JPH0518920A - 感湿体 - Google Patents
感湿体Info
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- JPH0518920A JPH0518920A JP17408791A JP17408791A JPH0518920A JP H0518920 A JPH0518920 A JP H0518920A JP 17408791 A JP17408791 A JP 17408791A JP 17408791 A JP17408791 A JP 17408791A JP H0518920 A JPH0518920 A JP H0518920A
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- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 17
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 4
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 4
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004898 kneading Methods 0.000 abstract description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910000957 xLi2O Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006501 ZrSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000012047 saturated solution Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インピーダンス値の変化が大きいとともに応
答速度が速く、経時変化を少なくする。 【構成】 感湿体をxLi2 O・Al2 O3 ・2SiO
2 (0<x<5)よりなる金属酸化物を用いて構成す
る。出発原料としては試薬級の炭酸リチウム〈Li2 C
O3 〉、酸化アルミニウム〈Al2 O3 〉、二酸化ケイ
素〈SiO2 〉、SiO2 ーAl2 O3 系の天然原料を
用い、各組成比に配合、湿式混練、乾燥、仮成形、焼
成、および粉砕を行って感湿体原料とし、この原料を薄
板に成形、熱処理した後、その両面に対向電極を設けて
感湿素子とする。
答速度が速く、経時変化を少なくする。 【構成】 感湿体をxLi2 O・Al2 O3 ・2SiO
2 (0<x<5)よりなる金属酸化物を用いて構成す
る。出発原料としては試薬級の炭酸リチウム〈Li2 C
O3 〉、酸化アルミニウム〈Al2 O3 〉、二酸化ケイ
素〈SiO2 〉、SiO2 ーAl2 O3 系の天然原料を
用い、各組成比に配合、湿式混練、乾燥、仮成形、焼
成、および粉砕を行って感湿体原料とし、この原料を薄
板に成形、熱処理した後、その両面に対向電極を設けて
感湿素子とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は雰囲気中の湿度の変化に
応じて電気的インピーダンス値の変化する感湿体に関す
るものである。
応じて電気的インピーダンス値の変化する感湿体に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、雰囲気中の湿度の変化に感応して
インピーダンス値が変化する感湿体としては、Al2 O
3 ,ZrSiO4 ,MgAl2 O4 ,MgCr2 O4 な
どの金属酸化物の多孔質体やLiCl飽和溶液などの電
解質塩、或いはセルロースや疎水ポリマーと親水性ポリ
マーとの共重合体等の有機物質系のものがある。
インピーダンス値が変化する感湿体としては、Al2 O
3 ,ZrSiO4 ,MgAl2 O4 ,MgCr2 O4 な
どの金属酸化物の多孔質体やLiCl飽和溶液などの電
解質塩、或いはセルロースや疎水ポリマーと親水性ポリ
マーとの共重合体等の有機物質系のものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
感湿体のほとんどは常温においても著しい経時変化を有
している。その解決策として熱的安定性に優れた金属酸
化物よりなる感湿素子にヒータを設け、一定時間ごとに
加熱し、素子表面を再生することで経時変化を抑える方
法が実用化されている。しかし、この方法は一定時間ご
との素子の加熱が必要で湿度の連続測定が不可能であ
り、ヒータを作動させるための大きな電力が必要とな
り、またヒータ制御回路を設けなければならないために
複雑な機構が必要になってしまうという問題がある。
感湿体のほとんどは常温においても著しい経時変化を有
している。その解決策として熱的安定性に優れた金属酸
化物よりなる感湿素子にヒータを設け、一定時間ごとに
加熱し、素子表面を再生することで経時変化を抑える方
法が実用化されている。しかし、この方法は一定時間ご
との素子の加熱が必要で湿度の連続測定が不可能であ
り、ヒータを作動させるための大きな電力が必要とな
り、またヒータ制御回路を設けなければならないために
複雑な機構が必要になってしまうという問題がある。
【0004】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、インピーダンス値の変化が大きいとともに応答速度
が速く、長時間にわたり経時変化が極めて少ない、優れ
た感湿能を有する感湿体を提供することを目的とする。
で、インピーダンス値の変化が大きいとともに応答速度
が速く、長時間にわたり経時変化が極めて少ない、優れ
た感湿能を有する感湿体を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の感湿
体は xLi2 O・Al2 O3 ・2SiO2 (0<x<5) よりなる金属酸化物を用いたことを特徴とする。
体は xLi2 O・Al2 O3 ・2SiO2 (0<x<5) よりなる金属酸化物を用いたことを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明は、出発原料としては試薬級の炭酸リチ
ウム〈Li2 CO3 〉、酸化アルミニウム〈Al
2 O3 〉、二酸化ケイ素〈SiO2 〉を用いた他に、S
iO2 ーAl2 O3 系の天然原料である平木カオリンも
用いた。なお、試薬級原料および天然原料どちらを用い
た場合も感湿特性に対して違いは認められなかった。こ
の出発原料を各組成比に配合、湿式混練、乾燥、仮成
形、焼成、および粉砕を行って感湿体原料とする。その
原料を薄板に成形、熱処理した後、その両面に対向電極
を設け、サンドウィッチ型感湿素子とする。
ウム〈Li2 CO3 〉、酸化アルミニウム〈Al
2 O3 〉、二酸化ケイ素〈SiO2 〉を用いた他に、S
iO2 ーAl2 O3 系の天然原料である平木カオリンも
用いた。なお、試薬級原料および天然原料どちらを用い
た場合も感湿特性に対して違いは認められなかった。こ
の出発原料を各組成比に配合、湿式混練、乾燥、仮成
形、焼成、および粉砕を行って感湿体原料とする。その
原料を薄板に成形、熱処理した後、その両面に対向電極
を設け、サンドウィッチ型感湿素子とする。
【0007】この素子は相対湿度20〜90%でインピ
ーダンスが107Ωのオーダ以下で、2〜4桁程変化す
る。応答速度は30℃、30%r.h.(相対湿度)の
変化に対して2〜3分である。また、経時変化はエイジ
ング後(大気中1〜2カ月)、15カ月間で±5%r.
h.以下、最も安定した素子で±1%r.h.である。
ーダンスが107Ωのオーダ以下で、2〜4桁程変化す
る。応答速度は30℃、30%r.h.(相対湿度)の
変化に対して2〜3分である。また、経時変化はエイジ
ング後(大気中1〜2カ月)、15カ月間で±5%r.
h.以下、最も安定した素子で±1%r.h.である。
【0008】
【実施例】以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
xLi2 O・Al2 O3 ・2SiO2 の組成比が、図2
(モル比x;サンプルNo1:0.66,サンプルNo
2:0.81,サンプルNo3:1.00,サンプルN
o4:1.21,サンプルNo5:1.45,サンプル
No6:2.19,サンプルNo7:3.77,比較例
1:5.95,比較例2:9.22)の如くなるように
試薬級のLi2 CO3 、Al2 O3 、SiO2 を配合
し、エタノールを用い、ボールミルにより混練を行う。
乾燥の後、100kg/cm2 で加圧成形し、図2に示
す各焼成温度(サンプルNo1〜5:1350℃、サン
プルNo6,7:1100℃、比較例1,2:700
℃)で3時間焼成を行い、その後粉砕する。この操作に
より均一な組成の感湿体原料が得られる。サンプルNo
6,7および比較例の焼成温度をサンプルNo1〜5に
比べて低くしたのは、その温度以上では溶融するためで
ある。また、比較例の焼成体は700℃で焼成した後、
冷却過程で生成したものと思われる炭酸リチウム〈Li
2 CO3 〉が赤外吸収スペクトルなどによって認めら
れ、さらに、感湿素子に組み上げたところ、経時変化が
著しく実用化が困難であるのでLi2 Oのモル比xは0
<x<5の範囲である必要がある。
xLi2 O・Al2 O3 ・2SiO2 の組成比が、図2
(モル比x;サンプルNo1:0.66,サンプルNo
2:0.81,サンプルNo3:1.00,サンプルN
o4:1.21,サンプルNo5:1.45,サンプル
No6:2.19,サンプルNo7:3.77,比較例
1:5.95,比較例2:9.22)の如くなるように
試薬級のLi2 CO3 、Al2 O3 、SiO2 を配合
し、エタノールを用い、ボールミルにより混練を行う。
乾燥の後、100kg/cm2 で加圧成形し、図2に示
す各焼成温度(サンプルNo1〜5:1350℃、サン
プルNo6,7:1100℃、比較例1,2:700
℃)で3時間焼成を行い、その後粉砕する。この操作に
より均一な組成の感湿体原料が得られる。サンプルNo
6,7および比較例の焼成温度をサンプルNo1〜5に
比べて低くしたのは、その温度以上では溶融するためで
ある。また、比較例の焼成体は700℃で焼成した後、
冷却過程で生成したものと思われる炭酸リチウム〈Li
2 CO3 〉が赤外吸収スペクトルなどによって認めら
れ、さらに、感湿素子に組み上げたところ、経時変化が
著しく実用化が困難であるのでLi2 Oのモル比xは0
<x<5の範囲である必要がある。
【0009】上記の操作により得られた原料を400k
g/cm2 で厚み0.5mm、φ20mmのペレットに
加圧成形した後、6×6mmの板状に加工する。その板
を1000〜1200℃で2時間程熱処理を行い感湿体
とした。なお、熱処理温度は1000℃以下では感湿体
の強度がないために取扱いにくく、また、1200℃以
上では焼結が進み、感湿能が低下する。以下で述べる結
果は、1100℃で熱処理した感湿体についてのもので
ある。
g/cm2 で厚み0.5mm、φ20mmのペレットに
加圧成形した後、6×6mmの板状に加工する。その板
を1000〜1200℃で2時間程熱処理を行い感湿体
とした。なお、熱処理温度は1000℃以下では感湿体
の強度がないために取扱いにくく、また、1200℃以
上では焼結が進み、感湿能が低下する。以下で述べる結
果は、1100℃で熱処理した感湿体についてのもので
ある。
【0010】次に、図1に示すように、得られた感湿体
1の両表面に、金〈Au〉を蒸着して電極2を構成し、
これにリード線3を取りつけてサンドウィッチ型感湿素
子を構成する。Au電極2は透湿性があり、感湿体1は
電極2を通して吸湿し、リード線3を通してインピーダ
ンスを測定することにより湿度が測定できる。もちろ
ん、感湿素子はサンドウィッチ型に限らず、絶縁体基板
上に櫛型電極を形成し、その上に感湿体を設けるように
したもの、電極を設けた容器内に感湿体を充填し、容器
の一面を透湿性膜で包むようにしたもの等任意のもので
よい。
1の両表面に、金〈Au〉を蒸着して電極2を構成し、
これにリード線3を取りつけてサンドウィッチ型感湿素
子を構成する。Au電極2は透湿性があり、感湿体1は
電極2を通して吸湿し、リード線3を通してインピーダ
ンスを測定することにより湿度が測定できる。もちろ
ん、感湿素子はサンドウィッチ型に限らず、絶縁体基板
上に櫛型電極を形成し、その上に感湿体を設けるように
したもの、電極を設けた容器内に感湿体を充填し、容器
の一面を透湿性膜で包むようにしたもの等任意のもので
よい。
【0011】このようにして作成した感湿素子を大気中
17カ月間放置した後の感湿特性を図3に示す。測定は
温度30℃、印加電圧1V、周波数1kHzで行った。
横軸は相対湿度、縦軸はインピーダンスの対数値を示
す。Li2 Oモル比が1.0〜1.5付近(サンプルN
o.3,4,5)で20〜90%r.h.の範囲でのイ
ンピーダンス変化幅が3〜4桁と極めて大きいことが分
かる。また、20〜90%r.h.の範囲での相対湿度
対インピーダンスの対数値の関係は、サンプルNo.
5,7の素子を除くとすべて直線的に変化しており、こ
のことは測定回路を設計する上で大きな利点となる。
17カ月間放置した後の感湿特性を図3に示す。測定は
温度30℃、印加電圧1V、周波数1kHzで行った。
横軸は相対湿度、縦軸はインピーダンスの対数値を示
す。Li2 Oモル比が1.0〜1.5付近(サンプルN
o.3,4,5)で20〜90%r.h.の範囲でのイ
ンピーダンス変化幅が3〜4桁と極めて大きいことが分
かる。また、20〜90%r.h.の範囲での相対湿度
対インピーダンスの対数値の関係は、サンプルNo.
5,7の素子を除くとすべて直線的に変化しており、こ
のことは測定回路を設計する上で大きな利点となる。
【0012】図4は最も安定した経時変化を示したサン
プルNo.3の素子の大気中での経時変化を示したもの
である。初期1カ月間、低、中湿度領域でインピーダン
スが高くなる傾向が認められた後は、非常に安定してい
ることが分かる。初期1カ月後から16カ月間で経時変
化は±1%r.h.である。他の素子についても初期1
〜2カ月間経過すると経時変化が小さくなり、安定後は
15カ月間で経時変化は±3〜7%r.h.であった。
安定性はLi2 Oモル比(x)が1.0に近いほど比較
的良い結果が認められた。
プルNo.3の素子の大気中での経時変化を示したもの
である。初期1カ月間、低、中湿度領域でインピーダン
スが高くなる傾向が認められた後は、非常に安定してい
ることが分かる。初期1カ月後から16カ月間で経時変
化は±1%r.h.である。他の素子についても初期1
〜2カ月間経過すると経時変化が小さくなり、安定後は
15カ月間で経時変化は±3〜7%r.h.であった。
安定性はLi2 Oモル比(x)が1.0に近いほど比較
的良い結果が認められた。
【0013】図5はサンプルNo.3の素子の30℃に
おける湿度変化に対する応答性を示したものであり、横
方向は時間軸、縦方向は出力電圧である。特性Aは吸湿
過程、特性Bは脱湿過程を示しており、30%r.h.
変化したとき、吸湿過程では2分以下、脱湿過程では3
分以下の応答速度が得られた。なお、Li2 O含有量が
増えるに従い、応答速度が遅くなる傾向が認められる
が、実用上問題ない程度である。
おける湿度変化に対する応答性を示したものであり、横
方向は時間軸、縦方向は出力電圧である。特性Aは吸湿
過程、特性Bは脱湿過程を示しており、30%r.h.
変化したとき、吸湿過程では2分以下、脱湿過程では3
分以下の応答速度が得られた。なお、Li2 O含有量が
増えるに従い、応答速度が遅くなる傾向が認められる
が、実用上問題ない程度である。
【0014】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、湿度変化
に対してインピーダンス値が大きく変化し、応答速度が
速く、さらに経時変化が現在実用化されているものに比
べ極めて少なく安定した感湿体を得ることができる。
に対してインピーダンス値が大きく変化し、応答速度が
速く、さらに経時変化が現在実用化されているものに比
べ極めて少なく安定した感湿体を得ることができる。
【図1】 本発明の感湿体の斜視図である。
【図2】 各サンプル、比較例に対する焼成温度、Li
2 Oモル比を示す図である。
2 Oモル比を示す図である。
【図3】 相対湿度対インピーダンス値の関係を示す図
である。
である。
【図4】 インピーダンス値の経時変化を示す図であ
る。
る。
【図5】 感湿体の応答速度を説明する図である。
1…感湿体、2…Au電極、3…リ−ド線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 xLi2 O・Al2 O3 ・2SiO
2 (0<x<5) よりなる金属酸化物を用いた感湿体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17408791A JPH0518920A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 感湿体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17408791A JPH0518920A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 感湿体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518920A true JPH0518920A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=15972429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17408791A Pending JPH0518920A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 感湿体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518920A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105784786A (zh) * | 2015-01-09 | 2016-07-20 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法 |
-
1991
- 1991-07-15 JP JP17408791A patent/JPH0518920A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105784786A (zh) * | 2015-01-09 | 2016-07-20 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法 |
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