JPH05196706A - 光学式磁界測定装置 - Google Patents

光学式磁界測定装置

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JPH05196706A
JPH05196706A JP18975191A JP18975191A JPH05196706A JP H05196706 A JPH05196706 A JP H05196706A JP 18975191 A JP18975191 A JP 18975191A JP 18975191 A JP18975191 A JP 18975191A JP H05196706 A JPH05196706 A JP H05196706A
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light
linearly polarized
magnetic field
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faraday effect
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JP18975191A
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Inventor
Kunio Miyahara
邦雄 宮原
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光電変換器の利得変動に影響されることな
く、精度の高い磁界測定が可能な光学式磁界測定装置を
提供する。 【構成】 スイッチ回路17によって、第1、第2の直
線偏光光源12,13を逆相駆動して、偏波面が互いに
直交する直線偏光波を出射し、ファラデー効果材1を透
過させた後、分波手段14によって2方向の直線偏光波
(測定光及びモニタ光)に分離する。測定光の特定の偏
波面方位角成分を、検光手段2によって抽出し、第1の
受光手段3によって電気信号に変換する。検波手段8に
よって交流振幅を抽出すると共に、フィルタ手段9によ
って直流成分を抽出する。モニタ光を第2の受光手段1
5に入射し、光量調整回路16によって光強度を調整す
る。タイミング回路18によってスイッチ回路17と検
波手段8を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ファラデー効果材の磁
界によるファラデー効果を観測して、その磁界強度を測
定する光学式磁界測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のファラデー効果を用いた光学式磁
界測定装置の一例を図7に示す。この図7において、7
1は、ファラデー効果を有するファラデー効果材(以下
には、ファラデー素子と称する)、72は、入射光を偏
波面が直交する2つの直線偏光波に分離して出射する偏
光ビームスプリッタ、ウォラストンプリズムなどからな
る検光子である。73a,73bは、光信号を電気信号
に変換する受光器、74a,74bは、受光器73a,
73bの出力信号を増幅する増幅器であり、受光器73
aと増幅器74aとで第1の光電変換器75aを、ま
た、受光器73bと増幅器74bとで第2の光電変換器
75bを、それぞれ構成している。76は、2つの光電
変換器75a,75bの出力信号からファラデー効果に
よる偏波面の回転角θを求める演算回路である。77は
直線偏光波を出射する光源である。次に、上記従来の光
学式磁界測定装置の動作原理について説明する。
【0003】図7において、磁界中に設置されたファラ
デー素子71に光源77から電界ベクトル成分E0 の直
線偏光波を入射すると、ファラデー素子71を透過した
直線偏光波は、電界の強さHの影響を受け、偏波面がθ
だけ回転した直線偏光波E1となる。この直線偏光波E
1 は、次に示す式(1)で表される。 θ=V・H・L … (1)
【0004】ここで、Vは、ヴェルデ定数と呼ばれ、物
質により異なるファラデー効果の感度を表す定数、Lは
ファラデー素子の磁界方向の長さである。この直線偏光
波E1 を、検光子2により偏波面が互いに直交する2つ
の直線偏光波EX ,EY に分離する。第1、第2の光電
変換器75a,75bにおいては、受光器73a,73
bによって、これらの直線偏光波EX ,EY をその光強
度に各々対応する電気信号に変換し、これらの電気信号
をさらに、所望の利得を有する増幅器74a,74bに
よって増幅し、出力IX ,IY を得る。これらの関係
は、次に示す式(2)及び(3)で表される。 EX =E1 sinθ EY =E1 cosθ … (2) IX =KX |EX 2 =KX |E1 2 sin2 θ IY =KY |EY 2 =KY |E1 2 cos2 θ … (3) ここで、KX ,KY は、第1の光電変換器75a及び第
2の光電変換器75bの各々の利得である。式(3)よ
り、次に示す式(4)が得られる。
【0005】
【数1】
【0006】すなわち、第1の光電変換器75aの出力
X と第2の光電変換器75bの出力IY を演算回路7
6に入力し、式(4)の演算を行うことによって偏波面
の回転角θが求まり、式(4)から明らかなように、直
線偏光光源77の光強度E0が変動しても、偏波面の回
転角θに対する光強度の比(IX /IY )は一定である
ために、直線偏光光源77の光強度E0 に無関係に磁界
を測定することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】その反面、上記のよう
な従来の光学式磁界測定装置において、正確な磁界測定
を行うためには、2つの光電変換器75a,75bの利
得の比(KX /KY )が一定でなければならない。しか
しながら、光電変換器75a,75bの利得KX,KY
は、検光子72から受光器73a,73bまでの光ファ
イバなどによる光損失、受光器73a,73bの経年変
化による感度のバラツキ、増幅器74a,74bの利得
変化、ドリフトなどの影響を受けて不規則に変化してし
まう。そのため、このような光電変換器の利得の変化に
よって、磁界測定に誤差を生じてしまい、測定精度が低
下する問題があった。
【0008】本発明は、上記のような従来技術の課題を
解決するために提案されたものであり、その目的は、光
電変換器の利得変動に影響されることなく、精度の高い
磁界測定が可能な光学式磁界測定装置を提供することで
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明による光学式磁界
測定装置は、磁界中に設置したファラデー効果材と、こ
のファラデー効果材に所定の光を入射させる発光手段
と、ファラデー効果材を透過した光のファラデー効果に
よる偏波面の回転角を検出する測定手段とを基本的に有
する。そして、発光手段としては、偏波面が互いに直交
する直線偏光波を出射する第1、第2の直線偏光光源
と、第1、第2の直線偏光光源を逆相駆動するスイッチ
回路とを備える。また、ファラデー効果材は、前記第
1、第2の直線偏光光源から出射された直線偏光波を透
過させるように磁界中に設置される。さらに、ファラデ
ー効果材を透過した直線偏光波を入射し、透過光及び反
射光に分離する分波手段を備える。一方、測定手段とし
ては、分波手段の透過光及び反射光のいずれか一方を測
定光として入射して、この測定光から特定の偏波面方位
角成分のみを抽出する検光手段と、検光手段を通過した
直線偏光波を入射して電気信号に変換する第1の受光手
段と、第1の受光手段の出力信号から交流成分の矩形波
振幅を抽出する検波手段と、第1の受光手段の出力信号
から直流成分を抽出するフィルタ手段とを備える。加え
て、モニタ手段として、分波手段の透過光及び反射光の
残る一方をモニタ光として入射して、このモニタ光を電
気信号に変換する第2の受光手段と、第2の受光手段の
出力を入力し、第1、第2の直線偏光光源からの出射光
に対応する2相のモニタ光の光強度を等しくするよう
に、第1、第2の直線偏光光源に作用する光量調整回路
とを備え、さらに、制御手段として、スイッチ回路と検
波手段に切り換え信号を供給するタイミング回路を備え
たことを特徴としている。
【0010】すなわち、本発明による光学式磁界測定装
置は、スイッチ回路によって、第1、第2の直線偏光光
源を逆相駆動することにより、第1、第2の直線偏光光
源から第1、第2の直線偏光波を出射して、ファラデー
効果材に入射させる。そして、ファラデー効果材を透過
した2つの直線偏光波を、分波手段によって透過光及び
反射光に分離する。透過光または反射光の一方を測定光
として、検光手段によってその特定の偏波面方位角成分
のみを抽出し、第1の受光手段によって電気信号に変換
し、第1の受光手段の出力信号から、検波手段によって
交流成分の矩形波振幅を抽出すると共に、フィルタ手段
によって直流成分を抽出する。加えて、分波手段の透過
光または反射光の残る一方を、モニタ光として第2の受
光手段に入射し、光量調整回路によって、第1、第2の
直線偏光光源から出射させる2つの直線偏光波の光強度
を調整し、さらに、タイミング回路によってスイッチ回
路と検波手段を制御するように構成したものである。
【0011】
【作用】以上のような構成を有する本発明の光学式磁界
測定装置の作用は、次の通りである。すなわち、本発明
の光学式磁界測定装置においては、磁界中に設置された
ファラデー効果材に第1及び第2の直線偏光波を交互に
切り換えて入射し、磁界により偏波面が回転した2つの
直線偏光波から特定の方位角成分のみを検光手段で抽出
して、各々の光強度を、第1の受光手段を含む1つの光
電変換器で電気信号に変換することにより、第1の直線
偏光波を作動した時の光電変換器出力と、第2の直線偏
光波を作動した時の光電変換器出力とを得、これら2つ
の出力信号から偏波面の回転角θを求めることができ
る。
【0012】本発明の光学式磁界測定装置は、このよう
に受光系が1つであるため、ファラデー回転角の測定光
用として2系統の受光系を使用した場合のように、2つ
の光電変換器の利得を一定にする必要はない。従って、
本発明の光学式磁界測定装置によれば、検光子(検光手
段)から光電変換器までの光損失、受光器(第1の受光
手段)の経年変化による感度のバラツキ、増幅器の利得
変化、ドリフトなどを原因とする光電変換器の利得変動
に影響されることなく、精度の高い磁界測定を行うこと
ができる。
【0013】以下には、本発明による光学式磁界測定装
置の検出原理を、図5及び図6を参照して説明する。こ
こで、図5は、本発明の測定手段側の一般的な構成を示
すブロック構成図、図6は、図5の作用を説明するため
のタイミング図である。
【0014】まず、図5の基本構成図に示すように、図
示していない光源から2つの直線偏光波IX0 ,IY0
出射されており、これらの電界ベクトル成分EX ,EY
の方位角は互いに直交している。また、図5において、
1は磁界中に設置されたファラデー素子(ファラデー効
果材)、2はファラデー素子1の出射光を入力し、特定
方位角の電界ベクトル成分のみを抽出する検光子(検光
手段)である。3は検光子2の出射光の光強度に比例し
た電気信号を得る受光器(第1の受光手段)、4は、所
望の利得を有し、受光器3で得られた電気信号を増幅す
る第1の増幅器であり、第1の受光器3と第1の増幅器
4とによって、光電変換器5を構成している。6は、第
1の増幅器4の出力信号から交流成分を抽出するハイパ
スフィルタ、7は、所望の利得を有し、電気信号を増幅
する第2の増幅器、8は、第2の増幅器7の出力信号か
ら矩形波振幅を抽出する検波器(検波手段)である。9
は、第1の増幅器4の出力信号から直流成分を抽出する
ローパスフィルタ(フィルタ手段)、10は、検波器8
の出力とローパスフィルタ9の出力との比を求める割算
器である。なお、検光子2の方位角は、第1の直線偏光
波IX0の電界ベクトル成分EX の方位角及び第2の直線
偏光波IY0の電界ベクトル成分EY の方位角に対して、
それぞれ45°に設置されている。
【0015】図6のタイミング図において、波形(a)
は、第1の直線偏光波IX0と第2の直線偏光波IY0を周
波数ω0 で逆相駆動するための切り換え信号C(t)を
示しており、この切り換え信号C(t)は、図5では示
されていないタイミング回路から供給される。そして、
切り換え信号C(t)がハイレベル“1”の場合には、
第1の直線偏光波IX0[波形(b)]だけが出射され、
ローレベル“0”の場合には、第2の直線偏光波I
Y0[波形(c)]だけが出射される。また、切り換え信
号C(t)は、検波器8へのキャリア入力信号としても
用いられ、C(t)がハイレベル“1”の場合には、検
波器8への入力信号をそのまま出力し、ローレベル
“0”の場合には、入力信号の極性を反転して出力す
る。
【0016】一方、2つの直線偏光波の光強度IX0
Y0は、光強度設定値I0 と等しくなるように調整さ
れ、C(t)=“1”の場合には、IX0=I0 ,IY0
=0となり、C(t)=“0”の場合には、IX0=0,
Y0=I0 となっている。図6に示す波形(d)及び
(e)は、このような光強度関係を満足する場合のIX0
とIY0との和及び差を表しており、波形(d)は、(I
X0+IY0)で一定値I0 に、また、波形(e)は、(I
X0−IY0)で+I0 −(−I0 )を振幅とする矩形波に
なる。
【0017】さらに、図6において、波形(f)は、受
光器3における受光量IR を示しており、ファラデー回
転角θが0の場合のIR は、一定値(I0 /2)にな
り、ファラデー回転が生じると、検光子2を透過するI
X0 ,IY0の光量が変化するために、IR は振幅変調さ
れて、直流分に重畳する矩形波となる。波形(g)は、
第1の増幅器4の出力信号I1 [波形(f)相当]から
ハイパスフィルタ6で交流成分を抽出し、さらに、第2
の増幅器7で増幅した信号I2 の波形であり、ファラデ
ー回転が生じないときの出力は“0”である。波形
(h)は検波器9の出力、また、波形(i)は割算器1
0の出力波形を示す。
【0018】2つの直線偏光波IX0 ,IY0が、図6の
波形(b)及び波形(c)に示すように周波数ω0 の矩
形波信号で逆相駆動され、磁界中に設置されたファラデ
ー素子1を透過した結果、各々の偏波面が角度θだけ回
転すると、ファラデー素子1の出射光の水平偏光成分E
X ´及び垂直偏光成分EY ´は、次の式(5)で表され
る。
【0019】
【数2】 検光子2の検出方位角は、EX ´,EY ´に対して45
°であるから、検光子2からの出射光の電界ベクトル成
分ER は、次の式(6)で表される。
【0020】
【数3】 また、光強度は、電界の2乗であるから、受光器3にお
ける受光量IR は、次の式(7)で表される。 IR =|ER 2 ={ |EX 2 (cosθ+sinθ)2 +|E Y 2 (cosθ−sinθ)2 +2EX Y (cos2 θ−sin2 θ)}/2 …(7)
【0021】ここで、|EX 2 =IX0、 |EY 2
=IY0であり、また、EX Y は常に0であるから、受
光器3における受光量IR はさらに、次の式(8)で表
される。 IR ={(IX0+IY0)+(IX0−IY0)sin2θ}/2 …(8) また、受光器3の出力電流iP は、受光量IR に比例す
るので、次の式(9)で表される。なお、式(9)のk
は、受光器3の利得である。 iP =kIR =k{(IX0+IY0)+(IX0−IY0)sin2θ}/2 …(9) 同様に、第1の増幅器4の利得をk1 とした場合、第1
の増幅器4の出力I1は、次の式(10)で表される。 I1 =k1 P =kk1 {(IX0+IY0)+(IX0−IY0)sin2θ}/2 …(10)
【0022】この場合、式(10)の右辺第1項kk1
(IX0+IY0)/2は、IX0とIY0との平均値を表す直
流成分であり、図6の波形(d)に相当し、IX0とIY0
が光強度設定値I0 に等しい場合のローパスフィルタ9
の出力(kk1 0 /2)に対応する。また、第2項k
1 (IX0−IY0)sin2θ/2は、図6の波形
(e)の矩形波(IX0−IY0)をsin2θで振幅変調
した交流成分であり、第2の増幅器7(利得:k2 )の
出力I2 [図6の波形(g)]に対応する。出力信号I
2 を、検波器8に入力し、切り換え信号C(t)で同期
整流することにより、式(10)の交流成分を直流レベ
ル(kk1 2 0 sin2θ/2)に変換し、その出
力とローパスフィルタ9の出力(kk1 0 /2)との
比を割算器10で求めることにより、ファラデー回転角
θがk2 sin2θとして得られる。
【0023】
【実施例】以下に、本発明による光学式磁界測定装置の
一実施例について、図1乃至図3を参照して具体的に説
明する。ここで、図1は、光学式磁界測定装置の一実施
例を示すブロック構成図、図2は、図1の光学式磁界測
定装置における光量調整回路とスイッチ回路及び発光・
モニタ側の光学系の回路構成を示すブロック構成図、図
3は、図1の光学式磁界測定装置の作用を説明するため
のタイミング図である。なお、図1において、測定手段
側の構成は、図5に示した構成と全く同様であるため、
図5の構成要素と対応する同一の構成要素には同一符号
を付し、説明を省略する。
【0024】図1において、まず、12,13は、偏波
面が互いに直交する直線偏光波を出射するレーザダイオ
ードを用いた第1、第2の直線偏光光源である。14
は、ファラデー素子1と検光子2の間に配置された分波
器(分波手段)であり、第1の直線偏光光源12と第2
の直線偏光光源13より出射される直線偏光波を、ファ
ラデー素子1を介して入射し、透過光及び反射光に分離
する機能を有している。また、15は、分波器14の反
射光を入射し、この反射光をその光強度に比例した電気
信号に変換する第2の受光器(第2の受光手段)であ
る。さらに、16は、第2の受光器15の出力信号を入
力し、2つの直線偏光波の光強度を設定値I0 に等しく
するように、第1、第2の直線偏光光源12,13に作
用する光量調整回路、17は、2つの直線偏光光源1
2,13を、周波数ω0 で逆相駆動するスイッチ回路、
18は、スイッチ回路17と検波器8に切り換え信号を
供給するタイミング回路である。次に、本実施例による
磁界測定動作を、図1のブロック構成図及び図3のタイ
ミング図により説明する。
【0025】図1において、タイミング回路18から出
力される周波数ω0 の切り換え信号C(t)[図3の波
形(a)]が、スイッチ回路17に入力されると、これ
によって、周波数ω0 の逆相信号CX ,CY が形成さ
れ、これらの逆相信号CX ,CY により、第1、第2の
直線偏光光源12,13が周波数ω0 で逆相駆動され
る。第1の直線偏光光源12の出射光IX0及び第2の直
線偏光光源13の出射光IY0は、各々、ファラデー素子
1を介して分波器14で分離され、透過光IXS ,IYS
が出射されると共に、反射光IXM ,IYMが出射され
る。
【0026】この場合、透過光IXS ,IYSは、直交す
る偏波面を有する第1の直線偏光波群となり、測定光と
して使用されるため、以下には、測定光IXS ,IYS
称する。また、反射光IXM ,IYMは、直交する偏波面
を有する第2の直線偏光波群となり、モニタ光として使
用されるため、以下には、モニタ光IXM ,IYMと称す
る。すなわち、互いに直交する偏波面を有する測定光I
XS(水平偏光成分)及び測定光IYS(垂直偏光成分)
は、検光子2を経て、第1の受光器3に入射され、電気
信号に変換される。また、互いに直交する偏波面を有す
るモニタ光IXM[垂直偏光成分:図3の波形(b)]及
びモニタ光IYM[水平偏光成分:図3の波形(c)]
は、第2の受光器15に入射される。
【0027】そして、第2の受光器15は、入射したモ
ニタ光IXM ,IYMを、その光強度に比例した電気信号
XM´,IYM´に変換して光量調整回路16にフィード
バックする。光量調整回路16は、光強度設定値I0
対する電気信号IXM´,IYM´の誤差量を検出し、この
誤差量に応じて、第1、第2の直線偏光光源12,13
の駆動電流を調整する。その結果、分波器14で反射さ
れる2つのモニタ光IXM ,IYMの光強度は、常に、一
定値I0 に等しくなるように制御される。
【0028】ここで、仮に、分波器14の分配比、すな
わち、透過光と反射光の光強度比が1:1であれば、こ
れらの直線偏光波、すなわち、測定光IXS ,IYS及び
反射光IXM ,IYMの振幅は、次の式(11)のように
全て等しくなる。 |IXS|=|IYS|=|IXM|=|IYM|=I0 …(11)
【0029】さらに、光量調整回路16とスイッチ回路
17及び発光・モニタ側の光学系の具体的な構成及び作
用について、図2のブロック構成図及び図3のタイミン
グ図を参照して説明する。
【0030】図2に示すように、第1の直線偏光光源1
2とファラデー素子1との間には、レンズ21、光ファ
イバ22、及びレンズ23が順次配置され、同様に、第
2の直線偏光光源13とファラデー素子1との間には、
レンズ24、光ファイバ25、及びレンズ26が順次配
置されている。そして、分波器14と第2の受光器15
との間にも、レンズ27、光ファイバ28、及びレンズ
29が順次配置されている。なお、検光子2と第1の受
光器3との間にも、レンズ51、光ファイバ52、及び
レンズ53が順次配置されている。
【0031】また、スイッチ回路17は、破線で囲まれ
た部分で構成されており、第1の直線偏光光源12の駆
動電流をON/OFFするためのスイッチング用トラン
ジスタ32、第2の直線偏光光源13の駆動電流をON
/OFFするためのスイッチング用トランジスタ34、
及び第1、第2の直線偏光光源を逆相駆動するインバー
タ回路35から構成されている。さらに、光量調整回路
16は、第3の増幅器36及び第4の増幅器39、ロー
パスフィルタ37、ハイパスフィルタ38、検波器4
0、加算増幅器41〜43、及び第1、第2の駆動電流
を制御するためのトランジスタ31,33で構成されて
いる。
【0032】そして、以上のような構成を有する光量調
整回路16とスイッチ回路17及び発光・モニタ側の光
学系の動作は、次の通りである。すなわち、矩形波信号
C(t)[図3の(a)]が、逆相駆動用切り換え信号
として、スイッチ回路17におけるトランジスタ32の
ベース端子とインバータ回路35に入力され、このイン
バータ回路35の出力は、トランジスタ34のベース端
子に入力される。切り換え信号C(t)がハイレベル
“1”の場合には、トランジスタ32がON、トランジ
スタ34がOFF状態となって、第1の直線偏光光源1
2から出射光IX0が出射される。逆に、切り換え信号C
(t)がローレベル“0”の場合には、トランジスタ3
4がON、トランジスタ32がOFF状態となって、第
2の直線偏光光源13から出射光IY0が出射される。
【0033】出射光IX0 ,IY0は、光ファイバ22,
25を介してファラデー素子1に入射され、このファラ
デー素子1を透過した後、さらに、分波器14に入射さ
れ、この分波器14によって、測定光IXS ,IYSと、
モニタ光IXM ,IYMとに分離される。このうち、モニ
タ光IXM ,IYMは、レンズ27、光ファイバ28、及
びレンズ29を経て、第2の受光器15に入射され、モ
ニタ光IXM ,IYMの各々の光強度に比例した電気信号
XM´,IYM´に光電変換される。
【0034】電気信号IXM´,IYM´は、光量調整回路
16における第3の増幅器(利得:k3 )36に入力さ
れ、これらの信号IXM´,IYM´の和が、信号I11[図
3の波形(d)]として出力される。すなわち、モニタ
光IXM=IYMの場合の出力信号I11は、一定値k3 XM
´(=k3 YM´)になり、また、IXM≠IYMの場合に
は、k3 XM´とk3 YM´とを成分とする直流に重畳
した矩形波が現れる。図3の(d)に示す矩形波は、モ
ニタ光IXM>IYMの場合の矩形波の一例を示している。
【0035】第3の増幅器36からの出力信号I11は、
ローパスフィルタ37及びハイパスフィルタ38に入力
される。ローパスフィルタ37によって、信号I11の直
流成分、すなわち、k3 XM´とk3 YM´の平均値が
抽出され、この平均値(を示す信号)IAVE が、加算増
幅器41のマイナス入力端子に入力される。一方、ハイ
パスフィルタ38によって、信号I11の直流成分は除去
され、図3の波形(d)に示す矩形波信号だけが抽出さ
れる。この矩形波信号は、第4の増幅器(利得:k4
39に入力され、第4の増幅器39によって、k4 (I
11−IAVE )を振幅とする矩形波信号I12[図3の波形
(e)]に増幅される。
【0036】第4の増幅器39からの出力信号I12は、
検波器40に入力され、この検波器40において、切り
換え信号C(t)により同期整流される。すなわち、切
り換え信号C(t)がハイレベル“1”の場合には、信
号I12はそのまま信号I13として出力され、切り換え信
号C(t)がローレベル“0”の場合には、信号I
12は、その極性を反転され、信号I 13として出力さ
れる。従って、2つの直線偏光波(モニタ光)IXM
YMの光強度がIXM>IYMの場合には、検波器40の出
力信号I13の極性はプラスになり、逆にIXM<IYMの場
合には、出力信号I13の極性はマイナスになる。
【0037】検波器40の出力信号I13は、加算増幅器
42のマイナス入力端子と加算増幅器43の第2のプラ
ス入力端子に入力される。また、加算増幅器41のプラ
ス入力端子には、光強度の設定値I0 が入力され、この
設定値I0 とマイナス入力端子に入力された信号IAVE
との差が、信号(I0 −IAVE )として出力される。こ
の出力信号(I0 −IAVE )は、加算増幅器42のプラ
ス入力端子と加算増幅器43の第1のプラス入力端子に
入力される。この構成により、加算増幅器41は、設定
値I0 に対するIXMとIYMの平均値IAVE の変動分を補
正量として出力し、また、加算増幅器42,43は、I
XMとIYMの差に、加算増幅器41の出力を加えた量を補
正量として出力する。トランジスタ31,33は、加算
増幅器42,43の出力信号を入力して、第1、第2の
直線偏光光源12,13の駆動電流を調整する。
【0038】IXM=IYM=I0 を満足する定常状態で
は、IAVE =I0 ,I12=I13=0、従って、加算増
幅器41〜43の出力はいずれも“0”である。この状
態で、IXM=IYM=I0 になるように、第1、第2の直
線偏光光源12,13の駆動回路を調整している。次
に、直線偏光波(モニタ光)IXM ,IYMの光強度が変
動した場合の光量調整回路16の作用を説明する。
【0039】仮に、モニタ光IXMの光強度だけが増加し
た場合、第3の増幅器36の出力信号I11の直流成分k
3 XM´が増加するために、ローパスフィルタ37から
出力される平均値IAVE も増加し、加算増幅器41の出
力信号(I0 −IAVE )はマイナス側に変化する。その
結果、加算増幅器42,43の出力も、マイナス側に変
化して、トランジスタ31,33が共にOFFする方向
に作用し、第1、第2の直線偏光光源12,13の駆動
電流を低減させて、平均値IAVE と設定値I0が等しく
なるように制御する。
【0040】一方、ハイパスフィルタ38及び第4の増
幅器39を介して、モニタ光IXMの変動により生じた矩
形波成分[図3の波形(d)]を増幅し、検波器40で
同期整流した信号I13は、プラスとなり、加算増幅器4
2の出力は、マイナス側に、また、加算増幅器43の出
力は、プラス側に変化するために、トランジスタ31
は、OFF方向に作用して、第1の直線偏光光源12の
出射光IX0の光強度を低減させ、これによって、対応す
るモニタ光の光強度IXMを低減させる。また、トランジ
スタ33は、ON方向に作用して、平均値の補正に伴う
第2の直線偏光光源13の出射光IY0の光強度を修正
し、これによって、対応するモニタ光の光強度IYMの減
少分を修正する。その結果、2つのモニタ光の光強度I
XMとIYMは、互いに等しく、且つ、その平均値IAVE
設定値I0 に等しくなるように制御される。
【0041】また、上記例とは反対に、モニタ光IXM
光強度が減少した場合には、平均値IAVE が低下するた
めに、加算増幅器41の出力信号(I0 −IAVE )は、
プラス側に変化して、IXM ,IYMを増やすように作用
し、平均値IAVE を増加させて、設定値I0 に等しくな
るように制御する。さらに、IXM<IYMより、検波器4
0の出力信号I13の極性はマイナスとなるために、加算
増幅器42の出力はプラス側に変化して、IXMの減少分
を補うように作用し、加算増幅器43の出力は、マイナ
ス側に変化して平均値の補正に伴うIYMの増加分を修正
する。IYMだけが変動した場合、または、IXMとIYM
共に変動した場合にも、同様に、光量調整回路16が作
用し、IXMとIYMは等しく且つ一定値になる。
【0042】以上のように、本実施例においては、2つ
の直線偏光波(モニタ光)IXM ,IYMの光強度が変動
するか、またはバランスが崩れると、光量調整回路16
が作動し、第1、第2の直線偏光光源12,13から出
射する直線偏光波の光強度を、常に等しく且つ一定に調
整することができる。ここで、再び図1を参照して、第
1の受光器3の出力信号からファラデー回転角を求める
方法を説明する。
【0043】ファラデー素子1を透過中に偏波面をθだ
け回転した2つの直線偏光波IX0,IY0は分波器14に
入射され、その透過光である測定光IXS ,IYSの特定
の方位角成分が、検光子2で抽出される。すなわち、前
記の式(6)の電界ベクトル成分ER が得られる。検光
子2の出射光は、図2に示すように、レンズ51、光フ
ァイバ52、及びレンズ53を介して、第1の受光器3
に入射され、電気信号iP に変換される。
【0044】第1の受光器3の出力電流iP は、前記の
式(9)に示すように[但し、この場合、式(9)にお
けるIX0 ,IY0は、それぞれIXS ,IYSに相当す
る。以下、同様である。]、直流成分k(IXS+IYS
/2に、交流成分k(IXS−IYS)sin2θ/2が重
畳されている。このうち、直流成分は、第1の受光器3
の出力信号iP [図6の波形(f)]を、第1の増幅器
4で増幅し、その出力信号I1 をローパスフィルタ9に
入力することにより、kk1 0 /2として分離して得
ることができる。交流成分は、同じく、第1の増幅器4
の出力信号I1 をハイパスフィルタ6に入力して、ファ
ラデー回転により生じる矩形波信号を抽出し、第2の増
幅器8(利得:k2 )で増幅することにより、I2 =k
1 2 0 sin2θ/2として得ることができる。
さらに、矩形波信号I2 を検波器8に入力して、キャリ
ア入力信号C(t)により同期整流することで、直流レ
ベルのkk1 2 0 sin2θ/2に変換する。ロー
パスフィルタ9の出力信号kk1 0 /2と、検波器8
の出力信号kk1 2 0 sin2θ/2を、割算器1
0に入力することにより、ファラデー回転角がk2 si
n2θとして求められる。
【0045】以上の説明から明らかなように、本実施例
によれば、偏波面が直交する2つの直線偏光波の光強度
を一定に調整し、互いに逆相駆動することにより、従来
の光学式磁界測定装置において、ファラデー回転角の測
定光用として2系統必要であったところの受光系を、1
系統のみに簡略化できる。この結果、従来のように、2
つの光電変換器の利得を一定にする必要がなくなり、受
光器の経年変化による感度のバラツキ、光ファイバの損
失、増幅器の利得変化、ドリフトなどに影響されない光
学式磁界測定装置を実現できる。
【0046】図4は、本発明による光学式磁界測定装置
において、第1の受光器出力からのファラデー回転角を
検出するための信号処理方法の異なる他の実施例を示す
ブロック構成図である。なお、この図4においては、測
定手段以外の部分、及びファラデー素子、検光子につい
ては、前記実施例と同様であるものとしてこれらを省略
し、第1の受光器以下の測定手段側の構成のみを示して
いる。
【0047】図4に示す実施例において、第1の増幅器
4、ハイパスフィルタ6、第2の増幅器7、検波器8、
及びローパスフィルタ9は、前記実施例で説明した構成
要素と全く同様の構成要素であり、同一機能を有するた
め、ここでは説明を省略し、以下には、本実施例の特徴
のみを説明する。すなわち、61は、シリコンアバラン
シェホトダイオード(APD)を用いた第1の受光器、
62は、第1の受光器61の出力電流iP を電圧に変換
する抵抗器である。63は、ローパスフィルタ9の出力
と電圧基準値VBRとを比較し、その差を出力する比較
器、64は、比較器63の出力信号を入力し、第1の受
光器61のカソード端子に印加する電圧を調整して、第
1の受光器61の光電変換利得を変化させるためのトラ
ンジスタである。この場合、第1の受光器61、抵抗器
62、第1の増幅器4、ローパスフィルタ6、比較器6
3、及びトランジスタ64で電圧調整回路を構成してい
る。
【0048】本実施例における電圧調整回路は、周囲温
度の変化や光学系の光損失などの原因により、第1の受
光器61の出力電流が変化しても、第1の増幅器4の出
力が常に一定になるように作用する。例えば、第1の受
光器61における受光量が一定であっても、温度変化な
どの他の原因で、第1の受光器61の出力電流iP が増
加した場合には、第1の増幅器4の出力電圧I1 [図6
の波形(f)]の増加に伴い、その平均値も増加するた
め、ローパスフィルタ9の出力も増加する。比較器63
は、第1の増幅器4の出力電圧I1 の平均値と電圧基準
値VBRとを比較し、その比較の結果に相当する電圧を出
力して、トランジスタ64をOFFさせる方向に作動さ
せる。その結果、第1の受光器61のカソード端子への
印加電圧が低下することで、光電変換利得も低下して、
出力電流iP を減少させる。
【0049】また、第1の受光器61の出力電流が減少
した場合には、上記作用とは反対に、トランジスタ64
をONさせる方向に作動させ、第1の受光器61のカソ
ード印加電圧を上昇させることにより、光電変換利得を
高めて出力電流iP を増加させる。このような作用を繰
り返すことにより、前記の式(10)に含まれる直流成
分kk1 (IXS+IYS)/2を一定に制御できる。その
結果、検波器8の出力kk1 2 0 sin2θ/2
は、kk1 2 sin2θで表され、図1及び図5に示
した割算器10を省略することが可能となる。
【0050】なお、本発明は前記各実施例に限定される
ものではなく、各部の具体的な構成は自由に選択可能で
あり、例えば、直線偏光光源としては、レーザダイオー
ド以外のものも使用可能である。また、ファラデー効果
材の材質も適宜選択可能であり、スイッチ回路や光量調
整回路の具体的な構成も適宜選択可能である。さらに、
前記実施例においては、分波器の透過光を測定光として
使用し、反射光をモニタ光として使用したが、逆に、分
波器の反射光を測定光として使用し、透過光をモニタ光
として使用する構成も可能であり、同様の作用効果を得
られる。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、2つの直線偏光光源を使用して、ファラデー効果材
に入射した後、これを分波手段で分離し、その透過光ま
たは反射光を測定光として、1つの受光系で電気信号に
変換する構成とすることにより、2つの受光系を使用し
ていた従来技術に比べて、光電変換器の利得変動に影響
されることなく、精度の高い磁界測定が可能な光学式磁
界測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光学式磁界測定装置の一実施例を
示すブロック構成図。
【図2】図1の光学式磁界測定装置における光量調整回
路とスイッチ回路及び発光・モニタ側の光学系の回路構
成を示すブロック構成図。
【図3】図1の光学式磁界測定装置の作用を説明するた
めのタイミング図。
【図4】本発明による光学式磁界測定装置の図1とは異
なる実施例を示すブロック構成図。
【図5】本発明の測定手段側の一般的な構成を示すブロ
ック構成図。
【図6】図5の作用を説明するためのタイミング図。
【図7】従来のファラデー効果を用いた光学式磁界測定
装置の一例を示すブロック構成図。
【符号の説明】
1…ファラデー素子(ファラデー効果材) 2…検光子(検光手段) 3…受光器(第1の受光手段) 4…第1の増幅器 5…光電変換器 6…ハイパスフィルタ 7…第2の増幅器 8…検波器(検波手段) 9…ローパスフィルタ(フィルタ手段) 10…割算器 12…第1の直線偏光光源 13…第2の直線偏光光源 14…分波器(分波手段) 15…第2の受光器(第2の受光手段) 16…光量調整回路 17…スイッチ回路 18…タイミング回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁界中に設置したファラデー効果材と、
    このファラデー効果材に所定の光を入射させる発光手段
    と、ファラデー効果材を透過した光のファラデー効果に
    よる偏波面の回転角を検出する測定手段とを有する光学
    式磁界測定装置において、 前記発光手段として、 偏波面が互いに直交する直線偏光波を出射する第1、第
    2の直線偏光光源と、 前記第1、第2の直線偏光光源を逆相駆動するスイッチ
    回路とを備え、 且つ、前記ファラデー効果材が、前記第1、第2の直線
    偏光光源から出射された直線偏光波を透過させるように
    磁界中に設置され、 且つ、前記ファラデー効果材を透過した直線偏光波を入
    射し、透過光及び反射光に分離する分波手段を備え、 且つ、前記測定手段として、 前記分波手段の透過光及び反射光のいずれか一方を測定
    光として入射して、この測定光から特定の偏波面方位角
    成分のみを抽出する検光手段と、 前記検光手段を通過した直線偏光波を入射して電気信号
    に変換する第1の受光手段と、 前記第1の受光手段の出力信号から交流成分の矩形波振
    幅を抽出する検波手段と、 前記第1の受光手段の出力信号から直流成分を抽出する
    フィルタ手段とを備え、 且つ、モニタ手段として、 前記分波手段の透過光及び反射光の残る一方をモニタ光
    として入射して、このモニタ光を電気信号に変換する第
    2の受光手段と、 前記第2の受光手段の出力を入力して、前記第1、第2
    の直線偏光光源からの出射光に対応する2相のモニタ光
    の光強度を等しくするように、前記第1、第2の直線偏
    光光源に作用する光量調整回路とを備え、 さらに、制御手段として、 前記スイッチ回路と前記検波手段に切り換え信号を供給
    するタイミング回路を備えたことを特徴とする光学式磁
    界測定装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023153675A (ja) * 2022-04-05 2023-10-18 公益財団法人電磁材料研究所 磁気センサ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2023153675A (ja) * 2022-04-05 2023-10-18 公益財団法人電磁材料研究所 磁気センサ

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