JPH05187978A - 試料固定装置 - Google Patents
試料固定装置Info
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- JPH05187978A JPH05187978A JP4003134A JP313492A JPH05187978A JP H05187978 A JPH05187978 A JP H05187978A JP 4003134 A JP4003134 A JP 4003134A JP 313492 A JP313492 A JP 313492A JP H05187978 A JPH05187978 A JP H05187978A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動、音、熱の影響を低減し、空間分解能を
向上させる。 【構成】 試料固定装置本体20の上部に試料台14を固定
する。試料台14は、２つの電極部分14a 、14b と、これ
らの電極部分14a 、14b 同志を絶縁する絶縁部材21とか
らなる。試料台14に絶縁体製の試料固定部材22を設け、
試料固定装置本体20に試料台14の各電極部分14a 、14b
と接触する電極部材23a 、23b を設け、電源装置９に接
続する電源用リード線24a 、24b を電極部材23a 、23b
から試料固定装置本体内20を通して外部に引出す。
向上させる。 【構成】 試料固定装置本体20の上部に試料台14を固定
する。試料台14は、２つの電極部分14a 、14b と、これ
らの電極部分14a 、14b 同志を絶縁する絶縁部材21とか
らなる。試料台14に絶縁体製の試料固定部材22を設け、
試料固定装置本体20に試料台14の各電極部分14a 、14b
と接触する電極部材23a 、23b を設け、電源装置９に接
続する電源用リード線24a 、24b を電極部材23a 、23b
から試料固定装置本体内20を通して外部に引出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえばＳＴＭ（走
査型トンネル顕微鏡）やＡＦＭ（原子間力顕微鏡）のよ
うなスキャニングプローブ顕微鏡などに使用される試料
固定装置に関する。
査型トンネル顕微鏡）やＡＦＭ（原子間力顕微鏡）のよ
うなスキャニングプローブ顕微鏡などに使用される試料
固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＴＭやＡＦＭのようなスキャニング顕
微鏡においては、従来、図２に示すような試料固定装置
が使用されている。
微鏡においては、従来、図２に示すような試料固定装置
が使用されている。
【０００３】図２において、(1) は円筒型３次元ピエゾ
（圧電体）スキャナ、(2) はピエゾスキャナ(1) を固定
するためのベース、(3) はピエゾスキャナ(1) の上部に
固定された試料台固定部材、(4) は試料台固定部材(3)
に固定された試料台、(5) は試料台(4) に固定された試
料である。固定部材(3) は穴あき円板状をなし、その中
央部にめねじ部(6) が形成されている。試料台(4) は絶
縁体により円板状に形成され、その下面中央部におねじ
部(7) が形成されている。そして、試料台(4)のおねじ
部(7) を固定部材(3) のめねじ部(6) にねじ込むことに
より、試料台(4) が固定部材(3) の上面に固定されてい
る。(8) はリード線で、試料(5) の両端から引出され、
電源装置(9) のターミナル(10)に接続されている。(11)
はＳＴＭ探針である。ＳＴＭ測定を行なう場合、電源装
置(9) からリード線(8) を通して試料(5) の両端に電位
を与えて電流を流しながら、探針(11)と試料(5) に流れ
るトンネル電流を一定に保ち、試料(5) と探針(11)の間
隔を一定に保つためにピエゾスキャナ(1) にフィードバ
ックをかけながら、試料(5) をＸ−Ｙ方向にスキャンす
る。
（圧電体）スキャナ、(2) はピエゾスキャナ(1) を固定
するためのベース、(3) はピエゾスキャナ(1) の上部に
固定された試料台固定部材、(4) は試料台固定部材(3)
に固定された試料台、(5) は試料台(4) に固定された試
料である。固定部材(3) は穴あき円板状をなし、その中
央部にめねじ部(6) が形成されている。試料台(4) は絶
縁体により円板状に形成され、その下面中央部におねじ
部(7) が形成されている。そして、試料台(4)のおねじ
部(7) を固定部材(3) のめねじ部(6) にねじ込むことに
より、試料台(4) が固定部材(3) の上面に固定されてい
る。(8) はリード線で、試料(5) の両端から引出され、
電源装置(9) のターミナル(10)に接続されている。(11)
はＳＴＭ探針である。ＳＴＭ測定を行なう場合、電源装
置(9) からリード線(8) を通して試料(5) の両端に電位
を与えて電流を流しながら、探針(11)と試料(5) に流れ
るトンネル電流を一定に保ち、試料(5) と探針(11)の間
隔を一定に保つためにピエゾスキャナ(1) にフィードバ
ックをかけながら、試料(5) をＸ−Ｙ方向にスキャンす
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような試料固定
装置の場合、リード線を用いて試料から電源装置のター
ミナルまで配線をする必要があり、リード線があるため
にＳＴＭなどスキャニングプローブ顕微鏡の像（空間）
分解能が低下してしまう。分解能の低下原因は、リード
線があるために、振動の影響を受けて共振しやすく、リ
ード線が大気中を伝わってくる音の影響を受けて振動し
たり、周辺の温度変化の影響を受けて熱ドリフトが生じ
たりすることである。そして、原子的な空間分解能を有
するＳＴＭなどでは上記の影響が大きな問題になり、改
善が望まれている。
装置の場合、リード線を用いて試料から電源装置のター
ミナルまで配線をする必要があり、リード線があるため
にＳＴＭなどスキャニングプローブ顕微鏡の像（空間）
分解能が低下してしまう。分解能の低下原因は、リード
線があるために、振動の影響を受けて共振しやすく、リ
ード線が大気中を伝わってくる音の影響を受けて振動し
たり、周辺の温度変化の影響を受けて熱ドリフトが生じ
たりすることである。そして、原子的な空間分解能を有
するＳＴＭなどでは上記の影響が大きな問題になり、改
善が望まれている。
【０００５】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
振動、音、熱の影響を受けにくい試料固定装置を提供す
ることにある。
振動、音、熱の影響を受けにくい試料固定装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による試料固定
装置は、試料固定装置本体の上部に試料台が固定され、
試料台が、２つ以上の電極部分とこれらの電極部分同志
を絶縁する絶縁体と、試料を固定するための絶縁体とか
らなり、試料固定装置本体に試料台の各電極部分と接触
する電極部材が設けられ、電源装置に接続されるリード
線がこれらの電極部材から試料固定装置本体内を通して
外部に引出されているものである。
装置は、試料固定装置本体の上部に試料台が固定され、
試料台が、２つ以上の電極部分とこれらの電極部分同志
を絶縁する絶縁体と、試料を固定するための絶縁体とか
らなり、試料固定装置本体に試料台の各電極部分と接触
する電極部材が設けられ、電源装置に接続されるリード
線がこれらの電極部材から試料固定装置本体内を通して
外部に引出されているものである。
【０００７】
【作用】試料台に固定された試料と試料台の電極部分と
が、リード線によって接続される。このため、リード線
を短く、かつ細くすることができ、振動、音、熱の影響
を最低限に抑えることができる。しかも、電源装置に接
続されるリード線が試料固定装置本体内を通されている
ので、外部からの振動、音、熱の影響を受けにくい。ま
た、試料固定装置本体に試料台の各電極部分と接触する
電極部材が設けられているので、試料台を試料固定装置
本体に固定するだけで簡単に導通をとることができる。
が、リード線によって接続される。このため、リード線
を短く、かつ細くすることができ、振動、音、熱の影響
を最低限に抑えることができる。しかも、電源装置に接
続されるリード線が試料固定装置本体内を通されている
ので、外部からの振動、音、熱の影響を受けにくい。ま
た、試料固定装置本体に試料台の各電極部分と接触する
電極部材が設けられているので、試料台を試料固定装置
本体に固定するだけで簡単に導通をとることができる。
【０００８】
【実施例】以下、図１を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。なお、図１に示す実施例において、図
２の従来例と同じ部分には同一の符号を付している。
ついて説明する。なお、図１に示す実施例において、図
２の従来例と同じ部分には同一の符号を付している。
【０００９】図１において、ピエゾスキャナ(1) の上端
に固定された試料台固定部材(13)は図２の従来例の試料
台固定部材(3) と同様の形状を有し、その中央部にめね
じ部(16)が形成されている。この場合、固定部材(13)は
絶縁体よりなる。そして、ピエゾスキャナ(1) と固定部
材(13)によって、試料固定装置本体(20)が構成されてい
る。
に固定された試料台固定部材(13)は図２の従来例の試料
台固定部材(3) と同様の形状を有し、その中央部にめね
じ部(16)が形成されている。この場合、固定部材(13)は
絶縁体よりなる。そして、ピエゾスキャナ(1) と固定部
材(13)によって、試料固定装置本体(20)が構成されてい
る。
【００１０】試料台(14)も図２の従来例の試料台(4) と
同様の形状を有し、その下面中央部におねじ部(17)が形
成されている。この場合、試料台(14)は２つの電極部分
(14a)(14b)と、これらの電極部分(14a)(14b)同志を絶縁
する絶縁部材(21)とからなる。電極部分(14a)(14b)は試
料台(14)を軸線を通る平面で２つに分割した形状に金属
などの良導体で作られており、これらの分割面相互間に
絶縁部材(21)が挟み止められている。そして、試料台(1
4)の上面中央部に、２つの電極部分(14a)(14b)に跨るよ
うに絶縁体製の円板状の試料固定部材(22)が設けられて
いる。試料台(14)は、たとえば次のようにして作られ
る。まず、金属で試料台(14)の全体形状を有するブロッ
クを作り、これを一定の取代で２つに分割して電極部分
(14a)(14b)を作る。次に、この取代の部分を絶縁体であ
る合成樹脂で固めて、絶縁部材(21)を形成し、試料台(1
4)の大体の形状を作る。そして、これを再度加工し、試
料台(14)を完成する。また、このようにして完成した試
料台(14)の上面に、合成樹脂などの絶縁体によって試料
固定部材(22)を形成する。
同様の形状を有し、その下面中央部におねじ部(17)が形
成されている。この場合、試料台(14)は２つの電極部分
(14a)(14b)と、これらの電極部分(14a)(14b)同志を絶縁
する絶縁部材(21)とからなる。電極部分(14a)(14b)は試
料台(14)を軸線を通る平面で２つに分割した形状に金属
などの良導体で作られており、これらの分割面相互間に
絶縁部材(21)が挟み止められている。そして、試料台(1
4)の上面中央部に、２つの電極部分(14a)(14b)に跨るよ
うに絶縁体製の円板状の試料固定部材(22)が設けられて
いる。試料台(14)は、たとえば次のようにして作られ
る。まず、金属で試料台(14)の全体形状を有するブロッ
クを作り、これを一定の取代で２つに分割して電極部分
(14a)(14b)を作る。次に、この取代の部分を絶縁体であ
る合成樹脂で固めて、絶縁部材(21)を形成し、試料台(1
4)の大体の形状を作る。そして、これを再度加工し、試
料台(14)を完成する。また、このようにして完成した試
料台(14)の上面に、合成樹脂などの絶縁体によって試料
固定部材(22)を形成する。
【００１１】固定部材(13)内の対称２箇所に、金属など
の良導体よりなる電極部材(23a)(23b)が設けられてい
る。各電極部材(23a)(23b)は逆Ｌ字状をなし、一端が固
定部材(13)の穴の内周面からめねじ部(16)内に臨み、め
ねじ部(16)にねじ込まれた試料台(14)の各電極部分(14
a)(14b)にそれぞれ接触するようになっている。なお、
電極部材(23a)(23b)による２つの電極部分(14a)(14b)の
短絡を防止するため、電極部分(14a)(14b)と接触する電
極部材(23a)(23b)の先端部の円周方向の幅は試料台(14)
の絶縁部材(21)の円周方向の幅より小さくなっている。
各電極部材(23a)(23b)の他端は固定部材(13)の下端面か
らピエゾスキャナ(1) 内に臨み、この部分に電源用リー
ド線(24a)(24b)の一端がそれぞれ接続されている。これ
らのリード線(24a)(24b)はピエゾスキャナ(1) 内を通し
てその下端から外部に引出され、これらの他端は電源装
置(9) のターミナル(10)にそれぞれ接続されている。ま
た、リード線(24a)(24b)の中間部は、ピエゾスキャナ
(1) の下端部内周面に適当な固定具(25)によって固定さ
れている。
の良導体よりなる電極部材(23a)(23b)が設けられてい
る。各電極部材(23a)(23b)は逆Ｌ字状をなし、一端が固
定部材(13)の穴の内周面からめねじ部(16)内に臨み、め
ねじ部(16)にねじ込まれた試料台(14)の各電極部分(14
a)(14b)にそれぞれ接触するようになっている。なお、
電極部材(23a)(23b)による２つの電極部分(14a)(14b)の
短絡を防止するため、電極部分(14a)(14b)と接触する電
極部材(23a)(23b)の先端部の円周方向の幅は試料台(14)
の絶縁部材(21)の円周方向の幅より小さくなっている。
各電極部材(23a)(23b)の他端は固定部材(13)の下端面か
らピエゾスキャナ(1) 内に臨み、この部分に電源用リー
ド線(24a)(24b)の一端がそれぞれ接続されている。これ
らのリード線(24a)(24b)はピエゾスキャナ(1) 内を通し
てその下端から外部に引出され、これらの他端は電源装
置(9) のターミナル(10)にそれぞれ接続されている。ま
た、リード線(24a)(24b)の中間部は、ピエゾスキャナ
(1) の下端部内周面に適当な固定具(25)によって固定さ
れている。
【００１２】試料(5) は試料固定部材(22)の上面にたと
えば銀ペーストで固定され、試料(5) の両端部と２つの
電極部分(14a)(14b)とがそれぞれリード線(26a)(26b)に
よって接続される。試料(5) の固定手段は銀ペーストに
限定されず、絶縁性両面テープ、導電性両面テープ、カ
ーボンペースト、瞬間接着剤などを用いることができる
が、固定中は試料(5) が完全に移動することがなく、試
料(5) を外す際には容易に外すことができることが望ま
しいので、この実施例ではリード線(26a)(26b)との関係
から銀ペーストが用いられている。測定をする目的ある
いは試料の材質によっては、導電性あるいは絶縁性いず
れかの接着剤テープの選択を行なう。試料自体の導電性
を重要視する場合は、接着剤は絶縁物を使用する。ま
た、この実施例では、リード線(26a)(26b)として、半導
体装置の組立で用いる技術を用いて、直径約３０μｍの
金ワイヤを使用している。なお、この金ワイヤ製のリー
ド線(26a)(26b)の接続は、超音波ボンディング技術を用
いて行なった。
えば銀ペーストで固定され、試料(5) の両端部と２つの
電極部分(14a)(14b)とがそれぞれリード線(26a)(26b)に
よって接続される。試料(5) の固定手段は銀ペーストに
限定されず、絶縁性両面テープ、導電性両面テープ、カ
ーボンペースト、瞬間接着剤などを用いることができる
が、固定中は試料(5) が完全に移動することがなく、試
料(5) を外す際には容易に外すことができることが望ま
しいので、この実施例ではリード線(26a)(26b)との関係
から銀ペーストが用いられている。測定をする目的ある
いは試料の材質によっては、導電性あるいは絶縁性いず
れかの接着剤テープの選択を行なう。試料自体の導電性
を重要視する場合は、接着剤は絶縁物を使用する。ま
た、この実施例では、リード線(26a)(26b)として、半導
体装置の組立で用いる技術を用いて、直径約３０μｍの
金ワイヤを使用している。なお、この金ワイヤ製のリー
ド線(26a)(26b)の接続は、超音波ボンディング技術を用
いて行なった。
【００１３】試料(5) の一端部は一方のリード線(26a)
、電極部分(14a) 、電極部材(23a)および電源用リード
線(24a) を通して電源装置(9) の一方のターミナル(10)
に電気的に接続され、試料(5) の他端部は他方のリード
線(26b) 、電極部分(14b) 、電極部材(23b) および電源
用リード線(24b) を通して電源装置(9) の他方のターミ
ナル(10)に電気的に接続され、これによって試料(5) に
電流が流される。
、電極部分(14a) 、電極部材(23a)および電源用リード
線(24a) を通して電源装置(9) の一方のターミナル(10)
に電気的に接続され、試料(5) の他端部は他方のリード
線(26b) 、電極部分(14b) 、電極部材(23b) および電源
用リード線(24b) を通して電源装置(9) の他方のターミ
ナル(10)に電気的に接続され、これによって試料(5) に
電流が流される。
【００１４】試料(5) と試料台(14)の電極部分(14a)(14
b)とを接続するリード線(26a)(26b)は短くて細いもので
あるから、振動、音、熱の影響を最小限に抑えることが
できる。電源用リード線(24a)(24b)がピエゾスキャナ
(1) 内を通されているので、外部からの振動、音、熱の
影響を受けにくい。また、固定部材(13)のめねじ部(16)
に試料台(14)のおねじ部(17)をねじ込むだけで、電極部
分(14a)(14b)を電極部材(23a)(23b)に接触させて、簡単
に導通をとることができる。
b)とを接続するリード線(26a)(26b)は短くて細いもので
あるから、振動、音、熱の影響を最小限に抑えることが
できる。電源用リード線(24a)(24b)がピエゾスキャナ
(1) 内を通されているので、外部からの振動、音、熱の
影響を受けにくい。また、固定部材(13)のめねじ部(16)
に試料台(14)のおねじ部(17)をねじ込むだけで、電極部
分(14a)(14b)を電極部材(23a)(23b)に接触させて、簡単
に導通をとることができる。
【００１５】試料台(14)の電極部分(14a)(14b)の数は必
要に応じて増やすことができる。その場合、たとえば、
試料台を軸線を中心に円周方向に複数の部分に分割し、
回転対称になるような複数の電極部分を形成すればよ
い。
要に応じて増やすことができる。その場合、たとえば、
試料台を軸線を中心に円周方向に複数の部分に分割し、
回転対称になるような複数の電極部分を形成すればよ
い。
【００１６】試料固定装置の各部の構成は、上記実施例
のものに限らず、適宜変更可能である。たとえば、電極
部材(23a)(23b)を導電性材料のばね状のものにし、固定
部材(13)と試料台(14)にねじを設けずに、これらをさし
込み式に固定するなどの方法をとることができる。ま
た、これらの固定のために磁石をうめ込む方法もある。
のものに限らず、適宜変更可能である。たとえば、電極
部材(23a)(23b)を導電性材料のばね状のものにし、固定
部材(13)と試料台(14)にねじを設けずに、これらをさし
込み式に固定するなどの方法をとることができる。ま
た、これらの固定のために磁石をうめ込む方法もある。
【００１７】
【発明の効果】この発明の試料固定装置によれば、上述
のように、振動、音、熱の影響を低減することができ、
また、試料台を試料固定装置本体に固定するだけで簡単
に導通をとることができる。そして、振動、音、熱の影
響が低減することにより、空間分解能が向上し、また、
熱ドリフトが非常に低減するため、温度一定になって測
定などが可能になるまでの時間が短縮でき、測定などの
作業時間が短縮できる。
のように、振動、音、熱の影響を低減することができ、
また、試料台を試料固定装置本体に固定するだけで簡単
に導通をとることができる。そして、振動、音、熱の影
響が低減することにより、空間分解能が向上し、また、
熱ドリフトが非常に低減するため、温度一定になって測
定などが可能になるまでの時間が短縮でき、測定などの
作業時間が短縮できる。
【図１】この発明の実施例を示す試料固定装置の部分切
欠き斜視図である。
欠き斜視図である。
【図２】従来例を示す試料固定装置の部分切欠き斜視図
である。
である。
(9) 電源装置 (14) 試料台 (14a)(14b) 電極部分 (20) 試料固定装置本体 (21) 絶縁部材 (22) 試料固定部材 (23a)(23b) 電極部材 (24a)(24b) 電源用リード線
Claims (1)
- 【請求項１】試料固定装置本体の上部に試料台が固定さ
れ、試料台が、２つ以上の電極部分と、これらの電極部
分同志を絶縁する絶縁部材とからなり、試料台に絶縁体
製の試料固定部材が設けられ、試料固定装置本体に試料
台の各電極部分と接触する電極部材が設けられ、電源装
置に接続される電源用リード線がこれらの電極部材から
試料固定装置本体内を通して外部に引出されている試料
固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP313492A JP2759235B2 (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 試料固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP313492A JP2759235B2 (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 試料固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05187978A true JPH05187978A (ja) | 1993-07-27 |
| JP2759235B2 JP2759235B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=11548885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP313492A Expired - Fee Related JP2759235B2 (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 試料固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759235B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989909A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-04-04 | Jeol Ltd | ホルダ受および試料ホルダ |
-
1992
- 1992-01-10 JP JP313492A patent/JP2759235B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989909A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-04-04 | Jeol Ltd | ホルダ受および試料ホルダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2759235B2 (ja) | 1998-05-28 |
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