JPH05190656A - ウエハキャリア載置装置 - Google Patents

ウエハキャリア載置装置

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Publication number
JPH05190656A
JPH05190656A JP2617792A JP2617792A JPH05190656A JP H05190656 A JPH05190656 A JP H05190656A JP 2617792 A JP2617792 A JP 2617792A JP 2617792 A JP2617792 A JP 2617792A JP H05190656 A JPH05190656 A JP H05190656A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
case
wafer carrier
management
carrier
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2617792A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoichi Watanabe
洋一 渡邊
Kazuhiko Fukazawa
和彦 深澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 管理用ウエハをゴミやキズから保護するウエ
ハキャリア載置装置を提供する。 【構成】 管理用ウエハ８は、ウエハケース１０に収納
される。ウエハキャリアテーブル６には、ウエハケース
１０が挿脱自在に収容されるウエハケース収容スペース
１２が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハキャリア載置装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、処理用のウエハであっても、半導
体製造装置管理のための管理用ウエハであっても、裸の
まま、複数のウエハをウエハキャリアに収納し、ウエハ
キャリアをテーブル上に載置し、テーブルを上下動さ
せ、テーブルが所定位置に到達したときに、アームをウ
エハキャリアに挿入し、ウエハを引き抜いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来技術におい
ては、管理用ウエハを、裸の状態で、ウエハキャリアに
収納し、また引き抜いているので、管理用ウエハにゴミ
やキズが付き易く、半導体製造装置を調整し点検する
際、測定誤差が生じるおそれがあり、管理用ウエハを測
定基準として使用できなくなってしまうという問題点が
あった。
【０００４】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、管理用ウエハをゴミやキズから保護する
ウエハキャリア載置装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハキャリア
載置装置は、所定のウエハ（例えば、管理用ウエハ）を
収納するためのケースを収容するケース収容部を備える
ことを特徴とする。
【０００６】ケース収容部は、複数のウエハが収納され
るウエハキャリアを載置して上下するテーブルに、ケー
スが挿脱自在になるように形成されることが好ましい。
【０００７】
【作用】上記構成の本発明のウエハキャリア載置装置に
おいては、例えば、管理用ウエハ等の所定のウエハがケ
ースに収納され、ケースごとケース収容部に収容され
る。従って、管理用ウエハ等の所定のウエハをゴミやキ
ズから保護することができる。
【０００８】また、処理用のウエハと管理用ウエハの設
置部が異なるため、ウエハの入れ替え無しで、管理用ウ
エハを搬送できるので、装置管理の自動化が可能にな
る。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明のウエハキャリア載置装置の
一実施例の構成を示す。ウエハキャリア２には、複数の
処理用ウエハ４が収納される。ウエハキャリア２は、ウ
エハキャリアテーブル６上に載置される。ウエハキャリ
アテーブル６は、図示しない駆動装置によって上下動さ
れるように構成されている。
【００１０】管理用ウエハ８は、ウエハケース１０に収
納される。ウエハキャリアテーブル６には、ウエハケー
ス１０が挿脱自在に収容されるウエハケース収容スペー
ス１２が形成される。
【００１１】ウエハケース１０の前面部は、アーム１４
が押すことにより開き、アーム１４によって管理用ウエ
ハ１０を引き抜けるように構成されている。
【００１２】次に、図１の実施例の動作を説明する。処
理用ウエハ４が半導体製造装置で処理されるときには、
処理用ウエハ４がウエハキャリア２に収納され、ウエハ
キャリア２がウエハキャリアテーブル６上に載置され
る。そして、ウエハキャリア２中の処理用ウエハ４がア
ーム１４と整列する位置までウエハキャリアテーブル６
が下降し、アーム１４がウエハキヤリア２から処理用ウ
エハ４を引き抜き、処理用ウエハ４を処理ステーション
へ搬送する。
【００１３】半導体製造装置の調整または点検を行うと
きには、管理用ウエハ８が収納されたウエハケース１０
がウエハケース収容スペース１２が収容され、ウエハケ
ース１０がアーム１４と整列する位置までウエハキャリ
アテーブル６が上昇し、アーム１４がウエハケース１０
の前面部を押すことによりこの前面部を開き、管理用ウ
エハ１０を引き抜き、管理用ウエハ１０を調整または点
検ステーションへ搬送する。
【００１４】
【発明の効果】以上の様に、本発明のウエハキャリア載
置装置によれば、管理用ウエハ等の所定のウエハをケー
スに収納し、ケース収容部に収容するようにしたので、
管理用ウエハ等の所定のウエハをゴミやキズから保護す
ることができる。従って、半導体製造装置を調整し点検
する際、測定誤差が生じるおそれがなくなる。また、管
理用ウエハ等の所定のウエハは、ケース収容部に位置
し、処理用のウエハとは異なる位置にあるので、ウエハ
の入れ替えの必要性がなく装置管理を自動的に行うこと
が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウエハキャリア載置装置の一実施例の
構成を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
２ ウエハキャリア ４ 処理用ウエハ ６ ウエハキャリアテーブル ８ 管理用ウエハ １０ ウエハケース １２ ウエハケース収容スペース １４ アーム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定のウエハを収納するためのケースを
    収容するケース収容部を備えることを特徴とするウエハ
    キャリア載置装置。
  2. 【請求項２】 前記ケース収容部は、複数のウエハが収
    納されるウエハキャリアを載置して上下するテーブル
    に、前記ケースが挿脱自在になるように形成されること
    を特徴とする請求項１記載のウエハキャリア載置装置。
JP2617792A 1992-01-17 1992-01-17 ウエハキャリア載置装置 Withdrawn JPH05190656A (ja)

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JP2617792A JPH05190656A (ja) 1992-01-17 1992-01-17 ウエハキャリア載置装置

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JP2617792A JPH05190656A (ja) 1992-01-17 1992-01-17 ウエハキャリア載置装置

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JPH05190656A true JPH05190656A (ja) 1993-07-30

Family

ID=12186249

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JP2617792A Withdrawn JPH05190656A (ja) 1992-01-17 1992-01-17 ウエハキャリア載置装置

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Legal Events

Date Code Title Description
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Effective date: 19990408