JPH05215069A - 高真空引き方法及び真空装置

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(57)【要約】【目的】容器内を高真空にすることを目的とする。【構成】真空引きする容器を２重容器に構成し、その
内外容器の間も真空ポンプで真空引きすることにより、
容器内にリークする気体分子を減らし、容器内を高真空
にすることが出来る。

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、容器内を高真空にす
るための真空装置とその方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の容器内の真空引きシステム
を示すもので、図において、１は試料等を収納するため
の容器、２は容器１内を真空引きするための真空ポンプ
である。

【０００３】従来の真空装置は以上のように構成されて
いるので、容器にわずかなすき間でもあればそこからリ
ークし、容器内を高真空にすることが出来ないという問
題があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この発明は上記のよう
な問題点を解消するためになされたもので、容器内を高
真空にできる装置を得ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に係る真空装置
は、真空容器を２重にし、その容器と容器の間も真空引
きできるようにしたものである。

【０００６】

【作用】この発明における２重部分の真空引きにより、
気体分子の数は少なくなり、容器内へのリークが減少
し、容器内を高真空にすることが出来る。

【０００７】

【実施例】

実施例１．図１において、１は２重容器、３はこの２重
容器の外壁と内壁の間１ａを真空引きする真空ポンプで
あり、２は容器内を真空引きするポンプである。

【０００８】このように容器を２重容器として、容器と
容器の間も真空引きすることで、気体分子の数は少なく
なり、容器内へのリークが減少し、容器内を高真空にす
ることができる。

【０００９】実施例２．なお、上記実施例では真空ポン
プを２個利用したものを示したが、１個だけ使用し、図
２で示すバルブ４、５の開閉操作により、容器と容器の
間の真空引きと、容器内を交代に引くようにすることも
できる。

【００１０】実施例３．また、高真空を得るため、高真
空ポンプ６と低真空ポンプ７を組み合わせて使用し、容
器と容器の間を低真空ポンプ７で引くようにしてもよ
い。

【００１１】実施例４．また、容器とポンプの間の配管
の部分でリークすることもあるため、図４に示すよう
に、この部分の配管８も２重にしてもよい。

【００１２】実施例５．さらにまた図５で示すように、
容器１と該容器内を真空引きするポンプ２自体を共に外
容器９で囲い込む方法もある。

【００１３】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、容器を
２重にし、容器と容器の間も真空引きするようにしたの
で、容器内へのリークが減り、容器内を高真空にするこ
とが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１による真空装置を示す側面
図である。

【図２】この発明の実施例２を示す側面図である。

【図３】この発明の実施例３を示す側面図である。

【図４】この発明の実施例４を示す側面図である。

【図５】この発明の実施例５を示す側面図である。

【図６】従来の真空装置を示す側面図である。

【符号の説明】

１２重容器１ａ容器間のすき間２、３真空ポンプ

【特許請求の範囲】

【請求項１】容器内を高真空化する方法において、上
記容器を２重にし、その容器と容器の間も真空引きする
ことを特徴とする高真空引き方法。
【請求項２】容器内を真空ポンプを用いて真空引きす
るものにおいて、上記容器を２重にし、その容器と容器
の間にも真空ポンプを接続して真空引きするように構成
したことを特徴とする真空装置。
【請求項３】容器内を高真空ポンプで接続し、一方容
器間を低真空ポンプで接続したことを特徴とする請求項
２記載の真空装置。
【請求項４】容器とポンプの間の配管の部分も２重に
構成したことを特徴とする請求項２記載の真空装置。
【請求項５】容器と、該容器内を真空引きするポンプ
自体を、共に外容器で囲い込んでなる請求項２記載の真
空装置。