JPH05174758A - 電子銃装置 - Google Patents

電子銃装置

Info

Publication number
JPH05174758A
JPH05174758A JP3343372A JP34337291A JPH05174758A JP H05174758 A JPH05174758 A JP H05174758A JP 3343372 A JP3343372 A JP 3343372A JP 34337291 A JP34337291 A JP 34337291A JP H05174758 A JPH05174758 A JP H05174758A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cathode
support
electron gun
thermoelectrons
gun device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP3343372A
Other languages
English (en)
Inventor
Ikuo Wakamoto
郁夫 若元
Toru Takashima
徹 高島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LASER NOUSHIYUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI
Jeol Ltd
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
LASER NOUSHIYUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI
Jeol Ltd
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LASER NOUSHIYUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI, Jeol Ltd, Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical LASER NOUSHIYUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI
Priority to JP3343372A priority Critical patent/JPH05174758A/ja
Publication of JPH05174758A publication Critical patent/JPH05174758A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カソードとカソードのサポートの変形を常に
防止することができる電子銃装置を実現することを目的
としている。 【構成】 ライン状のフィラメントから放出される第1
の熱電子をライン状のカソードに衝突させて第2の熱電
子を発生させ、この第2の熱電子をカソードを両側から
挟むようにカソードと平行に対向配置されたグリッドで
集束形成し、集束形成された熱電子をアノードを介して
電子ビームとして取り出すように構成した電子銃装置に
おいて、前記カソードの両端部に配置され、カソードを
その一端で支持するための板状のサポートと、サポート
が他端を起点として傾斜し得るようにサポートの他端に
おいてサポートを保持する保持部材とを備え、カソード
の熱膨張,収縮をサポートの傾斜によって吸収するよう
に構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子銃装置に関し、更
に詳しくはライン状の電子ビームを出力する電子銃装置
のカソードの支持構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子銃装置の一種に、ライン状の電子ビ
ームを出力するように構成されたものがある。
【0003】図4は、このような電子銃装置の概念構成
図である。図において、1はライン状に形成されたフィ
ラメントであり、通電に応じて第1の熱電子2を放出す
る。3は例えば100mm 程度の長さのライン状に形成され
たカソードであり、一定の間隔を保ってフィラメント1
と対向するように配置されている。カソード3はコの字
状に形成され、カソード支持体3aによって支持されて
いる。カソード3はフィラメント1に対して所定の電位
差を持っている。フィラメント1から放出される第1の
熱電子2は、電位差により加速されてカソード3に衝突
し、カソード3を加熱する。カソード3は加熱に応じて
第2の熱電子4を放出する。
【0004】5はグリッドであり、フィラメント1を内
包する第1のカバー6の端面に固定されている。グリッ
ド5は、カソード3から出力される第2の熱電子4の集
束状態を制御する。7はアノードであり、第2のカバー
8の開口部の内周に固定されている。アノード7は、グ
リッド5で集束制御された第2の熱電子4を加速して電
子ビーム9として引き出す。
【0005】なお、例えば、カソード3に加速電圧を印
加しないとき、フィラメント1には−2KVが加えら
れ、カソード3は0Vに保たれ、グリッド5には−6K
Vが加えられる。これにより、フィラメント1とカソー
ド3の電位差は2KVとなり、カソード3とグリッド5
の電位差は6KVとなり、フィラメント1とグリッド5
の電位差は4KVになる。そして、カソード3は、フィ
ラメント1から出力される第1の熱電子の衝撃により、
2000°K以上の高温に加熱されることになる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した構成の電子銃
における従来のカソードの支持構造を図5と図6に示
す。図5は上面図、図6は側面図であり、図4と同一部
分には同一番号が付されている。フィラメント1は、電
子銃本体部にフィラメント支持部10を介して固定され
ている。カソード3は、グリッド5に固定された絶縁碍
子11にカソード長手方向に対して直交するように配置
されたサポート12を用いて固定されている。カソード
3の両端部には、圧入されたピン13が設けられてお
り、このピン13は、サポート12に設けられたピン穴
14に挿入される。
【0007】このような構成において、カソード3が高
温で加熱されることによって熱膨張して伸びた場合に
は、ピン13のスライドによって吸収され、カソード3
とグリッド5との相対的な位置関係を常にほぼ一定に保
つことができる。カソード3からの熱の流出は、サポー
ト12の肉厚をできる限り薄くしたり、絶縁碍子11で
サポート12とグリッド5との間を熱絶縁して温度勾配
を小さくすることによりかなり少なくでき、温度安定度
を高めることができる。
【0008】しかしながら、この図5,図6による電子
銃を製作し、実験したところ、次のような問題が生じ
た。すなわち、カソード3の加熱中、カソードのピン1
3とサポート12のピン穴14との間、カソード両端面
とサポート側面との間に、カソードが高温に加熱される
ことに伴って、熱拡散による接着現象が生じることが明
らかとなった。この結果、カソードの熱膨張や収縮に伴
うピン13のスライドが困難となり、結果としてカソー
ド3やサポート12の変形が生じ、更に、各電極間の相
対的位置関係が狂い、電子ビームの集束性や被加熱物上
に照射される電子ビームの電子密度の悪化が生じた。
【0009】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、カソードの熱膨張,収縮を常に吸
収し、カソードとカソードのサポートの変形を常に防止
することができる電子銃装置を実現するにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく電子銃装
置は、ライン状のフィラメントから放出される第1の熱
電子をライン状のカソードに衝突させて第2の熱電子を
発生させ、この第2の熱電子をカソードを両側から挟む
ようにカソードと平行に対向配置されたグリッドで集束
形成し、集束形成された熱電子をアノードを介して電子
ビームとして取り出すように構成した電子銃装置におい
て、前記カソードの両端部に配置され、カソードをその
一端で支持するための板状のサポートと、サポートが他
端を起点として傾斜し得るようにサポートの他端におい
てサポートを保持する保持部材とを備え、カソードの熱
膨張,収縮をサポートの傾斜によって吸収するように構
成したことを特徴としている。
【0011】
【作用】カソードをその一端で支持するための板状のサ
ポートと、サポートが他端を起点として傾斜し得るよう
にサポートの他端においてサポートを保持する保持部材
とを備え、カソードの熱膨張,収縮をサポートの傾斜に
よって吸収する。
【0012】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図1〜図3は、本発明の一実施例を示して
いるが、図5,図6と同一部分は同一番号が付されてい
る。この実施例におけるカソード3,フィラメント1,
グリッド5などの各構成要素の位置関係は、基本的に
は、図5,図6に示した構成と同一であり、本発明は、
カソード3の支持構造に特徴を有している。図1は、本
発明の一実施例におけるカソード3とサポート15の接
続部分を拡大した図、図2(a)は、カソード支持構造
の全体の側面図、図2(b)は、その上面図である。こ
れらの図において、カソード3には、3本のピン16,
17,18が圧入されている。また、図6に示したサポ
ート12と同じ山状の形状のサポート15の先端部分に
は、2本のピン16,18が差し込めるように2つのピ
ン穴19,20が開けられている。このピン穴19,2
0の形状は、ピン16,18がサポート15から抜けな
いように、そして、ピン16,18とサポート15の接
触面積を極力減らすようにされており、この図1の例で
は、座ぐら穴とラッパ形状の穴が開けられている。真ん
中のピン17は、カソード3の両端部とサポート15と
の位置決めと、サポート15がカソード3からの熱伝導
および熱輻射の影響を少なくする効果をもたらすために
設けられている。このピン17の先端部は球面状にされ
ており、ピン17とサポート15との接触面積を極力減
らし、カソード3からサポート15への熱伝導と、ピン
17との接着を防止している。ピン16,18の先端部
は、ピン穴19,20からピン16,18が抜けないよ
うに、ピン穴19,20の径より若干大きな径とされて
いる。
【0013】上記サポート15は、タングステンなどで
板状に形成されており、他からの応力による変形を防止
するため、2mm以上の厚さとされている。サポート15
の両端部には、ネジ穴21,22が穿たれており、この
ネジ穴21,22には、絶縁碍子23,24に差し込ま
れたネジ25,26が嵌め込まれている。このネジ2
5,26に対し、ナット27,28を締め付けることに
より、サポート15の両端部は固定される。ネジ穴2
1,22は、一方が丸穴、他方が長穴とされており、サ
ポート15の熱膨張をこの長穴部で吸収できる構造とな
っている。また、サポート15がカソード3の長手方向
に傾斜する際、ネジ25,26とネジ穴21,22とが
引っ掛からないように、ネジ穴21,22を図2
(a),(b)に示すように傾斜をつけた穴形状として
いる。
【0014】次に、上述したカソードの指示構造を用い
た電子銃の基本動作を図3(a),(b)を用いて説明
する。この図3(a),(b)においては、電子銃の室
温時,加熱時のカソード3とフィラメント1およびサポ
ート15の位置関係が示されている。図3(a)の電子
銃室温時の状態で、カソード3を加熱すると、カソード
3は熱膨張する。このカソード3の膨脹は、図3(b)
に示すように、サポート15が傾斜することによって吸
収される。ここで、カソード3の長さが100mmで、タ
ングステンで形成されている場合、十分な電子ビームの
電流を発生させるために、2500°K以上に加熱され
る。この温度のとき、カソード3が熱膨張で1.2mm伸
びるとすると、サポート15でこの熱膨張を吸収するた
めには、サポート15がカソード3とは逆のほうに傾斜
し、図3(a)のA,B点の位置が、図3(b)の状態
でC,Dの点に0.6mmづつ移動できれば良いことにな
る。そのため、本発明の実施例では、サポート15を碍
子23,24に固定する際、ナット27,28の位置を
動かし、図3(a)に示したEの距離を変え、サポート
15の傾斜角の調整を行い、サポート15の所望範囲の
傾斜を可能としている。なお、電子銃組立て時には、サ
ポート15をカソード3側に倒した後、その位置で碍子
23,24の位置決定をし、固定することが望ましい。
また、電子銃の加熱中、サポート15の傾斜でカソード
3のZ方向位置が若干移動し、グリッドとカソードとの
相対位置が変化してしまうので、電子銃組立て時には、
この移動を考慮し、グリッドとカソードの位置関係のオ
フセットを行う必要がある。
【0015】なお、従来の電子銃では、カソードを所定
の温度に加熱した際のカソード両端部とサポート側面と
の接触により、カソード3の長手方向の位置が決められ
ていた。このような構成では、サポート自体がフィラメ
ントからのボンバード加熱により高温となり、クリープ
現象による変形が起こりやすい状態にあった。本発明で
は、図1〜図2に示したように、サポート15の位置を
カソード3から所定距離離すように構成したので、サポ
ート15は、フィラメント1からのボンバード加熱やカ
ソード3からの熱伝導,熱輻射の影響を受けることが少
なくなり、サポート15の温度が上がらないようにされ
ている。更に、図1より明らかなように、ピン16,1
8により、カソード3両端とサポート15との距離が、
定められた範囲内で一定となり、前に述べたサポート1
5の初期設定により、カソード3が所定の温度に加熱さ
れたとき、常にカソード長手方向の位置を同位置に保つ
ことが可能となっている。
【0016】以上本発明の一実施例を説明したが、本発
明はこの実施例に限定されない。例えば、サポートの形
状を山状としたが、それ以外の形状であっても良い。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、カソ
ードをその一端で支持するための板状のサポートと、サ
ポートが他端を起点として傾斜し得るようにサポートの
他端においてサポートを保持する保持部材とを備え、カ
ソードの熱膨張,収縮をサポートの傾斜によって吸収す
るように構成したので、従来のようにピンのスライド不
良によるカソードやサポートの変形を防止することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく電子銃装置のカソードの支持部
分を示す図である。
【図2】本発明に基づく電子銃装置のカソードの支持部
分を示す図である。
【図3】電子銃の室温時と加熱時におけるカソード支持
部分の状態を示す図である。
【図4】従来の電子銃装置の概念構成図である。
【図5】従来のカソード支持部分を示す図である。
【図6】従来のカソード支持部分を示す図である。
【符号の説明】
1 フィラメント 3 カソード 5 グリッド 7 アノード 12 サポート 13 ピン 14 ピン穴 15 サポート 16,17,18 ピン 19,20 ピン穴 21,22 ネジ穴 23,24 絶縁碍子 25,26 ネジ 27,28 ナット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高島 徹 東京都昭島市武蔵野三丁目1番2号 日本 電子株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ライン状のフィラメントから放出される
    第1の熱電子をライン状のカソードに衝突させて第2の
    熱電子を発生させ、この第2の熱電子をカソードを両側
    から挟むようにカソードと平行に対向配置されたグリッ
    ドで集束形成し、集束形成された熱電子をアノードを介
    して電子ビームとして取り出すように構成した電子銃装
    置において、前記カソードの両端部に配置され、カソー
    ドをその一端で支持するための板状のサポートと、サポ
    ートが他端を起点として傾斜し得るようにサポートの他
    端においてサポートを保持する保持部材とを備え、カソ
    ードの熱膨張,収縮をサポートの傾斜によって吸収する
    ように構成した電子銃装置。
JP3343372A 1991-12-25 1991-12-25 電子銃装置 Withdrawn JPH05174758A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3343372A JPH05174758A (ja) 1991-12-25 1991-12-25 電子銃装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3343372A JPH05174758A (ja) 1991-12-25 1991-12-25 電子銃装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05174758A true JPH05174758A (ja) 1993-07-13

Family

ID=18361008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3343372A Withdrawn JPH05174758A (ja) 1991-12-25 1991-12-25 電子銃装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05174758A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2407997B1 (en) Emitter for X-ray tubes and heating method therefore
US5703924A (en) X-ray tube with a low-temperature emitter
JP2840614B2 (ja) 負荷に自動的に適合する可変焦点を有するx線管
JP2840615B2 (ja) 飽和により電子束を自動的に制限するx線管
JPH07322659A (ja) 熱電子発電素子及びその電極間隙調節方法
US4338542A (en) Directly heated cathode assembly
JP2840616B2 (ja) 平坦なカソードを有する間接加熱式x線管
US4126811A (en) Electron gun with linear thermionic cathode for electron-beam heating
WO2000028566A1 (en) Direct heating cathode unit and electron gun using the same
JP2928480B2 (ja) 直熱型電子銃における陰極支持構造
US5001385A (en) Electron beam apparatus with adjusting mechanism for a thermally emitting cathod tip
JP3117261B2 (ja) フィラメント
JPH05174759A (ja) 電子銃装置
WO2019192686A1 (en) Easy-to-install cathode geometry for x-ray tubes
US3440474A (en) Resilient means for supporting a directly heated planar cathode
JPH05174755A (ja) 電子銃装置
JP3397974B2 (ja) 電子銃
JP2804713B2 (ja) X線発生装置用フィラメント
JPS6228041Y2 (ja)
JPS6346952B2 (ja)
JPH0635362Y2 (ja) イオン注入装置のチャージアップ低減用の電子銃装置
JPH01151141A (ja) X線管装置
JPH02278638A (ja) 電子銃装置
JPH06290721A (ja) 回転陽極x線管
KR200185281Y1 (ko) 음극선관용 인라인형 전자총

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990311