JPH0517534U - 圧力検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 従来使用されていたスペーサ及び駒部材の削
減を可能となし、部品削減と組立作業性を高めることが
できる圧力検出器を提供することにある。 【構成】 円盤状金属ダイアフラム部材２１と、該ダイ
アフラム部材２１と同一外径の環状縁部２４にその直径
方向両端を結合するように形成されかつ一側面に複数の
歪ゲージ２７が接着された梁部２５を有する変形部材２
２とよりなり、円盤状金属ダイアフラム部材２１の中央
部及び梁部２５の中央の対向する少なくともいずれか一
方の面に、突起２６及び段差部２３を一体的に成形する
と共に前記両部材２１，２２の周縁部をロー付け接着し
てなる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、歪ゲージを検出素子として使用する圧力検出器に関するものである 。

【０００２】

【従来の技術】

従来のこの種の圧力検出素子を使用する圧力検出器としては、図１に示す如き 構造のものがある。

【０００３】 同図において、１は圧力供給孔２を有する下側ケース、３はコネクタハウジン グ４と一体の上側ケースであって、この上側ケース３と、前記下側ケース１との 間には空間５を形成するカバー６が気密に介在されている。その空間５内には、 圧力センサ７が前記下側ケース１上に、リング台８を介して支持されているが、 この圧力センサ７は、図２に示すように、リング台８上に載置されるダイアフラ ム９と、このダイアフラム９の上側周縁に重ね合せられるスペーサ１０と、この スペーサ１０の上面に重ね合せられるビーム１１と、このビーム１１に形成され ている梁部１２に接着固定される歪ゲージ１３と、前記ダイアフラム９と梁部１ ２との間に介在されてダイアフラム９の動作を梁部１２に伝達せしめるためダイ アフラム９又は梁部１２にロー付けされる駒１４とからなっていて、リング台８ とダイアフラム９で形成される受圧室１５内に、圧力供給口２から供給される圧 力が供給されると、この受圧室１５内の圧力でダイアフラム９が動作し、さらに このダイアフラム９の動作が駒１４を介して梁部１２に伝達され、この梁部１２ に固着されている歪ゲージ１３の歪み量によって、受圧室１５内の圧力が検出さ れるようになっているものである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、かかる従来の圧力検出器に使用されている圧力センサ７にあっては 、図２に示すように、ダイアフラム９、スペーサ１０、厚膜歪ゲージ１３を接着 固定したビーム１１及びダイアフラム９の動作をビーム１１に伝達せしめるため の駒１４の少なくとも四部材を必要としているために部品点数の増大及びこれに 伴なう組立工程の増大によって製品コストが高くなるという問題点があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、かかる従来の問題点に着目してなされたもので、ダイアフラム又は ビームのいずれか一方の周縁に、そのダイアフラム又はビームとの間隔を保持せ しめるための突縁を形成し、さらにそれらいずれか一方の中央部には他方の中央 部に当接される突起を一体形成することにより、従来使用されていたスペーサ及 び駒部材の削減を可能となし、部品削減と組立作業性を高めることができる圧力 検出器を提供することにある。

【０００６】

【実施例】

以下に本考案を図３及び図６に示す実施例に基いて詳細に説明する。

【０００７】 図３、図４において、２１はダイアフラム、２２はそのダイアフラム上に重ね 合せられるビーム（変形部材）であって、このビーム２２は、周縁に段差部２３ を形成した環部２４と、この環部２４の直径方向に形成された梁部２５と、この 梁部２５の中央に前記段差部２３と同レベルに形成される突起２６が一体に形成 されており、その梁部２５には複数の半導体歪ゲージ２７が接着されているもの である。

【０００８】 本実施例では、上記形状のビーム２２にダイアフラム２１を重ね合せ、その両 部材の周縁をロー付け２８することで圧力検出器が構成されるものであって、上 記段差部２３が従来例のスペーサの役目となり、また梁部２５の突起２６が従来 例の駒の役目となり、圧力検出器の組立部品を大幅に削減することができる。

【０００９】 図５及び図６に示す実施例は、ビーム２２はフラット形状であるが、ダイアフ ラム２１に、上記実施例と同様に、ダイアフラム２１の周縁に段差部２３を形成 すると共に、そのダイアフラム２１の中央部に突起２６を一体形成したものであ る。従ってこの実施例においても、従来例で用いられていた駒部材及びスペーサ 部材の削減が可能である。

【００１０】

【考案の効果】

以上のように本考案は、円盤状金属ダイアフラム部材２１と、該ダイアフラム 部材２１と同一外径の環状縁部２４にその直径方向両端を結合するように形成さ れかつ一側面に複数の歪ゲージ２７が接着された梁部２５を有する変形部材２２ とよりなり、前記円盤状金属ダイアフラム部材２１の中央部及び前記梁部２５の 中央の対向する少なくともいずれか一方の面に、突起２６及び段差部２３を一体 的に成形すると共に前記両部材２１，２２の周縁部をロー付け接着してなる圧力 検出器であるから、これによれば、従来例で用いられていた駒部材及びスペーサ 部材が削減され、これによって使用部の削減に伴なうコストダウンと組立作業性 が向上し、経済性が高められるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来例の構造説明図。

【図２】従来の圧力検出器の分解斜視図。

【図３】本考案よりなる圧力検出器の実施例を示した分
解斜視図。

【図４】本実施例の組立状態を示した断面図。

【図５】本考案よりなる圧力検出器の他の実施例を示し
た分解斜視図。

【図６】図５の組立状態を示した断面図。

【符号の説明】

２１：ダイアフラム ２２：ビーム（変形
部材） ２３：段差部 ２４：環部 ２５：梁部 ２６：突起 ２７：半導体歪ゲージ ２８：ロー付け

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 円盤状金属ダイアフラム部材（２１）
   と、該ダイアフラム部材（２１）と同一外径の環状縁部
   （２４）にその直径方向両端を結合するように形成され
   かつ一側面に複数の歪ゲージ（２７）が接着された梁部
   （２５）を有する変形部材（２２）とよりなり、前記円
   盤状金属ダイアフラム部材（２１）の中央部及び前記梁
   部（２５）の中央の対向する少なくともいずれか一方の
   面に、突起（２６）及び段差部（２３）を一体的に成形
   すると共に前記両部材（２１），（２２）の周縁部をロ
   ー付け接着してなることを特徴とする圧力検出器。