JPH0519762B2 - - Google Patents
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- JPH0519762B2 JPH0519762B2 JP23730786A JP23730786A JPH0519762B2 JP H0519762 B2 JPH0519762 B2 JP H0519762B2 JP 23730786 A JP23730786 A JP 23730786A JP 23730786 A JP23730786 A JP 23730786A JP H0519762 B2 JPH0519762 B2 JP H0519762B2
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- thin film
- alloy
- ferromagnetic thin
- anisotropy
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気記録装置に使用される磁気ヘツド
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、データの記録装置として磁気記録装置が
広い分野にわたつて使用されているが、この磁気
記録装置において優れた高記録密度特性を達成す
るためには、記録媒体の薄膜化、高保磁力化が必
要である。
広い分野にわたつて使用されているが、この磁気
記録装置において優れた高記録密度特性を達成す
るためには、記録媒体の薄膜化、高保磁力化が必
要である。
一方、磁気ヘツドは、コアの飽和を防ぐため高
飽和磁束密度を有する強磁性薄膜（Fe−Al−Si
系合金等）を使用した薄膜ヘツドや、バルクヘツ
ドにおいてギヤツプ近傍に磁性薄膜（Fe−Al−
Si系合金等）を用いたリングヘツドの複合磁気ヘ
ツドが注目されている。この磁気ヘツドの場合、
高保磁力の媒体もヘツドの磁気的飽和もなく充分
に記録できるという利点がある。
飽和磁束密度を有する強磁性薄膜（Fe−Al−Si
系合金等）を使用した薄膜ヘツドや、バルクヘツ
ドにおいてギヤツプ近傍に磁性薄膜（Fe−Al−
Si系合金等）を用いたリングヘツドの複合磁気ヘ
ツドが注目されている。この磁気ヘツドの場合、
高保磁力の媒体もヘツドの磁気的飽和もなく充分
に記録できるという利点がある。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記したような従来の磁気ヘツ
ドでは第２図ａに示すように再生出力の周波数特
性にうねりが生じたり、第３図ａに示すように孤
立再生波形が歪み、疑似出力部分Ａが発生すると
いう問題点があり、実用化には問題がある。
ドでは第２図ａに示すように再生出力の周波数特
性にうねりが生じたり、第３図ａに示すように孤
立再生波形が歪み、疑似出力部分Ａが発生すると
いう問題点があり、実用化には問題がある。
この現象は、強磁性薄膜とコアの間に、コアの
ラツピング処理の際に生じた非磁性または著しく
磁気的特性の劣化した層によつて、疑似的ギヤツ
プが形成され正式のギヤツプと同様のはたらきを
するために起こるものである。
ラツピング処理の際に生じた非磁性または著しく
磁気的特性の劣化した層によつて、疑似的ギヤツ
プが形成され正式のギヤツプと同様のはたらきを
するために起こるものである。
問題点を解決するための手段
本発明は、上記問題点を解決するために、コア
の表面の変質層を除去し、その表面に第１の強磁
性薄膜を被着形成し、さらにその上部に前記第１
の強磁性薄膜より面内異方性の小さい第２の強磁
性薄膜を被着させて、磁気ヘツドを構成するもの
である。
の表面の変質層を除去し、その表面に第１の強磁
性薄膜を被着形成し、さらにその上部に前記第１
の強磁性薄膜より面内異方性の小さい第２の強磁
性薄膜を被着させて、磁気ヘツドを構成するもの
である。
作 用
コアの表面と強磁性薄膜との間には擬似ギヤツ
プがなくなる。
プがなくなる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説
明する。
明する。
第１図はフエライトを用いたリングヘツドの側
面図であり、少なくともギヤツプ部の近傍に２層
の強磁性薄膜を被着形成させた複合磁気ヘツドで
ある。
面図であり、少なくともギヤツプ部の近傍に２層
の強磁性薄膜を被着形成させた複合磁気ヘツドで
ある。
フエライトの磁気ヘツドは、Ｉ型コア、Ｃ型コ
アと呼ばれる２つのコア１，２より構成され、ギ
ヤツプ対向面７，７はラツピング等により鏡面に
仕上げられ、ギヤツプ長を維持するためガラス等
の非磁性材５を介して、ヘツドとして接合され
る。
アと呼ばれる２つのコア１，２より構成され、ギ
ヤツプ対向面７，７はラツピング等により鏡面に
仕上げられ、ギヤツプ長を維持するためガラス等
の非磁性材５を介して、ヘツドとして接合され
る。
本実施例の複合磁気ヘツドは、前記したラツピ
ング加工に引続いて、その後、メカノケミカル、
ケミカルエツチング、スパツタ装置等によるエツ
チングによつて、表面の加工変質層を除去する。
更にその後、その面７，７上に面内異方性の強い
強磁性材（例えば、Ni−Fe系合金、非晶質系合
金）をスパツタ等の装置にて被着形成させ第１の
強磁性薄膜３，３を形成し、その上部に、面内異
方性が前記第１の強磁性薄膜より十分に低い強磁
性材であるセンダスト合金（例えば、Fe−Al−
Si系合金、Fe−Si系合金）を被着形成し、強磁
性薄膜４，４を形成する。
ング加工に引続いて、その後、メカノケミカル、
ケミカルエツチング、スパツタ装置等によるエツ
チングによつて、表面の加工変質層を除去する。
更にその後、その面７，７上に面内異方性の強い
強磁性材（例えば、Ni−Fe系合金、非晶質系合
金）をスパツタ等の装置にて被着形成させ第１の
強磁性薄膜３，３を形成し、その上部に、面内異
方性が前記第１の強磁性薄膜より十分に低い強磁
性材であるセンダスト合金（例えば、Fe−Al−
Si系合金、Fe−Si系合金）を被着形成し、強磁
性薄膜４，４を形成する。
上述のように２層の強磁性薄膜を被着した２つ
のコア１，２を、ギヤツプ長に相当する厚みをも
つSiO等の非磁性材５を介して、強磁性薄膜のあ
る面を相接するようにし、磁気ヘツドを構成す
る。上記強磁性薄膜は、必要に応じアニール処理
を行い特性を向上させることもできる。
のコア１，２を、ギヤツプ長に相当する厚みをも
つSiO等の非磁性材５を介して、強磁性薄膜のあ
る面を相接するようにし、磁気ヘツドを構成す
る。上記強磁性薄膜は、必要に応じアニール処理
を行い特性を向上させることもできる。
このような構成にすることで、フエライト、強
磁性薄膜間に、連続的な磁気的特性が得られ、界
面に非磁性または著しく磁気的特性の劣化した層
の形成をなくすことができる。
磁性薄膜間に、連続的な磁気的特性が得られ、界
面に非磁性または著しく磁気的特性の劣化した層
の形成をなくすことができる。
以上の構成の磁気ヘツドにおいて再生出力に対
する周波数特性は第２図ｂに示すようになり、ま
た孤立再生波形は第３図ｂに示すようになり、ギ
ヤツプ部による記録再生のみに限ることができ、
本来の特徴である高保磁力媒体をも充分に記録再
生できるという優れた効果を呈した。
する周波数特性は第２図ｂに示すようになり、ま
た孤立再生波形は第３図ｂに示すようになり、ギ
ヤツプ部による記録再生のみに限ることができ、
本来の特徴である高保磁力媒体をも充分に記録再
生できるという優れた効果を呈した。
発明の効果
本発明の磁気ヘツドはフエライト基板の表面を
ラツピング加工する際等に発生する変質層を除去
し、その上に異方性の大きい第１の強磁性薄膜を
被着し、さらにその上に異方性の小さい第２の強
磁性薄膜を被着させたため、記録再生特性におい
て、うねりの発生もなく、また波形歪も少く、実
用上極めて有効なるものである。
ラツピング加工する際等に発生する変質層を除去
し、その上に異方性の大きい第１の強磁性薄膜を
被着し、さらにその上に異方性の小さい第２の強
磁性薄膜を被着させたため、記録再生特性におい
て、うねりの発生もなく、また波形歪も少く、実
用上極めて有効なるものである。
第１図は本発明の一実施例の磁気ヘツドの側面
図、第２図は従来の複合磁気ヘツドおよび本発明
の一実施例の複合磁気ヘツドにおける周波数うね
りを説明するための周波数特性曲線図、第３図は
同複合磁気ヘツドの波形歪を示す特性曲線図であ
る。 １…第１のコア、２…第２のコア、３…第１の
強磁性薄膜、４…第２の強磁性薄膜、５…ギヤツ
プ、６…コイル。
図、第２図は従来の複合磁気ヘツドおよび本発明
の一実施例の複合磁気ヘツドにおける周波数うね
りを説明するための周波数特性曲線図、第３図は
同複合磁気ヘツドの波形歪を示す特性曲線図であ
る。 １…第１のコア、２…第２のコア、３…第１の
強磁性薄膜、４…第２の強磁性薄膜、５…ギヤツ
プ、６…コイル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ギヤツプ部を挟むコアの対向面表面の加工変
質層を除去した後、その表面に第１の強磁性薄膜
を被着形成し、更にその上に異方性が前記第１の
強磁性薄膜より小さい第２の強磁性薄膜を被着形
成することを特徴とする磁気ヘツドの製造方法。 ２ ギヤツプ部を挟むコアの対向面表面の加工変
質層をエツチング処理により除去した後、その表
面に第１の強磁性薄膜を被着形成し、更にその上
に異方性が前記第１の強磁性薄膜より小さい第２
の強磁性薄膜を被着形成することを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の磁気ヘツドの製造方
法。 ３ フエライト製のコアにFe−Ni合金薄膜を被
着形成し、その上にセンダスト合金薄膜を被着形
成することを特徴とする特許請求の範囲第１項ま
たは第２項に記載の磁気ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61237307A JPS6391811A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61237307A JPS6391811A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6391811A JPS6391811A (ja) | 1988-04-22 |
| JPH0519762B2 true JPH0519762B2 (ja) | 1993-03-17 |
Family
ID=17013427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61237307A Granted JPS6391811A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6391811A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5038242A (en) * | 1988-05-13 | 1991-08-06 | Citizen Watch Co., Ltd. | Magnetic head containing a barrier layer |
| JPH0254405A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッド |
| JPH02146103A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 複合磁気ヘッド及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP61237307A patent/JPS6391811A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6391811A (ja) | 1988-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |