JPH0521402B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0521402B2 JPH0521402B2 JP15363984A JP15363984A JPH0521402B2 JP H0521402 B2 JPH0521402 B2 JP H0521402B2 JP 15363984 A JP15363984 A JP 15363984A JP 15363984 A JP15363984 A JP 15363984A JP H0521402 B2 JPH0521402 B2 JP H0521402B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fecomnc
- magnetic scale
- recording medium
- alloy wire
- corrosion resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 13
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 10
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 10
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は、耐食性に優れた磁気スケールおよび
その製造方法に係る。 （従来技術とその問題点） 悪環境下でも記録媒体の酸化による磁気特性の
劣化が生じない磁気スケールの要求が強い。この
ような耐食性に優れた磁気スケールおよびその製
造方法として、本発明者らはNi−ＰあるいはZn
のメツキ層を形成することを提案した。（特願昭
58−055444〜58−055446）。しかしながら、上記
方法は、耐食性には優れているものの、機械的強
度の点では、十分でない。即ち、メツキ層が周囲
からの衝撃によつて剥れたり、また検出素子ある
いはその他構造部との摺動によつて、摩耗したり
するなどの欠点があつた。 （発明の目的） 本発明は、このような従来の欠点を除去せしめ
て、耐食性に優れた磁気スケールおよびその製造
方法を提供することにある。 （発明の構成） すなわち、本発明は、高保磁力FeCoMnC系合
金線材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、
前記FeCoMnC系合金線材の全周面あるいはその
一部にTaイオンが30nm〜150nmの深さ、イオン
打ち込みされていることを特徴とする磁気スケー
ルおよびFeCoMnC系合金線材を高保磁力とする
ための熱処理工程とFeCoMnC系合金線材にTa
イオンを打ち込む工程とを有することを特徴とす
る磁気スケールの製造方法である。 （構成の詳細な説明） 本発明は、上述の構成をとることにより、従来
の耐食のためのメツキ層の剥落や摩耗が生じると
いう問題点を解決した。 本発明でいうFeCoMnC系合金線材はFe，Co，
MnおよびＣ元素の組成、あるいはFe，Co，
Mn，Ｃ元素からなる組成にSi，Ｖ，Mo，Ｗ，
Ｂ，Cr，Be元素を１種以上の元素を添加したも
のである（特願昭56−154369，56−154370，56−
154373）。 FeCoMnC系合金線材の全周面あるいは一部に
Taイオンを打ち込む深さは、30nm〜150nmと限
定する。その限定理由は、打ち込み深さが、
30nmを下まわると耐食性が劣化する。また
150nmを上まわつてイオン打ち込みを行なつても
耐食性が劣化する。 （実施例） 以下、実施例に従つて詳細に説明する。 FeCoMnC合金あるいはFeCoMnC系合金のう
ち、重量比で40％Co−20％Mn−1.4％Si−0.4％
Ｃ−残部Feからなる合金を使用する。前記合金
は850℃で１時間溶体化処理・急冷した後、減面
率93％の冷間伸線加工を施し、伸線材を矯正機で
直伸化したものを使用する。 製造工程は、下記のＡ，Ｂ，ＣおよびＤの４種
類を選んだ。Taイオン打ち込み時間は30分、イ
オン加速電圧は50KeV，100KeV，200KeVおよ
び400KeV、イオン注入値は２×1017（イオン／
cm2）、真空度は１×10-5Torrとした。
その製造方法に係る。 （従来技術とその問題点） 悪環境下でも記録媒体の酸化による磁気特性の
劣化が生じない磁気スケールの要求が強い。この
ような耐食性に優れた磁気スケールおよびその製
造方法として、本発明者らはNi−ＰあるいはZn
のメツキ層を形成することを提案した。（特願昭
58−055444〜58−055446）。しかしながら、上記
方法は、耐食性には優れているものの、機械的強
度の点では、十分でない。即ち、メツキ層が周囲
からの衝撃によつて剥れたり、また検出素子ある
いはその他構造部との摺動によつて、摩耗したり
するなどの欠点があつた。 （発明の目的） 本発明は、このような従来の欠点を除去せしめ
て、耐食性に優れた磁気スケールおよびその製造
方法を提供することにある。 （発明の構成） すなわち、本発明は、高保磁力FeCoMnC系合
金線材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、
前記FeCoMnC系合金線材の全周面あるいはその
一部にTaイオンが30nm〜150nmの深さ、イオン
打ち込みされていることを特徴とする磁気スケー
ルおよびFeCoMnC系合金線材を高保磁力とする
ための熱処理工程とFeCoMnC系合金線材にTa
イオンを打ち込む工程とを有することを特徴とす
る磁気スケールの製造方法である。 （構成の詳細な説明） 本発明は、上述の構成をとることにより、従来
の耐食のためのメツキ層の剥落や摩耗が生じると
いう問題点を解決した。 本発明でいうFeCoMnC系合金線材はFe，Co，
MnおよびＣ元素の組成、あるいはFe，Co，
Mn，Ｃ元素からなる組成にSi，Ｖ，Mo，Ｗ，
Ｂ，Cr，Be元素を１種以上の元素を添加したも
のである（特願昭56−154369，56−154370，56−
154373）。 FeCoMnC系合金線材の全周面あるいは一部に
Taイオンを打ち込む深さは、30nm〜150nmと限
定する。その限定理由は、打ち込み深さが、
30nmを下まわると耐食性が劣化する。また
150nmを上まわつてイオン打ち込みを行なつても
耐食性が劣化する。 （実施例） 以下、実施例に従つて詳細に説明する。 FeCoMnC合金あるいはFeCoMnC系合金のう
ち、重量比で40％Co−20％Mn−1.4％Si−0.4％
Ｃ−残部Feからなる合金を使用する。前記合金
は850℃で１時間溶体化処理・急冷した後、減面
率93％の冷間伸線加工を施し、伸線材を矯正機で
直伸化したものを使用する。 製造工程は、下記のＡ，Ｂ，ＣおよびＤの４種
類を選んだ。Taイオン打ち込み時間は30分、イ
オン加速電圧は50KeV，100KeV，200KeVおよ
び400KeV、イオン注入値は２×1017（イオン／
cm2）、真空度は１×10-5Torrとした。
【表】
線材の固定は、製造工程Ａ，Ｂの場合は第１図
ａのような記録媒体１を固定台２と止め具３を用
い、ネジ４で固定する構造の場合に行なわれ、
Ｃ，Ｄの場合は、第１図ｂのように固定台２中の
記録媒体１の周面の一部があらわれている構造に
対して行なわれる。したがつて、イオン打ち込み
時に製造工程Ａ，Ｂでは、線材を回転させなが
ら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ，Ｄで
は、回転させずに固定台でおおわれていない線材
の一部にイオン打ち込みを行なつた。 以上のようにして製造された磁気スケール用着
磁体は、85℃で100％湿度の環境で耐食試験を行
なつた。その結果を第１表に示す。
ａのような記録媒体１を固定台２と止め具３を用
い、ネジ４で固定する構造の場合に行なわれ、
Ｃ，Ｄの場合は、第１図ｂのように固定台２中の
記録媒体１の周面の一部があらわれている構造に
対して行なわれる。したがつて、イオン打ち込み
時に製造工程Ａ，Ｂでは、線材を回転させなが
ら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ，Ｄで
は、回転させずに固定台でおおわれていない線材
の一部にイオン打ち込みを行なつた。 以上のようにして製造された磁気スケール用着
磁体は、85℃で100％湿度の環境で耐食試験を行
なつた。その結果を第１表に示す。
【表】
○：記録媒体表面が酸化しなかつた。
×：記録媒体表面が酸化した。
また、センダスト磁気ヘツドを記録媒体に接触
させて、１万往復摺動させた場合についても、上
記と同様の耐食試験を行なつた。その結果、第１
表と同様の結果が得られた。 製造工程Ａにおいて、イオン打ち込みのイオン
加速電圧を30KeV，200KeVとした場合について
上記と同様の耐食性を行なつたところ、30KeV
の場合は、300時間、700KeVの場合は100時間
で、記録媒体表面が酸化し始めた。 （発明の効果） 以上のように、本発明の磁気スケールおよびそ
の製造方法は、磁気スケールの応用範囲が広が
り、しかも悪環境での用途も広がる最近の状況
で、その工業的価値が大きい。
×：記録媒体表面が酸化した。
また、センダスト磁気ヘツドを記録媒体に接触
させて、１万往復摺動させた場合についても、上
記と同様の耐食試験を行なつた。その結果、第１
表と同様の結果が得られた。 製造工程Ａにおいて、イオン打ち込みのイオン
加速電圧を30KeV，200KeVとした場合について
上記と同様の耐食性を行なつたところ、30KeV
の場合は、300時間、700KeVの場合は100時間
で、記録媒体表面が酸化し始めた。 （発明の効果） 以上のように、本発明の磁気スケールおよびそ
の製造方法は、磁気スケールの応用範囲が広が
り、しかも悪環境での用途も広がる最近の状況
で、その工業的価値が大きい。
第１図ａ，ｂは磁気スケールの一部を示す斜視
図。 図で、１は記録媒体、２は固定台、３は止め
具、４はネジである。
図。 図で、１は記録媒体、２は固定台、３は止め
具、４はネジである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ FeCoMnC系合金線材を記録媒体とした磁気
スケールにおいて、前記FeCoMnC系合金線材の
全周面あるいはその一部にTaイオンが30nm〜
150nmの深さに分布していることを特徴とする磁
気スケール。 ２ FeCoMnC系合金線材を高保磁力を与えるた
めの熱処理工程と、FeCoMnC系合金線材にTa
イオンを打ち込む工程とを有することを特徴とす
る磁気スケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363984A JPS6130703A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363984A JPS6130703A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130703A JPS6130703A (ja) | 1986-02-13 |
| JPH0521402B2 true JPH0521402B2 (ja) | 1993-03-24 |
Family
ID=15566912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15363984A Granted JPS6130703A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130703A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0732221Y2 (ja) * | 1989-12-05 | 1995-07-26 | 株式会社神崎高級工機製作所 | 作業車両用の油圧供給装置 |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15363984A patent/JPS6130703A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6130703A (ja) | 1986-02-13 |
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