JPH0520000U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 照射窓の窓箔の温度上昇を抑制することを目
的とする。 【構成】 電子線を被照射物に走査して照射するにあた
り、その電子線をＸ，Ｙ両方向に沿って走査するととも
に、Ｘ方向の走査周波数をＹ方向の周波数より高く設定
する。これによって電子線ビームの振動周波数を変える
ことなく、その移動速度を上昇させることができ、した
がって窓箔の温度上昇が抑制される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は電子線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

周知のように電子線照射装置は、図１に示すように加速管部１によって加速さ れた電子線を、走査部２によって走査し、走査管部３内で走査して被照射物に照 射する。従来では走査部３による走査方向は、図３に示すように照射窓４の長手 方向（Ｙ方向）に沿って往復走査するようにしていた。Ｐは電子線スポットの移 動軌跡を示す。このような構成においては、照射窓４の窓箔に電子線が透過する ことによって、その窓箔の温度上昇が問題となる。

【０００３】 窓箔の温度は電子線が通過するとき上昇し、次に電子線がその個所を通過する までに冷却されている、というサイクルを繰り返している。その温度変化を示し たのが図４である。このときの温度変化幅ＰＷは、平均温度ＰＭの１／５〜１／ １０程度である。

【０００４】 しかし実際には電子線スポット内での電子線強度のバラツキがあるため、局部 的にはその２〜３倍となることもある。このような窓箔の温度変化により、走査 周期Ｔに応じて窓箔は膨張、収縮するし、また振動によるストレスを受ける。

【０００５】 窓箔の温度変化を抑制するためには、電子線の走査周期Ｔを短くすることが考 えられる。このようにすれば電子線通過時の温度上昇は少なくなり、それだけ温 度の変化幅は小さくなる。したがって窓箔の収縮、膨張も小さくなると考えられ る。

【０００６】 しかし走査周期を短くするためには、高周波の交番磁界を真空チャンバー内へ 入力しなければならず、この場合波形の歪が発生する。照射装置を工業的に使用 する場合、このＹ方向の照射分布を一定にする必要があるが、波形歪が発生する と、必要な分布を得ることができなくなるため、走査周期をあまり短くすること はできない。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、Ｙ方向の走査周期を変更させることなく、電子線の移動速度を速め ることによって、窓箔の温度上昇を抑制することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は、電子線をＹ方向およびＸ方向に同時に走査するとともに、Ｘ方向の 走査周波数を、Ｙ方向の走査周波数より高くしたことを特徴とする。

【０００９】

【作用】

Ｘ方向の走査周波数を高くしたことにより、窓箔での電子線スポットの移動速 度は、Ｘ方向の走査を行わない場合よりも上昇する。したがってＹ方向の走査周 期を変えなくとも、したがって振動周波数を変えなくとも、移動速度の上昇によ り温度振動の幅が減少するようになる。

【００１０】

【実施例】

本考案の実施例を図によって説明する。図１において、５はＹ方向走査用のコ イル、６はその走査用の電源であり、これらは通常の構成と相違するものではな いが、本考案にしたがい、走査部２にＸ方向走査用のコイル７を設ける。８はそ の走査用の電源である。

【００１１】 Ｙ方向走査用のコイル５の走査周波数に対して、Ｘ方向走査用のコイル７の走 査周波数を高く設定する。そのため図２に示すように、Ｙ方向の１回の走査の過 程でＸ方向の走査が繰返し行われる結果、電子線スポットの移動軌跡Ｐは三角波 状となる。

【００１２】 このようにすれば電子線スポットの移動速度は上昇する。そのためＹ方向の走 査周波数を高くしなくても、したがって振動周波数を高くしなくとも、前記移動 速度の上昇によって温度振動の幅を減少させることができるようになる。

【００１３】 なお前記移動軌跡は、Ｙ方向の往路と帰路とでは別の個所を通過するようにし ておくと、更に温度上昇を抑制することができて、都合がよい。

【００１４】 移動軌跡Ｐの傾斜角度θを４５°以上としておくと、温度上昇の抑制に有効で ある。通常照射窓４のＸ方向とＹ方向との長さの比は、１：２５〜３０である。 したがって前記傾斜角度を４５°以上とするためには、Ｘ方向の走査周波数をＹ 方向の周波数の２５〜３０倍程度に設定しておくとよい。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、電子線を被照射物に走査して照射するに あたり、その電子線をＸ，Ｙ両方向に沿って走査するとともに、Ｘ方向の走査周 波数をＹ方向の周波数より高く設定したので、窓箔の温度上昇を確実に抑制する ことができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す正面図である。

【図２】本考案による電子線の走査軌跡を示す平面図で
ある。

【図３】従来構成による電子線の走査軌跡を示す平面図
である。

【図４】窓箔の温度上昇を説明するための温度特性図で
ある。

【符号の説明】

１ 加速管部 ２ 走査部 ３ 走査管部 ４ 照射窓 ５ Ｙ方向走査用のコイル ７ Ｘ方向走査用のコイル

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 加速管によって加速された電子線を走査
   部によって走査し、走査管および照射窓の窓箔を経て被
   照射物に照射する電子線照射装置において、前記走査部
   に、前記照射窓の長手方向に沿う走査を行う第１の走査
   コイルと、前記長手方向に対して直交する方向に沿う走
   査を行う第２の走査コイルを設け、前記電子線を前記第
   １および第２の走査コイルによって同時に走査するとと
   もに、前記第２の走査コイルによる走査周波数を、前記
   第１の走査コイルの走査周波数よりも高く設定してなる
   電子線照射装置。