JPH0522067A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPH0522067A JPH0522067A JP17379091A JP17379091A JPH0522067A JP H0522067 A JPH0522067 A JP H0522067A JP 17379091 A JP17379091 A JP 17379091A JP 17379091 A JP17379091 A JP 17379091A JP H0522067 A JPH0522067 A JP H0522067A
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- Japan
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- alloy
- film
- thickness
- acoustic wave
- surface acoustic
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波フィルタの特性を劣化させること
なくすだれ電極の耐湿性を改善する。 【構造】 すだれ電極を構成するＡｌ−Ｃｕ合金２を厚
さが１００Å〜１０００ÅのＳｉＯ2 膜３で覆うもので
ある。
なくすだれ電極の耐湿性を改善する。 【構造】 すだれ電極を構成するＡｌ−Ｃｕ合金２を厚
さが１００Å〜１０００ÅのＳｉＯ2 膜３で覆うもので
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車電話や伝送など
の無線機器に使用される弾性表面波フィルタ（以後、Ｓ
ＡＷ−Ｆと書く）の電極膜構造に関するものである。
の無線機器に使用される弾性表面波フィルタ（以後、Ｓ
ＡＷ−Ｆと書く）の電極膜構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＳＡＷ−Ｆは圧電基板上に電気信号を弾
性表面波に、或いは、弾性表面波を電気信号に変換する
弾性表面波変換器から構成される。この弾性表面波変換
器はＡｌ（＋Ｃｕ合金）をベースとしたすだれ電極から
成り、Ａｌ（＋Ｃｕ合金）の下地に密着を良くするため
のＣｒ層を設けたもの（これを図２に示す）や、特開平
２−２０６２１５号公報に開示されているように、Ａｌ
（＋Ｃｕ合金）の耐湿性を改善するために、上層に更に
Ｃｒ層を設けたもの（これを図３に示す）がある。
性表面波に、或いは、弾性表面波を電気信号に変換する
弾性表面波変換器から構成される。この弾性表面波変換
器はＡｌ（＋Ｃｕ合金）をベースとしたすだれ電極から
成り、Ａｌ（＋Ｃｕ合金）の下地に密着を良くするため
のＣｒ層を設けたもの（これを図２に示す）や、特開平
２−２０６２１５号公報に開示されているように、Ａｌ
（＋Ｃｕ合金）の耐湿性を改善するために、上層に更に
Ｃｒ層を設けたもの（これを図３に示す）がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
上層にＣｒを設けたＳＡＷ−ＦはＡｌ表面を保護するこ
とによって有機溶剤洗浄やダイシングでの切削水により
Ａｌが腐食，変色したり、Ａｌ表面に切削粉が埋まった
りすることを防止する効果はあるものの、高湿度雰囲気
中に長期間晒すことには耐えられないという問題点があ
った。
上層にＣｒを設けたＳＡＷ−ＦはＡｌ表面を保護するこ
とによって有機溶剤洗浄やダイシングでの切削水により
Ａｌが腐食，変色したり、Ａｌ表面に切削粉が埋まった
りすることを防止する効果はあるものの、高湿度雰囲気
中に長期間晒すことには耐えられないという問題点があ
った。
【０００４】この発明は、以上述べたＳＡＷ−Ｆの耐湿
性を更に改善し、高湿雰囲気に於いても十分耐えるもの
であり、且つ、特性を損なわないようにするＳＡＷ−Ｆ
の提供を目的とする。
性を更に改善し、高湿雰囲気に於いても十分耐えるもの
であり、且つ、特性を損なわないようにするＳＡＷ−Ｆ
の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、すだれ電極の表面を厚さが１００Å〜１００
０Åの保護膜で覆ったものである。
するため、すだれ電極の表面を厚さが１００Å〜１００
０Åの保護膜で覆ったものである。
【０００６】
【作用】本発明は、ＳｉＯ2 等の膜によりすだれ電極の
耐湿性を改善し、前記膜の厚さを１００Å〜１０００Å
の範囲内にすることにより該膜によるＳＡＷ−Ｆの特性
の劣化を防止している。
耐湿性を改善し、前記膜の厚さを１００Å〜１０００Å
の範囲内にすることにより該膜によるＳＡＷ−Ｆの特性
の劣化を防止している。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の一実施例の構造を示す断面図
である。同図において、１は下地に密着層となるＣｒ、
２は電極層であるＡｌにＣｕを添加したＡｌ−Ｃｕ合金
（Ｃｕは全体の５％であってほぼＡｌに近似したもので
ある）、３はＡｌ−Ｃｕ合金２を保護するための保護層
としてＡｌ−Ｃｕ合金２の表面を覆うＳｉＯ2 であり、
Ｃｒｌ，Ａｌ−Ｃｕ合金２，ＳｉＯ2 ３の順に成膜後リ
フトオフによりパターン形成したものである。
である。同図において、１は下地に密着層となるＣｒ、
２は電極層であるＡｌにＣｕを添加したＡｌ−Ｃｕ合金
（Ｃｕは全体の５％であってほぼＡｌに近似したもので
ある）、３はＡｌ−Ｃｕ合金２を保護するための保護層
としてＡｌ−Ｃｕ合金２の表面を覆うＳｉＯ2 であり、
Ｃｒｌ，Ａｌ−Ｃｕ合金２，ＳｉＯ2 ３の順に成膜後リ
フトオフによりパターン形成したものである。
【０００８】上記ＳｉＯ2 膜は膜が厚いとすだれ電極の
弾性波振動を阻害するために特性が劣化するが、１００
０Å以下であれば損失のレベルダウンは起こらず、僅か
に周波数がずれるのみである。この周波数のずれはＡｌ
−Ｃｕ合金の膜を薄くすることによって相殺できるから
問題はない。
弾性波振動を阻害するために特性が劣化するが、１００
０Å以下であれば損失のレベルダウンは起こらず、僅か
に周波数がずれるのみである。この周波数のずれはＡｌ
−Ｃｕ合金の膜を薄くすることによって相殺できるから
問題はない。
【０００９】しかし、上記ＳｉＯ2 膜は薄過ぎると耐湿
効果が落ちるため、１００Å以上は必要である。
効果が落ちるため、１００Å以上は必要である。
【００１０】尚、上記ＳｉＯ2 に代えてＳｉＡｌＯＮな
ど別の絶縁材料を用いても良い。
ど別の絶縁材料を用いても良い。
【００１１】図４は本発明の他の実施例の構造を示す断
面図であって、ＳｉＯ2 膜３によりＡｌ−Ｃｕ合金２
(図２ (ａ））、或はＡｌ−Ｃｕ合金２及びＣｒｌ（図
２ (ｂ））の表面を覆うことにより、より信頼性を増加
させたものである。
面図であって、ＳｉＯ2 膜３によりＡｌ−Ｃｕ合金２
(図２ (ａ））、或はＡｌ−Ｃｕ合金２及びＣｒｌ（図
２ (ｂ））の表面を覆うことにより、より信頼性を増加
させたものである。
【００１２】尚、Ａｌ−Ｃｕ合金の密着性が十分確保さ
れていれば下地Ｃｒはなくてもかまわない。
れていれば下地Ｃｒはなくてもかまわない。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、す
だれ電極の最上部に厚さが１０００Å以下で１００Å以
上のＳｉＯ2 膜を形成したので、ＳＡＷ−Ｆの特性を損
なうことなく耐湿性が改善される。従って、封止なし
か、気密性の劣る樹脂封止やプラスチックパッケージが
採用でき、コストダウンが可能となる。
だれ電極の最上部に厚さが１０００Å以下で１００Å以
上のＳｉＯ2 膜を形成したので、ＳＡＷ−Ｆの特性を損
なうことなく耐湿性が改善される。従って、封止なし
か、気密性の劣る樹脂封止やプラスチックパッケージが
採用でき、コストダウンが可能となる。
【図１】本発明の実施例の構造を示す断面図である。
【図２】従来のＳＡＷ−Ｆの構造（１）を示す断面図で
ある。
ある。
【図３】従来のＳＡＷ−Ｆの構造（２）を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】本発明の他の実施例の構造を示す断面図であ
る。
る。
１ Ｃｒ ２ Ａｌ−Ｃｕ合金 ３ ＳｉＯ２
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 健二 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 江原 永典 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 すだれ電極の表面を厚さが１００Å〜１
０００Åの保護膜で覆ったことを特徴とする弾性表面波
フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17379091A JPH0522067A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17379091A JPH0522067A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0522067A true JPH0522067A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15967205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17379091A Pending JPH0522067A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0522067A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002045262A1 (fr) * | 2000-11-29 | 2002-06-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif a ondes sonores |
| EP1391988A3 (en) * | 2002-07-24 | 2004-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
| WO2004066493A1 (de) * | 2003-01-23 | 2004-08-05 | Epcos Ag | Saw-bauelement mit verbessertem temperaturgang |
| US6900709B2 (en) | 2001-06-25 | 2005-05-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JP2005354262A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Epson Toyocom Corp | Ｓａｗデバイス |
| US7141909B2 (en) * | 2003-06-17 | 2006-11-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JP2007028297A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Seiko Epson Corp | Ｓａｗデバイスの製造方法 |
| EP1635458A4 (en) * | 2003-06-17 | 2008-04-30 | Murata Manufacturing Co | ACOUSTIC SURFACE WAVE DEVICE |
| WO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| WO2017013946A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| WO2017013945A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-07-15 JP JP17379091A patent/JPH0522067A/ja active Pending
Cited By (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7230365B2 (en) | 2002-07-24 | 2007-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
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| EP2288024A1 (en) * | 2002-07-24 | 2011-02-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
| WO2004066493A1 (de) * | 2003-01-23 | 2004-08-05 | Epcos Ag | Saw-bauelement mit verbessertem temperaturgang |
| US7459991B2 (en) | 2003-01-23 | 2008-12-02 | Epcos Ag | SAW component having an improved temperature coefficient |
| US7141909B2 (en) * | 2003-06-17 | 2006-11-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US7218039B2 (en) | 2003-06-17 | 2007-05-15 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Surface acoustic wave device |
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| JP2005354262A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Epson Toyocom Corp | Ｓａｗデバイス |
| JP2007028297A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Seiko Epson Corp | Ｓａｗデバイスの製造方法 |
| WO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| KR20170137900A (ko) * | 2015-07-02 | 2017-12-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
| CN107615656A (zh) * | 2015-07-02 | 2018-01-19 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
| JPWO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| US10958238B2 (en) | 2015-07-02 | 2021-03-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
| WO2017013946A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| WO2017013945A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
| JPWO2017013945A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2018-02-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
| US10924082B2 (en) | 2015-07-17 | 2021-02-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device and manufacturing method for same |
| US11245379B2 (en) | 2015-07-17 | 2022-02-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
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