JPH0227267A

JPH0227267A - 測定用プローブ

Info

Publication number: JPH0227267A
Application number: JP63177109A
Authority: JP
Inventors: Naoki Takenaka; 直樹竹中; Yoshinori Takeuchi; 喜則武内; Takeshi Idota; 健井戸田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-07-18
Filing date: 1988-07-18
Publication date: 1990-01-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、各種の測定機器に使用される測定用プローブ
に関するものである。

（従来の技術）従来より、測定用プローブは測定機器等の分野で不可欠
のものである。この種の従来の測定用プローブについて
、第３図（ａ）および（ｂ）により説明する。同図にお
いて、従来の測定用プローブを用いた測定は、測定テー
ブル１の上に被測定物２を置き、被測定物２の上面に形
成された電極バッド３に、針状の測定用プローブ４を接
触させるようにこれを装着した測定アーム５を矢印Ａの
ように下ろし、電気的接続を検出して行なわれていた。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、従来の測定用プローブ４は、被測定物２
上の電極パッド３に接触する際の荷重で、被測定物を傷
つけたり、そのため特性の劣化を招いたり、また、甚し
い場合には破壊するという問題があった。さらに、測定
の際に過大電流により被測定物が破壊するという問題も
あった。

本発明は上記の問題を解決するもので、被測定物の損傷
や特性の劣化をさせず、過大電流が流れた場合でも破壊
させない、測定アームの上下動のいらない、しかも任意
の温度で測定できる測定用プローブを提供するものであ
る。

（課題を解決するための手段）上記の課題を解決するため１本発明は、測定用プローブ
の材料として、任意の測定温度と同一の変態温度をもつ
形状記憶合金、あるいは任意の測定温度と同一および異
なる変態温度をもつ形状記憶合金の２種以上の組合せを
用いるものである（作　用）上記の構成によれば、測定用プローブの材料として、室
温では被測定物と非接触であるが、任意の測定温度では
変態が起こって被測定物と接触するように緩やかに変形
する形状記憶合金を用いることにより、測定用プローブ
が電極パッドに接触する際の荷重で被測定物が傷つけら
れることなく。

また、特性の劣化も起こらず、まして破壊することもな
い、しかも、測定用プローブ装着は、測定アームを上下
動する機構が必要でなくなる。また、変態温度の異なる
２種以上の形状記憶合金数個を組み合わせ、プローブの
先端部に任意の測定温度よりわずかに高い変態温度をも
つ形状記憶合金を用いた測定用プローブを用いることに
より、過大電流が流れた場合に、先端部分が発熱により
被測定物上の電極パッドから離れるように変形するので
、被測定物の破壊を防ぐことができる。

（実施例）本発明による第１および第２の実施例を、それぞれ第１
図および第２図により説明する。なお、第３図に示した
従来例と同じ部品には同一符号を付して説明を進める。

まず、第１図（ａ）および（ｂ）により、本発明の第１
の実施例について説明する。（ａ）図において。

測定テーブル１の上に置かれた半導体集積回路等の被測
定物２は、その上面に電極バッド３が形成されている。

測定用プローブ４は、任意の測定温度と同一の変態温度
をもつ形状記憶合金で作られているため、室温では上方
に折れ曲がり、その先端部は測定テーブル１上に置かれ
た被測定物２から離れている。成る測定温度になると、
（ｂ）図に示すように、測定用プローブ４は変態が起こ
って。

矢印Ａのように緩やかに変形して電極パッド３と接触し
、電気的に接続され測定される６次に、再び室温に戻す
と、測定用プローブ４の先端部分が電極パッド３から離
れて測定が終了する。従って。

測定用プローブが電極パッド３に接触する際の荷重で被
測定物２の損傷や特性の劣化が起こらず、また、測定用
プローブ４を装着した測定アー４５の上下動機構も必要
がないので１歩留まりの向上。

自動化の推進ができる。

次に、第２図（ａ）ないしくｃ）により１本発明の第２
の実施例について説明する。

（ａ）図において、測定テーブル１の上に置かれた半導
体集積回路等の被測定物２は、その表面に電極パッド３
が形成されている。測定用プローブ６は、任意の測定温
度と同一の変態温度Ｔ、およびそれよりわずかに高い変
態温度Ｔ、をそれぞれもった第１および第２形状記憶合
金部６ａおよび６ｂの組合せによりできていて、室温で
は第１および第２形状記憶合金部６ａおよび６ｂでそれ
ぞれ折り曲がり、電極パッド３から十分に離れている。

次に、被測定物２と測定用プローブ６が成る測定温度Ｔ
、になると、（ｂ）図に示すように、第２形状記憶合金
部６ｂの先端部分が電極パッド３と接触するように第１
形状記憶合金部６ａが矢印Ｂのごとく変形して、測定用
プローブ６と電極パッド３が電気的に接続されて測定さ
れる。（Ｃ）図に示すように、測定用プローブ６に過大
電流が流れ、第２形状記憶合金部６ｂが変態温度Ｔ、を
超すと、第２形状記憶合金部６ｂの先端部分が矢印Ｃの
ごとく電極パッド３から離れるように変形する。

従って、第２の実施例によれば、第１の実施例の効果に
加えて、測定時に過大な電流が流れても、発熱により電
気的接続が切れるので、被測定物が破壊されるのを防ぐ
ことができる。

なお、本実施例では２種の変態温度をもつ形状記憶合金
を組み合わせた測定用プローブを用いたが、３種以上の
変態温度をもつ形状記憶合金を組み合わ゛せて複数の測
定温度を測定できる測定用プローブを作製することもで
きる。

（発明の効果）以上説明したように、本発明によれば、任意の測定温度
で緩やかに被測定物上の電極パッドに測定用プローブを
接触させ、電気的に接続させることができるので、被測
定物を損傷することがなく、特性の劣化も招くこともな
く、さらに、測定用プローブを装着する測定アームの上
下動機構もなくすることができるので、歩留まりを向上
させるとともに測定の自動化を推進することができる。

また、？ｌＩ！定の際に過大な電流が流れても、被測定
物が破壊することがない測定用プローブが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）および（ｂ）は本発明による第１の実施例
の測定用プローブの動作を説明する側面図。第２図（ａ）ないしくｃ）は本発明による第２の実施例
の測定用プローブの動作を説明する側面図、第３図（ａ
）および（ｂ）は従来の針状の測定用プローブを用いて
の測定工程を示す側面図である。１・・・測定テーブル、　２・・・被測定物、　３・・
・電極パッド、　４，６・・・測定用プローブ。訃・・測定アーム、　６ａ・・・第１形状記憶合金部、
　６ｂ・・・第２形状記憶合金部。特許出願人　松下電塁産業株式会社第図（ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）室温では測定対象物と非接触であり、任意の測定
温度と同一の変態温度で測定対象物と接触するように変
形する形状記憶合金からなる測定用プローブ。
（２）変態温度の異なる２種以上の形状記憶合金の組合
せからなる請求項（１）記載の測定用プローブ。