JPS6130701A - 磁気スケ−ルおよびその製造方法 - Google Patents
磁気スケ−ルおよびその製造方法Info
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- JPS6130701A JPS6130701A JP15363784A JP15363784A JPS6130701A JP S6130701 A JPS6130701 A JP S6130701A JP 15363784 A JP15363784 A JP 15363784A JP 15363784 A JP15363784 A JP 15363784A JP S6130701 A JPS6130701 A JP S6130701A
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- heat treatment
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Links
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、耐食性に優れた磁気スケールおよびその製造
方法に係る。
方法に係る。
（従来技術とその問題点）
悪環境下でも記録媒体の酸化による磁気特性の劣化が生
じない磁気スケールの要求が強い。このような耐食性に
優れた磁気スケールおよびその製造方法として、本発明
者らによって、Ｎ１−Ｐ あるいはＺｎのメッキ層を形
成することが提案されている（特願昭５８−０５５４４
４〜５８−０５５４４６ ）。
じない磁気スケールの要求が強い。このような耐食性に
優れた磁気スケールおよびその製造方法として、本発明
者らによって、Ｎ１−Ｐ あるいはＺｎのメッキ層を形
成することが提案されている（特願昭５８−０５５４４
４〜５８−０５５４４６ ）。
しかしながら、上記方法は、耐食性には優れているもの
の、機械的強度の点では、十分でない。即ち、メッキ層
が周囲からの衝撃によって剥れたり、また検出素子ある
いはその他構造部との摺動によって、摩耗したりするな
どの欠点があった。
の、機械的強度の点では、十分でない。即ち、メッキ層
が周囲からの衝撃によって剥れたり、また検出素子ある
いはその他構造部との摺動によって、摩耗したりするな
どの欠点があった。
（発明の目的）
本発明は、このような従来の欠点を除去せしめて、耐食
性に優れた磁気スケールおよびその製造方法を提供する
ことにある。
性に優れた磁気スケールおよびその製造方法を提供する
ことにある。
（発明の構成）
Ｔなわち、本発明は、高保磁力ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線
材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、前記Ｆ’ｅ
ＯＯＭｎＯ系合金線材の全周面あるいはその一部にＣｒ
イオンが２００ｎｍ〜１μｍの深さ、イオン打ち込みさ
れていることを特徴とする磁気スケールおよびＦｅＣｏ
ＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするための熱処理工程と
ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材ｌこＣｒイオンを打ち込む工
程とを有Ｔることを特徴とする磁気スケールの製造方法
である。
材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、前記Ｆ’ｅ
ＯＯＭｎＯ系合金線材の全周面あるいはその一部にＣｒ
イオンが２００ｎｍ〜１μｍの深さ、イオン打ち込みさ
れていることを特徴とする磁気スケールおよびＦｅＣｏ
ＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするための熱処理工程と
ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材ｌこＣｒイオンを打ち込む工
程とを有Ｔることを特徴とする磁気スケールの製造方法
である。
（構成の詳細な説明）
本発明は、上述の構成をとることにより、従来の耐食の
ためのメッキ層の剥落や摩耗が生じるという問題点を解
決した。
ためのメッキ層の剥落や摩耗が生じるという問題点を解
決した。
本発明でいうＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材は、Ｆｅ。
Ｃｏ、ＭｎおよびＣ元素の組成あるいはＦｅ 、 Ｃｏ
。
。
Ｍｎ、Ｏ元素からなる組成にＳｉ 、Ｖ、Ｍｏ、ＶＶ、
Ｂ。
Ｂ。
Ｃｒ、Ｂｅ元素を１種以上の元素を添加したものである
（特願昭５６−１５４’３６９ 、５６−１５４３７０
．５６−１５４３７３ ）。
（特願昭５６−１５４’３６９ 、５６−１５４３７０
．５６−１５４３７３ ）。
ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材の全周面あるいは一部にＣｒ
イオンを打ち込む深さは、２００ｎｍ〜１μｍと限定す
る。その限定理由は、打ち込み深さが、２００ｒｍを下
まわると耐食性が劣化する。筐た１μｍを上まわってイ
オン打ち込みを行なっても耐食性が劣化する。
イオンを打ち込む深さは、２００ｎｍ〜１μｍと限定す
る。その限定理由は、打ち込み深さが、２００ｒｍを下
まわると耐食性が劣化する。筐た１μｍを上まわってイ
オン打ち込みを行なっても耐食性が劣化する。
以下、実施例に従って詳細に説明する。
実施例では、ＦｅＣｏＭｎＣ合金あるいはＦｅＯ。
ＭｎＯ系合金のうち、重量比で４０％Ｃｏ −２０％Ｍ
ｎ−１，４％５ｉ−０，４％Ｃ−残部Ｆｅからなる合金
を使用する。前記合金は８５０℃で１時間溶体化処理・
急冷した後、減面率９３％の冷間伸線加工を施し、伸線
材を矯正機で直伸化したものを使用する。
ｎ−１，４％５ｉ−０，４％Ｃ−残部Ｆｅからなる合金
を使用する。前記合金は８５０℃で１時間溶体化処理・
急冷した後、減面率９３％の冷間伸線加工を施し、伸線
材を矯正機で直伸化したものを使用する。
製造工程は、下記のＡ、’Ｂ、０およびＤの４種類を選
んだ。Ｃｒイオン打ち込み時間は３０分、イオン加速電
圧は２０ＫｅＶ’ 、 ５０ＫｅＶ 、 、１００ Ｋ
ｅＶおよび２００ ＫｅＶ 、イオン注入値は５Ｘ１０
′６（イオン／−）真空度はｌＸｌ０ Ｔｏｒｒとし
た。
んだ。Ｃｒイオン打ち込み時間は３０分、イオン加速電
圧は２０ＫｅＶ’ 、 ５０ＫｅＶ 、 、１００ Ｋ
ｅＶおよび２００ ＫｅＶ 、イオン注入値は５Ｘ１０
′６（イオン／−）真空度はｌＸｌ０ Ｔｏｒｒとし
た。
ＡＢ ＯＤ
線材の固定は、製造工程Ａ、Ｂの場合は第１図（ａ）の
ような記録媒体ｌを固定台２と止め具３を用いネジ４で
固定する構造の場合に行なわれ、０゜Ｄの場合は、第１
図（ｂ）のように固定台２中の記録媒体１の局面の一部
があられれている構造ζこ対して行なわれる。したがっ
て、イオン打ち込み時に、製造工程Ａ、Ｂでは、線材を
回転させながら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ
１Ｄでは、回転させずに固定台でおおわれていない線材
の一部ζこイオン打ち込みを行なった。
ような記録媒体ｌを固定台２と止め具３を用いネジ４で
固定する構造の場合に行なわれ、０゜Ｄの場合は、第１
図（ｂ）のように固定台２中の記録媒体１の局面の一部
があられれている構造ζこ対して行なわれる。したがっ
て、イオン打ち込み時に、製造工程Ａ、Ｂでは、線材を
回転させながら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ
１Ｄでは、回転させずに固定台でおおわれていない線材
の一部ζこイオン打ち込みを行なった。
以上のようにして製造された磁気スケール用着磁体は、
８５℃で１００％湿度の環境で耐食試験を行なった。そ
の結果を第１表に示す。
８５℃で１００％湿度の環境で耐食試験を行なった。そ
の結果を第１表に示す。
○：記録媒体表面が酸化しなかった。
×：記録媒体表面が酸化し７た。
また、センダスト磁気ヘッドを記録媒体ｌこ接触させて
、１万往準摺動させた場合についても、上記と同様の耐
食試験を行なった。その結果、第１表と同様の結果が得
られた。
、１万往準摺動させた場合についても、上記と同様の耐
食試験を行なった。その結果、第１表と同様の結果が得
られた。
製造工程人において、イオン打ち込みのイオン加速電圧
を１０ＫｅＶ 、 ５００ ＫｅＶとした場合について
上記と同様の耐食試験を行なったところ、１０ ＫｅＶ
の場合は、３００時間、 ５００ ＫｅＶの場合は４０
０時間で、記録媒体表面が酸化し始めた。
を１０ＫｅＶ 、 ５００ ＫｅＶとした場合について
上記と同様の耐食試験を行なったところ、１０ ＫｅＶ
の場合は、３００時間、 ５００ ＫｅＶの場合は４０
０時間で、記録媒体表面が酸化し始めた。
（発明の効果）
以上のようｌこ、本発明の磁気スケールおよびその製造
方法は、磁気スケールの応用範囲が広がり、しかも悪環
境での用途も広がる最近の状況で、その工業的価値が大
きい。
方法は、磁気スケールの応用範囲が広がり、しかも悪環
境での用途も広がる最近の状況で、その工業的価値が大
きい。
【図面の簡単な説明】
第１図は磁気スケールの一部を示す斜視図。図で１は記
録媒体、２は固定台、３は止め具、４はネジである。 ７１ 図 と （ｂ）
録媒体、２は固定台、３は止め具、４はネジである。 ７１ 図 と （ｂ）
Claims (2)
- （１）高保磁力ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材を記録媒体と
した磁気スケールにおいて、前記ＦｅＣｏＭｎＣ系合金
線材の全周面あるいはその一部に、Ｃｒイオンが２００
ｎｍ〜１μｍの深さに分布していることを特徴とする磁
気スケール。 - （２）ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするため
の熱処理工程と、ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材にＣｒイオ
ンを打ち込む工程とを有することを特徴とする磁気スケ
ールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363784A JPS6130701A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363784A JPS6130701A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130701A true JPS6130701A (ja) | 1986-02-13 |
Family
ID=15566865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15363784A Pending JPS6130701A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130701A (ja) |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15363784A patent/JPS6130701A/ja active Pending
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