JPH0519293A - 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ - Google Patents

薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ

Info

Publication number
JPH0519293A
JPH0519293A JP16855191A JP16855191A JPH0519293A JP H0519293 A JPH0519293 A JP H0519293A JP 16855191 A JP16855191 A JP 16855191A JP 16855191 A JP16855191 A JP 16855191A JP H0519293 A JPH0519293 A JP H0519293A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bus line
electrode
thin film
field effect
film field
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16855191A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoyasu Ikeda
直康 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP16855191A priority Critical patent/JPH0519293A/ja
Publication of JPH0519293A publication Critical patent/JPH0519293A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136218Shield electrodes

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】従来のアクティブマトリクス型液晶ディスプレ
イは、ドレインバスラインとゲートバスラインの交差部
に容量が生じ、この容量を介してドレイン信号がゲート
信号の立ち上がり波形を変化させることにより、ドレイ
ン波形が上下非対称になるという問題があった。本発明
はこの容量の影響を減少し、液晶にかかる電圧を上下対
称にすることで、フリッカ等の無い高画質の画像を実現
するものである。 【構成】ドレインバスラインとゲートバスラインの交差
部に、コモン電極に接続されたシールド電極を挿入し、
一方のバスラインの影響が他方のバスラインに及ばない
ようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特にアクティブマトリ
クス型液晶ディスプレイに用いる、薄膜電界効果型トラ
ンジスタ素子アレイに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の薄膜電界効果型トランジス
タ素子アレイの一画素を示す平面図、図6は図5のA−
A′断面図である。図7は図5の1画素分の等価回路図
で、バスラインの交差部の容量を考慮してある。図8は
ゲートバスライン、ドレインバスライン、コモンバスラ
インに入力される電圧波形を、図9及び図10はそれぞ
れ図8のNフレーム目、N+1フレーム目の信号が入力
された場合のゲート電極及びドレイン電極での信号波形
を示す図である。図5において1、2、4はそれぞれ薄
膜電界効果型トランジスタ素子アレイのクロムゲートバ
スライン、クロムドレインバスライン、クロムコモンバ
スラインである。これらはガラス基板10上に形成され
ている。28a,28b,28cはそれぞれ薄膜電界効
果型トランジスタ素子のクロムソース電極、クロムゲー
ト電極、クロムドレイン電極で、これらとアモルファス
シリコンのチャネル部29とで薄膜電界効果型トランジ
スタ素子14を形成する。図6に示すように、クロムゲ
ートバスライン1とクロムドレインバスライン2の交差
部は、第1の絶縁膜8を介して絶縁されている。その結
果、図7に示すようなCCRS なる容量がゲートバスライ
ンとドレインバスラインの交差部に生じる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】バスライン間に図7の
CRS のような結合容量が生じると、CCRS を介してゲ
ート、ドレイン信号が相互に影響を及ぼすことになる。
【0004】各バスラインに図8のような信号が入力さ
れている場合、このときの各電極波形は図9及び図10
に示すようになる。図9には図8のNフレーム目の場合
の電極波形を示す。このときゲート電極信号20はC
CRS を介してドレイン信号26の影響を受け、急峻な立
ち上がり及び立ち下がりの特性を示す。またゲート電極
信号20の影響を受けドレイン電極信号21も急峻な立
ち上がり立ち下がりの特性を示し、波形にもオーバーシ
ュート、フィールドスルー電圧の増加等の現象が現れ
る。
【0005】図10は図8のN+1フレーム目の場合の
電極波形を示す。この場合は、ゲート電極信号20はド
レイン信号26の影響を受けて立ち上がり立ち下がり共
に波形がなまる。このときゲート信号25の影響を受
け、ドレイン電極信号22も波形がなまる。
【0006】本発明は、従来の入力信号は変更せず、又
開口率の低下を生じること無く、ゲートバスラインとド
レインバスラインの交差部の結合容量CCRS によって生
じる液晶の印加電圧の非対称を減少する薄膜電界効果型
トランジスタ素子アレイを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】透光性絶縁基板上に、平
行な複数のゲートバスラインの平行な複数のドレインバ
スラインとがマトリクス状に形成され、前記ゲートバス
ラインと前記ドレインバスラインとに過去まれて形成さ
れる画素部にはそれぞれ薄膜電界効果型トランジスタが
形成され、各々の前記薄膜電界効果型トランジスタには
それぞれ画素電極が接続され、蓄積容量電極はコモンバ
スラインに接続されている薄膜電界効果型トランジスタ
素子アレイにおいて、前記ゲートバスラインと前記ドレ
インバスラインの交差部にシールド用電極が挿入され、
前記シールド電極が前記コモンバスラインと接続される
構造を特徴としている。
【0008】
【作用】本発明の薄膜電界効果型トランジスタ素子アレ
イによれば、ゲートバスラインとドレインバスラインの
交差部にシールド電極を設け、シールド電極をコモン電
極等の電位が一定の電極に接続することにより、バスラ
イン同士の結合容量が原因の信号波形の変動がなくなる
ので、ドレイン信号の立ち上がり及び立ち下がり波形が
上下対称となる。このため液晶にかかる駆動電圧が上下
対称となるので、液晶駆動波形の非対称性に起因するフ
リッカ等の画質の劣化が生じない。
【0009】
【実施例】図1は、本発明の実施例による構造を持つ薄
膜電界効果型トランジスタ素子アレイの構造を示す平面
図であり、図2は図1のA−A′断面図である。図3は
図1の1画素分の等価回路図で、バスラインの交差部の
容量を考慮してある。図4は各電極における信号波形図
である。
【0010】図1において、1は金属としてクロムを使
用したクロムゲートバスライン、2はクロムドレインバ
スラインである。3はITOを用いた画素電極である。
4はクロムゲートバスラインと同時に形成されたクロム
コモンバスライン、5は蓄積容量線の上に形成されたI
TOを用いた蓄積容量電極である。28a,28b,2
8cはそれぞれ薄膜電界効果型トランジスタのクロムソ
ース電極、クロムゲート電極、クロムドレイン電極で、
これらとチャネル部29とで薄膜電界効果型トランジス
タを形成する。6は金属としてクロムを用いたシールド
電極であり、7はシールド電極と蓄積容量線を接続する
コンタクトホールである。図2において、8は酸化シリ
コン(SiO2 )を用いた第1の絶縁膜、9は窒化シリ
コン(SiNX )を用いた第2の絶縁膜である。10は
ガラス基板、11は表面保護膜である。
【0011】図3に図1の1画素分の等価回路を示す。
図7と異なるのは、バスライン間に形成された結合容量
がCCRS1とCCRS2に分割され、その中点がコモン電極1
9を介してコモンバスライン4に接続されている点であ
る。この結果、バスライン間に結合容量が存在してもコ
モン電極側の電位はコモン電位に固定されているので、
結合容量を介して他の信号に影響を与えることはない。
よって図4に示すように、ゲート信号はNフレーム目、
N+1フレーム目共にゲート電極信号波形20は一致
し、ドレイン電極信号21,22にもゲート信号の影響
による波形の変形は発生しないので、上下対称の波形が
得られることになる。
【0012】図1のような構成で実際に薄膜電界効果型
トランジスタ素子アレイを作製した場合、ゲートとドレ
インのバスライン同士の交差部の結合容量による干渉は
無視できる値になった。この結果ドレイン信号によるゲ
ート信号の変動の影響が無くなるため、液晶にかかる電
圧が上下対称の交流になり、フリッカ等の画質を劣化す
る要因が減少し、高画質の表示を得ることが出来た。
【0013】本実施例においては、画素電極及び蓄積容
量電極としてITOを用いたが、In2 3 やSnO2
も使用できる。またゲート絶縁膜として、SiNX のか
わりにSiO2 を用いてもよい。さらにゲートバスライ
ン、ドレインバスライン及び蓄積容量電極のクロムのか
わりに、Ta,Al,Mo,Ti等の他の金属を用いる
ことも可能である。
【0014】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明の薄膜電
界効果型トランジスタ素子アレイによれば、バスライン
の交差部の容量が原因のゲート信号とドレイン信号の干
渉を減少することが出来る。この構造を用いてパネルを
作製したところ、従来と同様の信号を用い、従来のパネ
ルと同様の開口率を維持したまま、バスライン相互の影
響によるドレイン信号波形の上下非対称を抑えることが
出来、その結果生じるフリッカ等の画質の劣化の無いデ
ィスプレイを実現することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薄膜電界効果型トランジスタ素子アレ
イの一画素分の平面図である。
【図2】図1のA−A′断面図である。
【図3】本発明の1画素分の等価回路図である。
【図4】本発明による各電極の信号波形図である。
【図5】従来の薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ
の一画素分の平面図である。
【図6】図3のA−A′断面図である。
【図7】従来の1画素分の等価回路図である。
【図8】各バスラインへの入力信号波形図である。
【図9】従来のNフレーム目の電極の信号波形図であ
る。
【図10】N+1フレーム目の電極の信号波形図であ
る。
【符号の説明】
1 クロムゲートバスライン 2 クロムドレインバスライン 3 画素電極 4 クロムコモンバスライン 5 蓄積容量ITO電極 6 シールド電極 7 コンタクトホール 8 第1の絶縁膜 9 第2の絶縁膜 10 ガラス基板 11 表面保護膜 14 薄膜電界効果型トランジスタ素子(TFT) 19 コモン電極 20 ゲート電極信号 21 Nフレーム目のドレイン電極信号 22 N+1フレーム目のドレイン電極信号 25 ゲート信号 26 ドレイン信号 28a クロムソース電極 28b クロムゲート電極 28c クロムドレイン電極 29 チャネル部

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 透光性絶縁基板上に、平行な複数のゲー
    トバスラインと平行な複数のドレインバスラインとが直
    交して形成されてその交差部がマトリクス状に形成さ
    れ、前記ゲートバスラインと前記ドレインバスラインと
    に囲まれた各画素部にそれぞれ薄膜電界効果型トランジ
    スタが形成され、各々の前記薄膜電界効果型トランジス
    タにはそれぞれ画素電極が接続され、蓄積容量電極はコ
    モンバスラインに接続されている薄膜電界効果型トラン
    ジスタ素子アレイにおいて、前記ゲートバスラインと前
    記ドレインバスラインの交差部にシールド用電極が挿入
    され、前記シールド電極が前記コモンバスラインと接続
    される構造の薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ。
JP16855191A 1991-07-10 1991-07-10 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ Pending JPH0519293A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16855191A JPH0519293A (ja) 1991-07-10 1991-07-10 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16855191A JPH0519293A (ja) 1991-07-10 1991-07-10 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0519293A true JPH0519293A (ja) 1993-01-29

Family

ID=15870124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16855191A Pending JPH0519293A (ja) 1991-07-10 1991-07-10 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0519293A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7894026B2 (en) 2003-10-01 2011-02-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin film transistor array panel and liquid crystal display including light shield
CN114706242A (zh) * 2022-04-07 2022-07-05 友达光电(昆山)有限公司 显示面板
CN117075399A (zh) * 2023-09-27 2023-11-17 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、显示面板和显示装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7894026B2 (en) 2003-10-01 2011-02-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin film transistor array panel and liquid crystal display including light shield
CN114706242A (zh) * 2022-04-07 2022-07-05 友达光电(昆山)有限公司 显示面板
CN114706242B (zh) * 2022-04-07 2024-03-08 友达光电(昆山)有限公司 显示面板
CN117075399A (zh) * 2023-09-27 2023-11-17 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、显示面板和显示装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2907629B2 (ja) 液晶表示パネル
US4955697A (en) Liquid crystal display device and method of driving the same
US4783147A (en) Active matrix display screen without spurious transistor
US4775861A (en) Driving circuit of a liquid crystal display panel which equivalently reduces picture defects
JP3062090B2 (ja) 液晶表示装置
JP3036513B2 (ja) 液晶表示装置
JPH04233516A (ja) アクティブマトリクス液晶表示装置
JP2002040480A (ja) 液晶表示装置
JPH1144893A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
JPH05210089A (ja) アクティブマトリクス表示装置及びその駆動方法
US6198516B1 (en) LCD having TFT formed at an intersection of data and capacitor lines
US6115089A (en) Active-matrix type liquid crystal display device
JP2660528B2 (ja) 液晶表示装置の駆動方法
JPH04318512A (ja) 薄膜トランジスタ型液晶表示装置
KR100606963B1 (ko) 액정 디스플레이 패널 및 그의 제조방법
JPH0519293A (ja) 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ
JP3157186B2 (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH0572562A (ja) アクテイブマトリクス型表示装置
JPS63292114A (ja) アクティブマトリックス型液晶表示装置
JPH0469622A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH0643833A (ja) 液晶表示装置およびその駆動方法
JPS60192370A (ja) 薄膜トランジスタアレイ
JPH04318523A (ja) 薄膜トランジスタ型液晶表示装置
JP3339248B2 (ja) 表示装置
JPH0915646A (ja) アクティブマトリクス液晶表示素子

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19991116