かす必要がないため高速且つ自動で微細リ
ードの欠陥を検査することができる。
【００２２】図４は本発明の他の実施例を示す図であ
る。同図において図２と同一部分は同一符号を付して示
した。本実施例は基本的には図２により説明した前実施
例と同様であり、異なるところは、前実施例の回転板３
３のスリット３４の代りに反射帯４２を設け、且つスリ
ット検知センサ３５の代りに反射帯検知センサ４３を設
け、該反射帯検知センサ４３からの反射帯検知信号を画
像入力トリガ信号としたことである。その他は前実施例
と同様であるので、その作用、効果は前実施例と全く同
様である。
る。同図において図２と同一部分は同一符号を付して示
した。本実施例は基本的には図２により説明した前実施
例と同様であり、異なるところは、前実施例の回転板３
３のスリット３４の代りに反射帯４２を設け、且つスリ
ット検知センサ３５の代りに反射帯検知センサ４３を設
け、該反射帯検知センサ４３からの反射帯検知信号を画
像入力トリガ信号としたことである。その他は前実施例
と同様であるので、その作用、効果は前実施例と全く同
様である。
【００２３】
【発明の効果】本発明に依れば、電子部品の微細リード
の検査をする明視野照明画像と暗視野照明画像と焦点位
置を連続して切替え画像入力できるので、微細リード外
観検査装置の高速検査と信頼性向上に寄与することがで
きる。
の検査をする明視野照明画像と暗視野照明画像と焦点位
置を連続して切替え画像入力できるので、微細リード外
観検査装置の高速検査と信頼性向上に寄与することがで
きる。
【図１】本発明の原理説明図である。
【図２】本発明の実施例を示す図である。
【図３】本発明の実施例の作用を説明するための図であ
る。
る。
【図４】本発明の他の実施例を示す図である。
【図５】従来のリード接合の欠陥例を示す図である。
【図６】従来の微細リードの外観検査方法を示す図であ
る。
る。
２０…カメラ ２１…結像レンズ ２２…明視野照明 ２３…焦点位置・照明切替手段 ２４…暗視野照明 ２５…検査装置 ２６…検査対象 ２７…チップ ２８…リード ２９…搬送装置 ３０〜３２…光学フィルタ ３３…回転板 ３４…スリット ３５…スリット検知センサ ３６…モータ ３７…画像入力回路 ３８…画像メモリ ３９…検査回路 ４０…パッド ４１…接合部材 ４２…反射帯 ４３…反射帯検知センサ
Claims (5)
- 【請求項１】 撮像手段（２０）と、複数の照明手段
（２２，２４）と、画像メモリ（３８）とを具備して成
るリード外観検査装置において、 撮像手段（２０）と検査対象（２６）との間に、焦点位
置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明切替
手段（２３）を設けたことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】 上記複数の照明手段（２２，２４）は、
それぞれ照明の波長を異にし、上記焦点位置・照明切替
手段（２３）は各照明（２２，２４）に対応する波長を
透過する光学フィルタ（３０〜３２）により照明（２
２，２４）を切替え、且つ該光学フィルタ（３０〜３
２）の厚さを変えることにより焦点位置を切替えること
を特徴とする請求項１の外観検査装置。 - 【請求項３】 上記焦点位置・照明切替手段（２３）
は、各照明（２２，２４）に対応し且つ厚さを変えた光
学フィルタ（３０〜３２）を回転板（３３）に取付け、
該回転板（３３）を回転させることにより、照明・焦点
位置の切替えを行うことを特徴とする請求項１の外観検
査装置。 - 【請求項４】 上記回転板（３３）の光学フィルタ（３
０〜３２）間にスリット（３４）を設け、さらに該スリ
ット（３４）を検知するスリット検知センサ（３５）を
設け、光学フィルタ（３０〜３２）が回転により切り替
わるごとに、該スリット検知センサ（３５）の出力を画
像入力トリガとすることを特徴とする請求項３の外観検
査装置。 - 【請求項５】 上記回転板（３３）の光学フィルタ（３
０〜３２）間に反射帯（４２）を設け、さらに該反射帯
（４２）を検知する反射帯検知センサ（４３）を設け、
光学フィルタ（３０〜３２）が回転により切り替わるご
とに該反射帯検知センサ（４３）の出力を画像入力トリ
ガとすることを特徴とする請求項３の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31484191A JPH05152405A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31484191A JPH05152405A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05152405A true JPH05152405A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18058250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31484191A Withdrawn JPH05152405A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05152405A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100268975B1 (ko) * | 1996-02-16 | 2000-12-01 | 미야무라 신페이 | 패턴검사장치 |
| JP2016038374A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 由田新技股▲ふん▼有限公司 | 光源デバイス |
| JPWO2020194567A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP31484191A patent/JPH05152405A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100268975B1 (ko) * | 1996-02-16 | 2000-12-01 | 미야무라 신페이 | 패턴검사장치 |
| JP2016038374A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 由田新技股▲ふん▼有限公司 | 光源デバイス |
| CN105572039A (zh) * | 2014-08-07 | 2016-05-11 | 由田新技股份有限公司 | 光源设备 |
| JPWO2020194567A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | ||
| US12148143B2 (en) | 2019-03-27 | 2024-11-19 | Nec Corporation | Product-inspection apparatus, product-inspection method, and non-transitory computer readable medium |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |