JPH0521401B2 - - Google Patents
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- JPH0521401B2 JPH0521401B2 JP15363884A JP15363884A JPH0521401B2 JP H0521401 B2 JPH0521401 B2 JP H0521401B2 JP 15363884 A JP15363884 A JP 15363884A JP 15363884 A JP15363884 A JP 15363884A JP H0521401 B2 JPH0521401 B2 JP H0521401B2
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- Japan
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- fecomnc
- magnetic scale
- alloy wire
- ions
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は、耐食性に優れた磁気スケールおよび
その製造方法に係る。 （従来技術とその問題点） 悪環境下でも記録媒体の酸化による磁気特性の
劣化が生じない磁気スケールの要求が強い。この
ような耐食性に優れた磁気スケールおよびその製
造方法として、本発明者らはNi−ＰあるいはZn
のメツキ層を形成することを提案した。（特願昭
58−055444〜58−055446）。しかしながら、上記
方法は、耐食性には優れているものの、機械的強
度の点では、十分でない。即ち、メツキ層が周囲
からの衝撃によつて剥れたり、また検出素子ある
いはその他構造部との摺動によつて摩耗したりす
るなどの欠点があつた。 （発明の目的） 本発明は、このような従来の欠点を除去せしめ
て耐食性に優れた磁気スケールおよびその製造方
法を提供することにある。 （発明の構成） すなわち、本発明は、高保磁力FeCoMnC系合
金線材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、
前記FeCoMnC系合金線材の全周面あるいはその
一部にNiイオンが10nm〜50nmの深さ、イオン
打ち込みされていることを特徴とする磁気スケー
ルおよびFeCoMnC系合金線材を高保磁力とする
ための熱処理工程とFeCoMnC系合金線材にNiイ
オンを打ち込む工程とを有することを特徴とする
磁気スケールの製造方法である。 （構成の詳細な説明） 本発明は、上述の構成をとることにより、従来
の耐食のためのメツキ層の剥落や摩耗が生じると
いう問題点を解決した。 本発明でいうFeCoMnC系合金線材は、Fe，
Co，MnおよびＣ元素の組成、あるいはFe，Co，
Mn，Ｃ元素からなる組成にSi，Ｖ，Mo，Ｗ，
Ｂ，Cr，Be元素を１種以上の元素を添加したも
のである。（特願昭56−154369，56−154370，56
−154373）。 FeCoMnC系合金線材の全周面あるいは一部に
Niイオンを打ち込む深さは、10nm〜50nmと限
定する。その限定理由は、打ち込み深さが10nm
を下まわると耐食性が劣化する。また50nmを上
まわつてイオン打ち込みを行なつても耐食性が劣
化する。 （実施例） 以下、実施例に従つて詳細に説明する。 実施例では、FeCoMnC合金あるいは
FeCoMnC系合金のうち、重量比で40％Co−20％
Mn−1.4％Si−0.4％Ｃ−残部Feからなる合金を
使用する。前記合金は850℃で１時間溶体化処
理・急冷した後、減面率93％の冷間伸線加工を施
し、伸線材を矯正機で直伸化したものを使用す
る。 製造工程は、下記のＡ，Ｂ，ＣおよびＤの４種
類を選んだ。Niイオン打ち込み時間は30分、イ
オン加速電圧は100KeV，200KeV，400KeVおよ
び700KeV、イオン注入値は２×1018（イオン／
cm2）真空度は１×10-6Torrとした。
その製造方法に係る。 （従来技術とその問題点） 悪環境下でも記録媒体の酸化による磁気特性の
劣化が生じない磁気スケールの要求が強い。この
ような耐食性に優れた磁気スケールおよびその製
造方法として、本発明者らはNi−ＰあるいはZn
のメツキ層を形成することを提案した。（特願昭
58−055444〜58−055446）。しかしながら、上記
方法は、耐食性には優れているものの、機械的強
度の点では、十分でない。即ち、メツキ層が周囲
からの衝撃によつて剥れたり、また検出素子ある
いはその他構造部との摺動によつて摩耗したりす
るなどの欠点があつた。 （発明の目的） 本発明は、このような従来の欠点を除去せしめ
て耐食性に優れた磁気スケールおよびその製造方
法を提供することにある。 （発明の構成） すなわち、本発明は、高保磁力FeCoMnC系合
金線材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、
前記FeCoMnC系合金線材の全周面あるいはその
一部にNiイオンが10nm〜50nmの深さ、イオン
打ち込みされていることを特徴とする磁気スケー
ルおよびFeCoMnC系合金線材を高保磁力とする
ための熱処理工程とFeCoMnC系合金線材にNiイ
オンを打ち込む工程とを有することを特徴とする
磁気スケールの製造方法である。 （構成の詳細な説明） 本発明は、上述の構成をとることにより、従来
の耐食のためのメツキ層の剥落や摩耗が生じると
いう問題点を解決した。 本発明でいうFeCoMnC系合金線材は、Fe，
Co，MnおよびＣ元素の組成、あるいはFe，Co，
Mn，Ｃ元素からなる組成にSi，Ｖ，Mo，Ｗ，
Ｂ，Cr，Be元素を１種以上の元素を添加したも
のである。（特願昭56−154369，56−154370，56
−154373）。 FeCoMnC系合金線材の全周面あるいは一部に
Niイオンを打ち込む深さは、10nm〜50nmと限
定する。その限定理由は、打ち込み深さが10nm
を下まわると耐食性が劣化する。また50nmを上
まわつてイオン打ち込みを行なつても耐食性が劣
化する。 （実施例） 以下、実施例に従つて詳細に説明する。 実施例では、FeCoMnC合金あるいは
FeCoMnC系合金のうち、重量比で40％Co−20％
Mn−1.4％Si−0.4％Ｃ−残部Feからなる合金を
使用する。前記合金は850℃で１時間溶体化処
理・急冷した後、減面率93％の冷間伸線加工を施
し、伸線材を矯正機で直伸化したものを使用す
る。 製造工程は、下記のＡ，Ｂ，ＣおよびＤの４種
類を選んだ。Niイオン打ち込み時間は30分、イ
オン加速電圧は100KeV，200KeV，400KeVおよ
び700KeV、イオン注入値は２×1018（イオン／
cm2）真空度は１×10-6Torrとした。
【表】
線材の固定は、製造工程Ａ，Ｂの場合は第１図
ａのような記録媒体１を固定台２と止め具３を用
い、ネジ４で固定する構造の場合に行なわれ、
Ｃ，Ｄの場合は第１図ｂのように固定台２中の記
録媒体１の周面の一部があらわれている構造に対
して行なわれる。したがつて、イオン打ち込み時
に、製造工程Ａ，Ｂでは、線材を回転させなが
ら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ，Ｄで
は、回転させずに固定台でおおわれていない線材
の一部にイオン打ち込みを行なつた。 以上のようにして製造された磁気スケール用着
磁体は、85℃で100％湿度の環境で耐食試験を行
なつた。その結果を第１表に示す。
ａのような記録媒体１を固定台２と止め具３を用
い、ネジ４で固定する構造の場合に行なわれ、
Ｃ，Ｄの場合は第１図ｂのように固定台２中の記
録媒体１の周面の一部があらわれている構造に対
して行なわれる。したがつて、イオン打ち込み時
に、製造工程Ａ，Ｂでは、線材を回転させなが
ら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ，Ｄで
は、回転させずに固定台でおおわれていない線材
の一部にイオン打ち込みを行なつた。 以上のようにして製造された磁気スケール用着
磁体は、85℃で100％湿度の環境で耐食試験を行
なつた。その結果を第１表に示す。
【表】
○：記録媒体表面が酸化しなかつた。
×：記録媒体表面が酸化した。
また、センダスト磁気ヘツドを記録媒体に接触
させて、１万往復摺動させた場合についても、上
記と同様の耐食試験を行なつた。その結果第１表
と同様の結果が得られた。 製造工程Ａにおいて、イオン打ち込みのイオン
加速電圧を50KeV，900KeVとした場合について
上記と同様の耐食試験を行なつたところ、
50KeVの場合は1000時間、900KeVの場合は400
時間で記録媒体表面が酸化し始めた。 （発明の効果） 以上のように、本発明の磁気スケールおよびそ
の製造方法は、磁気スケールの応用範囲が広が
り、しかも悪環境での用途も広がる最近の状況
で、その工業的価値が大きい。
×：記録媒体表面が酸化した。
また、センダスト磁気ヘツドを記録媒体に接触
させて、１万往復摺動させた場合についても、上
記と同様の耐食試験を行なつた。その結果第１表
と同様の結果が得られた。 製造工程Ａにおいて、イオン打ち込みのイオン
加速電圧を50KeV，900KeVとした場合について
上記と同様の耐食試験を行なつたところ、
50KeVの場合は1000時間、900KeVの場合は400
時間で記録媒体表面が酸化し始めた。 （発明の効果） 以上のように、本発明の磁気スケールおよびそ
の製造方法は、磁気スケールの応用範囲が広が
り、しかも悪環境での用途も広がる最近の状況
で、その工業的価値が大きい。
第１図は磁気スケールの一部を示す斜視図。
図で、１は記録媒体、２は固定台、３は止め
具、４はネジである。
具、４はネジである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高保磁力FeCoMnC系合金線材を記録媒体と
した磁気スケールにおいて、前記FeCoMnC系合
金線材の全周面あるいはその一部に、Niイオン
が10nm〜50nmの深さに分布していることを特徴
とする磁気スケール。 ２ FeCoMnC系合金線材を高保磁力とするため
の熱処理工程と、FeCoMnC系合金線材にNiイオ
ンを打ち込む工程とを有することを特徴とする磁
気スケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363884A JPS6130702A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363884A JPS6130702A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130702A JPS6130702A (ja) | 1986-02-13 |
| JPH0521401B2 true JPH0521401B2 (ja) | 1993-03-24 |
Family
ID=15566888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15363884A Granted JPS6130702A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130702A (ja) |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15363884A patent/JPS6130702A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6130702A (ja) | 1986-02-13 |
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