JPH01161325U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図及び第３図は第１図の正面図及び右側面図、
第４図は第１図の―線断面図、第５図、第６
図及び第７図は夫々第４図の―線断面図、
―線断面図及び―線断面図、第８図は第１
図の―線断面図、第９図はリニアボールベア
ンリングと案内レールとの関係を示す拡大断面図
、第１０図はボール保持器の拡大断面図、第１１
図ａ及びｂは夫々被露光部材保持装置を構成する
チヤツク本体の拡大平面図及び断面図、第１２図
は閉塞具の拡大断面図、第１３図はチヤツク本体
を逆転させた状態の拡大断面図、第１４図はガイ
ドプレートの他の例を示す断面図、第１５図及び
第１６図はチヤツク本体の他の実施例を示す拡大
平面図及び断面図、第１７図は閉塞具の他の実施
例を示す断面図、第１８図はこの考案を適用し得
る縮小投影露光装置の一例を示す概略構成図であ
る。 図中、１は基台、２は粗動テーブル、４Ｌ，４
Ｒは案内レール、５は斜面スライダ、７ａ〜７ｆ
はリニアボールベアリング、２１は直線駆動機構
、２２はステツピングモータ、２４はボールねじ
、２５はボールナツト、２６は載置台、２７は被
露光部材保持装置、２７ａ_０，２７ａ_１〜２７ａ
_２は吸引孔、２７ｂは連通路、２７ｃは３方電磁
切換弁、２７ｄは空気吸引手段、２７ｅはガイド
プレート、２７ｅ_０，２７ｅ_１〜２７ｅ_４は円形
透孔、２７ｆ_０，２７ｆ_１はチヤツク本体、２７
ｉは段部、２７ｋ_１，２７ｋ_２は吸着凹部、２７
ｌは貫通孔、２７ｍは閉塞具、２７ｗは止め栓、
３５はＸＹ方向微動体、４１Ｌ，４１Ｒ，４２Ｆ
，４２Ｒは電磁石、４７ａ〜４７ｄは板ばねであ
る。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 載置テーブルに、気体吸引手段に接続され
   てウエハ等の被露光部材を吸着保持するチヤツク
   を配設し、前記被露光部材の露光面に所定パター
   ンを露光する露光装置において、前記載置テーブ
   ルの載置面側に、前記気体吸引手段に連通する吸
   引孔が所定間隔を保つて複数穿設され、前記チヤ
   ツクは、前記吸引孔に連通する案内凹部と、該案
   内凹部に嵌合する外周縁の上下位置に異なる高さ
   の段部を形成し、且つ上下面に互いに連通する吸
   着部を形成したチヤツク本体とを備えていること
   を特徴とする露光装置における被露光部材保持装
   置。 (2) 前記チヤツクは、吸引孔を閉塞する閉塞具
   を備えている請求項(1)記載の露光装置における
   被露光部材保持装置。